LPCVD Furnace 장비일지 |
기자재관리번호 : 0 |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2024-05-24 1시 | 5시 | 9-2-2 (WF05)D-Poly Depo 3,000Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 2 | 2024-05-24 14시 | 18시 | 10-2-5 (WF01,04,05)Densify(800℃, 30min) |
삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 3 | 2024-05-24 18시 | 22시 | 10-2-5 (WF01,02,03,05)Densify(800℃, 30min) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 4 | 2024-05-24 5시 | 8시 | 9-2-2 (WF02, 05)D-Poly Depo 3,000Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 5 | 2024-05-24 8시 | 14시 | 8-2-1 D-Poly Depo 5,000Å | 트리노테크놀로지 | 경영지원팀 | 트리노테크놀로지 | 0원 |
| 6 | 2024-05-28 10시 | 17시 | D-poly 5000Å | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 900,000원 |
| 7 | 2024-06-26 15시 | 21시 | 10-1-2 WF01, 03, 05 - Densification | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 8 | 2024-06-26 8시 | 15시 | 10-1-2 Densification | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 450,000원 |
| 9 | 2024-07-17 8시 | 14시 | 2-1-1 D-Poly Depo 5,000Å | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 900,000원 |
| 10 | 2024-07-23 13시 | 18시 | Pplus IMP (BTP) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 1,687,500원 |
| 11 | 2024-07-23 8시 | 12시 | JFET & N+ IMP (BTP) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 1,275,000원 |
| 12 | 2024-08-01 15시 | 22시 | D-PolySi (KERI) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 1,500,000원 |
| 13 | 2024-08-01 8시 | 15시 | Back IMP (KERI) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 3,015,000원 |
| 14 | 2024-08-07 13시 | 18시 | 9-2-2 D-Poly Depo 5,000Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 15 | 2024-08-07 19시 | 24시 | 9-2-2 D-Poly Depo 5,000Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 16 | 2024-08-19 13시 | 17시 | 10-1-2 Densify(800℃, 30min) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 17 | 2024-08-19 17시 | 21시 | 10-1-2 WF02, 04 - Densify(800℃, 30min) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 18 | 2024-08-19 9시 | 13시 | 10-1-2 Densify(800℃, 30min) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 19 | 2024-08-21 20시 | 3시 | 8-2-1 D-Poly Depo 5,000Å | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 780,000원 |
| 20 | 2024-09-03 18시 | 24시 | 5-2-1 UnDoped PolySi depo 3,000Å | 포항공과대학교 | 반도체공학과 | 이지원 | 0원 |
| 21 | 2024-09-13 11시 | 16시 | 5.2 un-doped PolySi Depo 3,000Å | 포항공과대학교 | 반도체공학과 | 이지원 | 400,000원 |
| 22 | 2024-09-20 08시 | 14시 | 5-2-1 Un-Poly 3,000Å | 포항공과대학교 | 반도체공학과 | 이지원 | 0원 |
| 23 | 2024-09-24 10시 | 16시 | 2-1-1 D-PolySi Depo 5,000Å | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 1,700,000원 |
| 24 | 2024-09-24 16시 | 22시 | 2-1-5 Densify(800℃, 30min) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 1,250,000원 |
| 25 | 2024-10-11 20시 | 4시 | 11-1-2 Densify | 포항공과대학교 | 반도체공학과 | 이지원 | 225,000원 |
| 26 | 2024-10-16 9시 | 15시 | 4-1-3 D-Poly Depo 4,000Å | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 강민기 | 1,310,000원 |
| 27 | 2024-10-21 13시 | 13시 | IMP(외주) | 포항공과대학교 | 반도체공학과 | 이지원 | 6,000,000원 |
| 28 | 2024-10-31 8시 | 15시 | 5-1-3 D-Poly Depo 4,000Å | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 강민기 | 800,000원 |
| 29 | 2024-11-05 15시 | 23시 | 포스텍 신소재공학과 최지웅 입니다. 유선상 말씀드린대로 4inch wafer에 poly-Si 100 nm 증착하려고 합니다. 현재 증착하려는 poly-Si은 metal로 사용할 것이 아니라 channel로 사용할 것이라 유선상에서 언급했던 대로 너무 높은 저항은 안나왔으면 합니다. 말씀해주신 사항이 두께가 얇아지면 저항이 올라간다고 하여 현재 100 nm로 정했고 최대한 이 두께에 맞춰서 공정 진행 부탁드립니다. 샘플은 공정보관함에 두겠습니다. 완료되면 연락 부탁드립니다. 감사합니다. |
포항공과대학교 대학원 | 신소재공학과 | 최지웅 | 1,440,000원 |
| 30 | 2024-11-06 19시 | 24시 | 2-1-4 D-Poly Depo 5,000Å | (주)모이모션 | (주) 모이모션 | 최정례 | 0원 |
| 31 | 2024-11-12 17시 | 23시 | (BPSG 6000Å) Densify(800℃, 30min) | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 360,000원 |
| 32 | 2024-11-13 16시 | 24시 | 7-2-3 Densify(800℃, 30min) | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 강민기 | 450,000원 |
| 33 | 2024-11-26 15시 | 21시 | 11-6-1 Annealing (400℃, 30min, N2) | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 강민기 | 1,125,000원 |
| 34 | 2024-11-26 9시 | 15시 | 6-1-3 D-polySi depo 4,000Å | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 강민기 | 1,900,000원 |
| 35 | 2024-12-17 9시 | 18시 | ICT과제 참여 기업 청구 | 크리모 주식회사 | 경영지원팀 | 김기동 | 3,500,000원 |