Flicker Noise Measurement System 장비일지 |
기자재관리번호 : B0000055-052005-A0002 |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
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| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2011-09-28 09시 | 19시 | 소자 Noise 측정 및 분석 | 팩토이엔씨 | 김영수 | 1,200,000원 | |
| 2 | 2013-01-02 13시 | 16시 | SiC 단위공정 평가 ILD PE-Oxide(1um) Breakdown Voltage 확인(Metal Dot size별 3회 / 총 12회 측정) | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,200,000원 |
| 3 | 2013-01-03 13시 | 17시 | SiC contact Test (Backside Silicidation의 RTA 조건 Split Sample 4매에 대한 I-V Measurement 총 24회) | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 2,400,000원 |