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전체 장비수: 211 장비등록 신청일: ~ 전체 데이터 보기
번호 장비명 모델명 사양 용도 일지 상태 관리
11 Curve Tracer with Probe Station (in Clean Room) 370A, MS Tech 8000 반도체 소자의 전기 특성 분석 출력 가동중 수정 삭제
10 Atomic Force Microscope-Ⅱ(Jupiter XR) / AFM-Ⅱ Jupiter XR Lateral Resolution 10nm, Vertical Resolution 15pm (Contact M Atomic Force Microscope/표면분석/Tapping mode/Contact mode/KPFM/AMFM 출력 가동중 수정 삭제
9 NINT Semiconductor Education Platform 나노융합기술원 나노융합기술원 나노융합기술원 반도체 공정교육 출력 가동중 수정 삭제
8 Silvaco TCAD Simulation TCAD Simulation Silvaco TCAD Simulation 출력 미가동 수정 삭제
7 LPCVD Furnace VUCLAN-H83SL Max 800℃ anneal / D-poly depo 1) H2 Alloy 2) N2 anneal 3) D-poly depo 출력 가동중 수정 삭제
6 High Resolution FE-SEM-Ⅳ (JSM-IT710HR) JSM-IT710HR 나노재료의 표면 및 형태관찰/성분분석 EDS 출력 가동중 수정 삭제
5 High Resolution Powder-XRD SmartLab 9kW 분말의 상 조성, 결정질 크기, 결정방향, 구조 등 물리적 특성 분석 출력 가동중 수정 삭제
4 Raman Spectroscopy(Alpha 300 R) Alpha 300 R 523nm/100x, 50x, 20x, 10x Raman Spectroscopy 출력 가동중 수정 삭제
3 Furnace Activator_SiC 200 ACTIVATOR 200 8INCH 1500℃ ~ 1850℃ 고온 열처리 (SiC 전용) 출력 가동중 수정 삭제
2 SiC ion implantation ULVAC IH-860PSiC 출력 가동중 수정 삭제
1 APLT SPEED-200iD Size: 6 inch, 8inch Materials: Si, SiC PR Thickness: 0.8~3.0um Resolution : 0.8um ~ 출력 가동중 수정 삭제
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