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전체 장비수: 211 장비등록 신청일: ~ 전체 데이터 보기
번호 장비명 모델명 사양 용도 일지 상태 관리
151 EUV Aerial Image Microscope (AIMS) EZM-1000 2.5 GeV EUV Mask의 결함유무 검사 출력 미가동 수정 삭제
150 EUV Reflectometry ARX-2000RM 70 ～ 150eV EUVL Mask의 분석 반사도 측정 출력 미가동 수정 삭제
149 Cryogenic RF Measurement System SUSS VIT-801 50GHz,DC,RF 나노소자의 저온고주파특성측정 출력 미가동 수정 삭제
148 Flicker Noise Measurement System 89410A up to 8 noise analysis 출력 미가동 수정 삭제
147 Noise Parameter Test System NP3000A-115 2 to 26.5 GHz 잡음지수측정 출력 가동중 수정 삭제
146 Virtuoso Noise Pro BTA9812B 1Hz-1MHz Noise Parameter를 Extraction 하기위해 사용 출력 가동중 수정 삭제
145 Vector Signal Analyzer 외 2 89410A dc to 10MHz 디지털 변조나 AM, FM 분석용 출력 가동중 수정 삭제
144 Logic Analyzer TLA5202 68 ch 통신용칩 개발을 위한 로직분석 출력 가동중 수정 삭제
143 FT-IR ECO-1000s up to 8 dopant concentration in BPSG 출력 미가동 수정 삭제
142 CNT Synthesis System TCP CVD SYSTEM Wafer Capacity : 6 CNT Synthesis System 출력 미가동 수정 삭제
141 Nanocrystal-Synthesis System Nano-Particle up to 8 Silicon nanoparticle synthesis 출력 미가동 수정 삭제
140 Mask Aligner_MA6 MA6 4,6inch UV노광, 4"& 6" 조각 및 BSA 가능 출력 가동중 수정 삭제
139 Mask Aligner (ME) MA6 4,6inch UV노광, 6\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\" & 4\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\" 조각 및 BSA 가능 출력 가동중 수정 삭제
138 NEMS Base System - 6 NEMS Cleaning, baking, wet etching - Spin Coater(PR, PMMA 등) 출력 가동중 수정 삭제
137 PR Asher_NEMS YES-CV200RFS 8 NEMS공정의 잔류 PR 제거 및 Descum 출력 미가동 수정 삭제
136 Parylene Coater (ME) - - - 출력 미가동 수정 삭제
135 Spray coater (ME) - - - 출력 미가동 수정 삭제
134 NEMS White Wet station - Acid - 6 산 습식 공정 출력 가동중 수정 삭제
133 NEMS White Wet station - Organic - 6 유기/산 습식 세정 출력 가동중 수정 삭제
132 MEMS Yellow Wet station - 6 NEMS Cleaning, wet etching (산 취급) 출력 가동중 수정 삭제
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