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전체 장비수: 211 장비등록 신청일: ~ 전체 데이터 보기
번호 장비명 모델명 사양 용도 일지 상태 관리
71 PE-CVD - 2 TELIA200 up to 8 박막 TFT 형성, 저온산화막 형성 출력 가동중 수정 삭제
70 Wafer Bonder ABC200 6,8인치 Wafer Bonding 1. Anodic Bonding 2. Eutetic Bonding 출력 미가동 수정 삭제
69 Dry-Etcher_Ulvac NE-7800 8 inch (Flat Type) . Metal Dry Etching . Special Material Etching : SiC, Polyimide 등 출력 가동중 수정 삭제
68 Deep Reactive Ion Etcher(DRIE) - 2 Pegasus 6 inch Deep Silicon Etching 출력 가동중 수정 삭제
67 PR Asher_BEOL DAS2000 8 inch BEOL 공정의 잔류 PR 제거, DESCUM 출력 가동중 수정 삭제
66 I-Line Stepper - 4 PAS5500 200B 미세 Pattern 형성용 (ASML) 출력 미가동 수정 삭제
65 PR Track_SVS - 1 MSX1000 미세공정 PR도포 및 현상용 출력 가동중 수정 삭제
64 PR Track_SVS - 2 MSX2000 미세공정 PR 도포용 출력 가동중 수정 삭제
63 PR Track_SVS - 3 MSX2000 미세공정 현상용 출력 가동중 수정 삭제
62 PE-CVD - IV SiN, SiO2 박막증착 자동진행 출력 미가동 수정 삭제
61 Dicing Saw Wafer(Si, Glass) dicing 출력 미가동 수정 삭제
60 Metal Lift-Off Metal Pattern 출력 가동중 수정 삭제
59 Sorter 출력 미가동 수정 삭제
58 Uprint 3D Printer (기업지원) u Print SE Plus 203 x 203 x 152mm 연구 및 기업지원 시제품 제작 출력 미가동 수정 삭제
57 3D Printer(Replicator 2X)-1 Replicator 2X 노즐 지름 : 0.4 mm 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 포함 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 모델링 파일 : STL) 출력 미가동 수정 삭제
56 3D Printer(Replicator 2X)-2 Replicator 2X 노즐 지름 : 0.4 mm 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 포함 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 모델링 파일 : STL) 출력 미가동 수정 삭제
55 3D Printer(Replicator 2X)-3 Replicator 2X 노즐 지름 : 0.4 mm 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 포함 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 모델링 파일 : STL) 출력 미가동 수정 삭제
54 3D Printer(Makerbot R2)-Ⅹ (ABS filament) Replicator 2 24.6 x 15.2 x 15.5 CM 교육용 출력 미가동 수정 삭제
53 3D Printer(Replicator 2X)-4 Replicator 2X 노즐 지름 : 0.4 mm 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 파일 : STL) 출력 미가동 수정 삭제
52 3D Printer(Replicator 2X)-5 Replicator 2X 노즐 지름 : 0.4 mm 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 파일 : STL) 출력 미가동 수정 삭제