| 휴가일수 | 사용일수 | 잔여일수 | ||
|---|---|---|---|---|
| 이월 | 당해 | 계 | ||
| 일 | 일 | 0일 | 0일 | 0 일 |
| 구분 | 연간 교육 | 이수 시간 | 잔여 시간 |
|---|---|---|---|
| 시간 |
| 번호 | 장비명 | 모델명 | 사양 | 용도 | 일지 | 상태 | 관리 |
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| 71 | PE-CVD - 2 | TELIA200 | up to 8 | 박막 TFT 형성, 저온산화막 형성 | ![]() |
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| 70 | Wafer Bonder | ABC200 | 6,8인치 Wafer Bonding | 1. Anodic Bonding 2. Eutetic Bonding | ![]() |
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| 69 | Dry-Etcher_Ulvac | NE-7800 | 8 inch (Flat Type) | . Metal Dry Etching . Special Material Etching : SiC, Polyimide 등 | ![]() |
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| 68 | Deep Reactive Ion Etcher(DRIE) - 2 | Pegasus | 6 inch | Deep Silicon Etching | ![]() |
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| 67 | PR Asher_BEOL | DAS2000 | 8 inch | BEOL 공정의 잔류 PR 제거, DESCUM | ![]() |
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| 66 | I-Line Stepper - 4 | PAS5500 200B | 미세 Pattern 형성용 (ASML) | ![]() |
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| 65 | PR Track_SVS - 1 | MSX1000 | 미세공정 PR도포 및 현상용 | ![]() |
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| 64 | PR Track_SVS - 2 | MSX2000 | 미세공정 PR 도포용 | ![]() |
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| 63 | PR Track_SVS - 3 | MSX2000 | 미세공정 현상용 | ![]() |
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| 62 | PE-CVD - IV | SiN, SiO2 박막증착 자동진행 | ![]() |
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| 61 | Dicing Saw | Wafer(Si, Glass) dicing | ![]() |
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| 60 | Metal Lift-Off | Metal Pattern | ![]() |
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| 59 | Sorter | ![]() |
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| 58 | Uprint 3D Printer (기업지원) | u Print SE Plus | 203 x 203 x 152mm | 연구 및 기업지원 시제품 제작 | ![]() |
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| 57 | 3D Printer(Replicator 2X)-1 | Replicator 2X | 노즐 지름 : 0.4 mm | 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 포함 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 모델링 파일 : STL) | ![]() |
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| 56 | 3D Printer(Replicator 2X)-2 | Replicator 2X | 노즐 지름 : 0.4 mm | 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 포함 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 모델링 파일 : STL) | ![]() |
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| 55 | 3D Printer(Replicator 2X)-3 | Replicator 2X | 노즐 지름 : 0.4 mm | 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 포함 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 모델링 파일 : STL) | ![]() |
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| 54 | 3D Printer(Makerbot R2)-Ⅹ (ABS filament) | Replicator 2 | 24.6 x 15.2 x 15.5 CM | 교육용 | ![]() |
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| 53 | 3D Printer(Replicator 2X)-4 | Replicator 2X | 노즐 지름 : 0.4 mm | 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 파일 : STL) | ![]() |
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| 52 | 3D Printer(Replicator 2X)-5 | Replicator 2X | 노즐 지름 : 0.4 mm | 3D 프린팅 (출력 최대 크기 : 225(W) X 120(D) X 122(H) mm, 재료 : PLA 필라멘트 / 1.75 mm / 흰색, 지원 파일 : STL) | ![]() |
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