Atomic Force Microscope-Ⅱ(Jupiter XR) / AFM-Ⅱ 장비일지

기자재관리번호 : 0
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2023-08-28 13시 17시 표면 거칠기 분석 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 322,000원
2 2023-08-29 10시 13시 산화물 VO2 박막 tapping 모드 측정 예정이며,
Probe Tip은 지참하지 않을 예정입니다.
포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조우택 170,000원
3 2023-08-30 15시 18시 고분자 시료의 모폴로지 분석 포항공과대학교 화학공학과 임해량 261,000원
4 2023-08-31 16시 18시 Cu 위에 코팅한 고분자 필름의 단차를 측정하고 싶습니다. 포항공과대학교 화학과 한동엽 174,000원
5 2023-09-05 10시 11시 표면 조도 측정 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김대현 122,000원
6 2023-09-05 11시 13시 없습니다 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 김동창 174,000원
7 2023-09-05 15시 16시 200nm deposition Ti on C-plane sapphire wafer - 두께 측정 포항공과대학교 기계공학과 안주환 83,000원
8 2023-09-06 14시 15시 Ti 400nm on C-plane sapphire wafer 포항공과대학교 기계공학과 안주환 83,000원
9 2023-09-08 11시 12시 직접 사용해보고자 합니다. 포항공과대학교 기계공학과 양희찬 55,000원
10 2023-09-08 13시 14시 포항공과대학교 기계공학과 김해녘 87,000원
11 2023-09-08 14시 20시 교육 신청합니다 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 김동창 480,000원
12 2023-09-08 17시 18시 없습니다 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 김동창 55,000원
13 2023-09-13 9시 11시 박막 두께 및 roughness 측정 (샘플 약 4개) 포항공과대학교 대학원 화학공학과 이주혁 159,000원
14 2023-09-14 09시 13시 - 시편 수: 2개 (1번은 Cu-PI(PI 반경화), 2번은 Cu-PI(PI 무경화))
- 1번: Si(약 725um)-SiO2(0.7um)-Ti(50nm)-Cu/PI(약 6um) (PI 반경화)
- 2번: Si(약 725um)-SiO2(0.7um)-Ti(50nm)-Cu/PI(약 6um) (PI 무경화)
- 시편 사이즈: 5x5 mm
- Scan size: Cu, PI 각 부분의 3x3 um

- 1번과 2번 시편의 각각 Cu, PI 각 부분의 roughness를 측정하고자 합니다.
- 분석 전까지 시편 보관은 진공 보관 부탁드립니다.
- 시편 회수는 하지 않겠습니다.
- 해상도는 512x512로 부탁드립니다.
- 분석 결과를 보내주실 때 각각 정보는 1번 시편의 Cu 부분을 1, PI 부분을 2, 2번 시편의 Cu 부분을 3, PI 부분을 4로 부탁드립니다.
- 시편에 대한 구체적인 정보를 이메일로 보내드리겠습니다.
서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과 이상민 370,000원
15 2023-09-15 14시 15시 전도성 고분자가 스핀코팅된 박막 측정하고자 합니다.
tapping mode로 측정하고자 합니다.
2um x 2um 영역의 phase와 height 모두 얻고자 합니다.
포항공과대학교 대학원 화학공학과 김필곤 72,000원
16 2023-09-15 16시 17시 AFM 거칠기 측정 서비스 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 김건우 87,000원
17 2023-09-19 10시 11시 필름의 두께를 측정하고 싶습니다. 포항공과대학교 화학과 한동엽 87,000원
18 2023-09-19 9시 10시 thin film 단차 측정 포항공과대학교 전자전기공학과 홍기륜 79,000원
19 2023-09-20 10시 11시 Ti 600nm target thickness on Sapphire wafer 포항공과대학교 기계공학과 안주환 55,000원
20 2023-09-20 17시 18시 Thin film 단차 측정 포항공과대학교 전자전기공학과 홍기륜 79,000원
21 2023-09-21 14시 18시 제목 : SiCN 표면 거칠기 분석 부탁드립니다
실험 목적 : PVD SiCN 시편의 표면 거칠기 측정
시편 수 : 2개
Si(525um) - SiCN(미상)
시편 사이즈 : 1cm x 1cm
Spot size : 1um by 1um(시편의 중앙 부분, 중앙 부분이 오염이 있다면 그 주변으로 해주시면 감사하겠습니다)

case 1 : non plasma SiCN 1EA
case 2 : Ar/N2 plasma SiCN 1EA

요청사항
1. 시편 보관은 진공보관 가능하다면 부탁드립니다.
2. 분석이 끝난 시편은 회수하지 않겠습니다.
3. 해상도는 512x512로 부탁드립니다.
4. R(peak-Valley)값 측정이 가능하시다면 값을 알려주시면 감사하겠습니다.
5. 예약일보다 빠르게 측정 후 결과를 주셔도 좋습니다.

예상 배송 도착일 : 2023.09.20(수) or 2023.09.21(목)
서울과학기술대학교 전기정보공학과 최준영 400,000원
22 2023-10-05 13시 16시 이전 시간의 내용도 변경하여 하기와 같이 측정 바랍니다.

측정 시료 : 4ea
측정 영역 : 1um x 1um, 1024 x 1024 pixels 측정.
중요 내용 : nanostructure의 형상, 패턴, 정규화 등.
의뢰 시간 : 기존 4시간 > 예상 6시간

요청 사항 : Defect가 잘 보이게 측정 요청하였으나, Defect보다는 nanostructure의 형상, 패턴, 정규화 등을 잘 파악할 수 있게 측정 부탁 드립니다.
엘지이노텍(주) Lens내재화Task 김준영 285,000원
23 2023-10-10 16시 18시 전도성 고분자를 코팅한 필름의 표면 분석 및 두께 측정 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김필곤 174,000원
24 2023-10-12 12시 13시 실험 목적 : Cu 증착 시편의 표면 거칠기 측정
시편 수 : 1개
Si(725um) - SiO2(7000A) - Ti(50nm) - Cu(1um) 1EA
시편사이즈 : 1cm by 1cm
Spot Size : 1um by 1um => 시편 중앙부분 근처로 3 point 부탁드립니다.

요청사항
1. 시편 보관은 진공보관 가능하면 부탁드립니다.
2. 시편 회수는 하지 않겠습니다.
3. 해상도는 512x512로 부탁드립니다.
4. R(peak-Valley)값 측정이 가능하시다면 값을 알려주시면 감사하겠습니다.
5. 예약일보다 빠르게 측정 후 결과를 주셔도 좋습니다.
서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 박상우 95,000원
25 2023-10-12 9시 12시 메일상으로 논의 드린바와 같이.
각 시료에 대해
XY 에 대해 측정 가능한 최대 scan 범위에서 나노 구조체의 형상과, 높이 그리고 Defect을 확인하고자 합니다.

1. 박막의 나노 구조체 형상 및 높이 측정
2. 측정 시 Defect 이 있는 부분에서 측정 (측정 시 논의하며 진행하면 좋을 것 같습니다.)
3. 측정 영역을 측정 전 optical한 이미지로 저장
4. 샘플 반납 요청
엘지이노텍(주) Lens내재화Task 김준영 285,000원
26 2023-10-17 16시 17시 이차전지용 전극 표면 roughness 분석 포항공과대학교 대학원 철강에너지소재대학원 방재연 87,000원
27 2023-10-18 13시 15시 실험 목적 : Cu 증착 시편의 표면 거칠기 측정
시편 수 : 5개
Si(725um) - SiO2(7000A) - Ti(50nm) - Cu(1um) 5EA
시편사이즈 : 1cm by 1cm
Spot Size : 1um by 1um => 시편 중앙부분 근처로 3 point 부탁드립니다.
시편 이름
Case 1 : 300W
Case 2 : 250 W
Case 3 : 200 W
Case 4 : 150 W
Case 5 : 100 W

요청사항
1. 시편 보관은 진공보관 가능하면 부탁드립니다.
2. 시편 회수는 하지 않겠습니다.
3. 해상도는 512x512로 부탁드립니다.
4. R(peak-Valley)값 측정이 가능하시다면 값을 알려주시면 감사하겠습니다.
5. 예약일보다 빠르게 측정 후 결과를 주셔도 좋습니다
서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 박상우 190,000원
28 2023-10-18 16시 18시 . 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이해원 110,000원
29 2023-10-18 9시 12시 제목 : SiCN 표면 거칠기 분석 부탁드립니다
실험 목적 : PECVD SiCN 시편의 표면 거칠기 측정
시편 수 : 2개
Si(725um) - SiCN(미상)
시편 사이즈 : 1cm x 1cm
Spot size : 1um by 1um(시편의 중앙 부분, 중앙 부분이 오염이 있다면 그 주변으로 해주시면 감사하겠습니다)
시편당 3point씩 측정 부탁드립니다.

case 1 : non plasma SiCN 1EA
case 2 : Ar/N2 plasma SiCN 1EA

요청사항
1. 시편 보관은 진공보관 가능하다면 부탁드립니다.
2. 분석이 끝난 시편은 회수하지 않겠습니다.
3. 해상도는 512x512로 부탁드립니다.
4. R(peak-Valley)값 측정이 가능하시다면 값을 알려주시면 감사하겠습니다.
5. 예약일보다 빠르게 측정 후 결과를 주셔도 좋습니다.

예상 배송 도착일 : 2023.10.17(화) or 2023.10.18(수)
서울과학기술대학교 전기정보공학과 최준영 240,000원
30 2023-10-19 11시 12시 . 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이해원 55,000원
31 2023-10-19 13시 18시 당일 직접 방문하겠습니다. 포항공과대학교 화학공학과 최예림 425,000원
32 2023-10-19 9시 11시 박막 두께 및 이미지 측정, 샘플 수 6개 예정 포항공과대학교 대학원 화학공학과 이주혁 169,000원
33 2023-10-20 10시 12시 AFM 단차 측정 부탁 드립니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김규헌 158,000원
34 2023-10-20 13시 15시 5ea, roughness 포항공과대학교 대학원 화학공학과 배유림 174,000원
35 2023-10-20 15시 16시 SiC wafer 조각으로 Wafer 표면 morphology, 표면 원자 구조 확인, Carbon cluster유무 확인 등을 측정하려고 합니다. 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 79,000원
36 2023-10-20 9시 10시 In 1um 증착되어있는 면의 AFM 측정 요청
- 19일 오전에 포항 SEM 담당자 이단비 연구원님께 전달되어 SEM 당일 또는 20일 측정 예정.
- 1EA, Size : 5x5um, 5point 측정 요청.

- 나노융합기반고도화사업으로 과제비 결제 요청
에스제이 영업 박상준 95,000원
37 2023-10-24 10시 12시 실리콘 웨이퍼에 입히는 고분자 필름입니다. 1cm X 1cm 정도의 크기로 제작할 예정인데, 혹시 특별하게 지켜야 하는 샘플 조건이 있을 경우 알려주시면 감사드리겠습니다! 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김찬혁 174,000원
38 2023-10-24 13시 14시 단차 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 임익현 87,000원
39 2023-10-25 15시 16시 단차 측정 샘플 4개 진행하고자 합니다. 샘플 크기는 1cm*1cm 입니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 79,000원
40 2023-10-26 10시 16시 쥬피터 직접 사용자 교육 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 유상훈 500,000원
41 2023-10-27 10시 16시 쥬피터 직접 사용자 교육 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤성빈 500,000원
42 2023-10-30 14시 16시 시편당 1 point 측정 (위치는 상관 없습니다.)

5um / 512 line 측정 부탁드립니다.

모드는 tapping mode 요청드립니다.
포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 144,000원
43 2023-10-30 17시 18시 . 포항공과대학교 대학원 화학과 도한주 87,000원
44 2023-10-31 10시 12시 Ag 표면 분석 포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 174,000원
45 2023-10-31 13시 14시 AFM 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 임익현 122,000원
46 2023-10-31 15시 17시 AFM 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 임익현 144,000원
47 2023-10-31 17시 18시 . 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이해원 55,000원
48 2023-11-01 10시 12시 AFM 단차 측정 부탁드립니다 (패턴의 단차는 5~10nm정도 될 것입니다) 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김규헌 128,000원
49 2023-11-01 15시 18시 샘플 4개, 개당 3~4포인트 정도 생각중입니다. 포항공과대학교 기초과학연구소 (화학과) 최한솔 261,000원
50 2023-11-02 10시 12시 . 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이해원 110,000원
51 2023-11-02 14시 16시 박막의 표면분석 포항공과대학교 신소재공학과 박수영 174,000원
52 2023-11-03 15시 16시 ZnO/SiO2
AlN/SiO2

총 4개 시편 분석 희망합니다.
감사합니다.
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤석현 87,000원
53 2023-11-06 16시 18시 . 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤성빈 55,000원
54 2023-11-06 9시 10시 SiO2/Si sub. 위 VO2 박막 특성 관찰 포항공과대학교 신소재공학 서예원 87,000원
55 2023-11-07 10시 11시 AFM 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 임익현 87,000원
56 2023-11-09 10시 12시 AFM 단차 측정을 부탁 드립니다

측정할 샘플은 총 12개이고, 각 샘플은 지난번에 보여드렸던 것과 유사합니다(필요하시다면 현미경 사진을 메일로 보내드리겠습니다).

단차 측정 시 line은 256개, aspect ratio는 4:1로 부탁 드립니다.
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김규헌 158,000원
57 2023-11-09 15시 17시 Ag 코팅한 샘플의 증착 균일도 측정 예정입니다. 포항가속기연구소 나노계면연구팀 윤양훈 174,000원
58 2023-11-09 17시 18시 metal thin film 표면 분석 포항공과대학교 기계공학부 서정보 83,000원
59 2023-11-10 9시 10시 Ag, Au, Pt surface 관찰 포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 87,000원
60 2023-11-13 10시 12시 Surface Topography of Thin Film Samples, 10mmx10mm sample size,, 512x512 scan size 포항공과대학교 가속기연구소 이현휘 174,000원
61 2023-11-13 16시 17시 총 샘플 2종류이며, 필름 형태입니다. 각 필름 표면의 균일도를 확인하고 싶습니다. 포항공과대학교 화학과 정재호 87,000원
62 2023-11-13 17시 18시 AFM 단차 측정을 부탁 드립니다

측정할 샘플은 총 12개이고, 각 샘플은 지난번에 보여드렸던 것과 유사합니다(필요하시다면 현미경 사진을 메일로 보내드리겠습니다).

단차 측정 시 line은 256개, aspect ratio는 4:1로 부탁 드립니다.
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김규헌 79,000원
63 2023-11-17 10시 12시 직접 사용자 교육 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 160,000원
64 2023-11-20 17시 18시 장비사용 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 315,000원
65 2023-11-21 13시 16시 직접 사용자 교육 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 240,000원
66 2023-11-22 13시 14시 2D nanoflake 포항공과대학교 대학원 화학공학과 Taoyu Zou 87,000원
67 2023-11-22 14시 16시 AFM 직접사용자 교육 포항공과대학교 화학과 정재호 160,000원
68 2023-11-27 1시 18시 K44 측정 후 데이터 공유 부탁드립니다.
데이터 확인 후, 나머지 기판 측정 부탁드립니다.
SK 주식회사 머티리얼즈 CIC Color&Dispersion팀 임유빈 190,000원
69 2023-11-28 9시 12시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 316,000원
70 2023-12-05 15시 17시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 144,000원
71 2023-12-07 15시 18시 직접사용
팁5개 구매
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤성빈 395,000원
72 2023-12-12 15시 18시 직접사용 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤성빈 120,000원
73 2023-12-13 14시 16시 with 양웅석 박사님 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 194,000원
74 2023-12-15 13시 17시 직접사용 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 160,000원
75 2023-12-18 16시 18시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 144,000원
76 2023-12-19 10시 11시 샘플1개 step 30nm 간격 2마이크로 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 79,000원
77 2023-12-19 13시 15시 - 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤성빈 80,000원
78 2024-01-02 9시 15시 Oxford사 PFM mode 직접사용 교육 포항공과대학교 대학원 전자전기공학부 이찬빈 500,000원
79 2024-01-02 9시 15시 Oxford사 PFM mode 직접사용 교육 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 500,000원
80 2024-01-02 9시 15시 Oxford사 PFM mode 직접사용 교육 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 500,000원
81 2024-01-05 16시 18시 직접사용 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 80,000원
82 2024-01-15 16시 18시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 144,000원
83 2024-01-16 13시 18시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구
직접사용
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 100,000원
84 2024-01-18 9시 13시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 288,000원
85 2024-01-22 9시 10시 - 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 87,000원
86 2024-01-26 19시 22시 직접사용 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 120,000원
87 2024-01-30 13시 18시 직접사용 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 200,000원
88 2024-01-30 9시 11시 샘플 4개 6point 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 174,000원
89 2024-02-07 14시 16시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 144,000원
90 2024-03-06 16시 18시 SiC 3개 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 260,000원
91 2024-03-08 14시 18시 15개 단면 두께 대략 200nm (표면도?) 포항가속기연구소 빔라인부 성낙언 410,000원
92 2024-03-11 17시 19시 직접사용 교육 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 250,000원
93 2024-03-13 13시 15시 직접사용 교육 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 200,000원
94 2024-03-13 16시 18시 직접사용 1차 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 108,000원
95 2024-03-13 9시 11시 직접사용 교육 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 250,000원
96 2024-03-14 11시 12시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
97 2024-03-14 14시 17시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 212,000원
98 2024-03-14 9시 10시 SiC wafer 시료 조각 2개 샘플 10um x 10um, 1um x 1um로 단차를 측정하고자 함. 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 130,000원
99 2024-03-18 15시 18시 직접사용 15:00-17:30 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 162,000원
100 2024-03-19 14시 17시 직접사용 13:50부터 Align 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 162,000원
101 2024-03-19 9시 12시 8개 포항공과대학교 대학원 화학공학과 조항준 240,000원
102 2024-03-20 11시 12시 서비스 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 80,000원
103 2024-03-20 14시 17시 직접사용 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 162,000원
104 2024-03-20 9시 11시 4개 샘플 6point 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 160,000원
105 2024-03-21 13시 17시 샘플 화요일 오전에 발송하여 목요일에 측정 가능하도록 보내주시겠다고 함. 서울과학기술대학교 전기정보공학과 최준영 450,000원
106 2024-03-22 10시 11시 샘플2개
9:30-10:30
포항공과대학교 반도체공학과 정기호 100,000원
107 2024-03-22 11시 13시 직접사용 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 108,000원
108 2024-03-22 13시 14시 웨이퍼(1X1 cm2, 4 inch) 위에 있는 넓은 면적 포항공과대학교 대학원 첨단재료과학부 강경빈 130,000원
109 2024-03-22 14시 17시 Line&Space pattern 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 212,000원
110 2024-03-26 15시 18시 직접사용 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 162,000원
111 2024-03-27 11시 15시 x 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 216,000원
112 2024-03-27 16시 17시 AFM 단차측정 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
113 2024-03-28 17시 18시 단차측정, Tip 1개 사용 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 104,000원
114 2024-03-29 14시 18시 해당 없음 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 216,000원
115 2024-03-29 18시 19시 Roughness 분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
116 2024-04-01 14시 16시 1 cm x 1 cm 시편 9개
2 cm x 2 cm 시편 3개
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤석현 210,000원
117 2024-04-01 16시 18시 x 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 이재욱 100,000원
118 2024-04-02 9시 12시 x 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 430,000원
119 2024-04-04 13시 14시 샘플 5개 1point 씩 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 130,000원
120 2024-04-04 18시 19시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 104,000원
121 2024-04-05 9시 18시 시편 개수: 2개
시편 정보: Si(725um)/SiO2(0.7um)/Ti(50nm)/Cu seed layer(200nm)/Cu&PI(4um)

1. 각 시편의 Cu, PI 부분을 1um x 1um 범위로 표면의 roughness를 측정 의뢰 드립니다.
2. 각 시편 당 총 5부분을 측정해주시기를 희망합니다. (시편 중간 부분에서 5부분을 무작위로 측정, 단 깨끗한 곳으로 부탁드립니다.)
3. 해상도는 512x512로 부탁드립니다.

추가적인 내용은 연구원님 메일로 pdf 파일 송부드리겠습니다.
서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 장수인 950,000원
122 2024-04-09 18시 20시 X 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 108,000원
123 2024-04-09 9시 16시 구리 전극들의 표면 형상 및 거칠기를 확인하고자 합니다. 높은 해상도로 정밀하게 측정해주시면 감사드리겠습니다. 포항공과대학교 기초과학연구소 (화학과) 최한솔 450,000원
124 2024-04-11 20시 22시 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 108,000원
125 2024-04-11 5시 8시 x 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 162,000원
126 2024-04-12 10시 11시 표면 분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
127 2024-04-15 16시 18시 8\\\\\\\\\\\\\\\'si wafer 2ea
표면 토폴로지 및 roughness 데이터 분석
측정 위치 TCBLR
주식회사 보다 연구개발 김형원 200,000원
128 2024-04-16 1시 3시 없음 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 370,000원
129 2024-04-16 13시 15시 고분자 박막 필름의 모폴로지 분석 포항공과대학교 화학공학과 임해량 210,000원
130 2024-04-17 10시 11시 샘플 5개 10x10 um 1 포인트 씩 입니다. 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 80,000원
131 2024-04-18 10시 12시 지난번 분석과 동일하게 진행할 예정입니다. 포항공과대학교 대학원 화학공학과 조항준 160,000원
132 2024-04-19 10시 12시 거울 샘플 표면 surface roughness 측정을 위해 신청합니다.
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 하태규 210,000원
133 2024-04-19 13시 15시 안지환교수님 연구실 이주환입니다.
(유선 및 메일로 연락드렸습니다.)
포항공과대학교 기계공학과 이주환 150,000원
134 2024-04-19 9시 10시 photo lithography 후 pattern 형태 확인 포항공과대학교 반도체공학과 이도헌 100,000원
135 2024-04-22 13시 18시 20ea 10 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 500,000원
136 2024-04-23 9시 12시 샘플 8개
4개 -> 1x1, 2x2
4개 -> 2x2, 5x5
동그라미 패턴 없는 부분으로 찍기
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 340,000원
137 2024-04-25 13시 18시 ICT 제품화 지원사업
전자과 이정수 교수님 신성환
ssh3290a@postech.ac.kr
010-9081-6590
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 550,000원
138 2024-04-25 9시 12시 Zinc 샘플 20개 포항공과대학교 대학원 화학공학과 조항준 240,000원
139 2024-04-26 10시 12시 Zinc 샘플 20개 포항공과대학교 대학원 화학공학과 조항준 160,000원
140 2024-04-29 11시 12시 - 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 130,000원
141 2024-04-29 13시 14시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
142 2024-04-29 15시 18시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 290,000원
143 2024-04-30 13시 14시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
144 2024-04-30 9시 12시 [ICT 제품화 지원사업], 전자과 강도완 (010.8897.6340)
metal 증착 된 sample 3개, 각각 단차(metal 증착 두께) 확인 및 metal 표면 roughness(uniformity)확인
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 350,000원
145 2024-05-02 13시 15시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 108,000원
146 2024-05-03 10시 12시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 210,000원
147 2024-05-03 13시 14시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
148 2024-05-04 13시 18시 특이사항 없음 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 270,000원
149 2024-05-04 21시 23시 해당 없음 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 108,000원
150 2024-05-07 11시 12시 샘플 2개 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 80,000원
151 2024-05-09 10시 11시 - 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 54,000원
152 2024-05-10 14시 16시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 108,000원
153 2024-05-13 10시 11시 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 130,000원
154 2024-05-16 11시 12시 표면 나노 패턴 분석 포항가속기연구소 나노계면팀 이철규 130,000원
155 2024-05-20 16시 17시 증착된 금속 높이 및 roughness 측정 포항공과대학교 화학공학과 박준호 80,000원
156 2024-05-20 17시 18시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
157 2024-05-22 10시 11시 조각 샘플 2개, 두께 측정 포항공과대학교 반도체기술융합센터 문창빈 130,000원
158 2024-05-22 11시 12시 Ru 두께 측정. (기판 : 실리콘) 30 nm 예상 포항공과대학교 화학공학과 박준호 80,000원
159 2024-05-22 13시 14시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
160 2024-05-22 15시 18시 X 포항공과대학교 화학공학과조길원 교수님 연구소 박지상 290,000원
161 2024-05-23 11시 12시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
162 2024-05-27 11시 12시 . 포항공과대학교 화학공학과 박준호 80,000원
163 2024-05-27 13시 15시 AFM 서비스 포항공과대학교 첨단재료과학부 함현성 160,000원
164 2024-05-27 15시 16시 SiC 시료는 총 3개이고, 시료 상태는 SiC에 Al implantation을 진행하고 activation을 위해

Laser annealing 한 상황입니다.

각각 2point씩 10um x 10um 영역을 측정하면 됩니다.

그리고 현재 AFM 상황을 인지하고 있으니, 시료만 전달하고 결과가 나오는 대로 가져가겠습니다.
포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 130,000원
165 2024-05-27 9시 11시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 108,000원
166 2024-05-28 16시 18시 단차측정 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 358,000원
167 2024-05-29 11시 17시 - 샘플 6종류 12개 (한 종류 당 2개씩)
- 샘플 크기: 5mm X 5mm
- 샘플 정보: Au의 두께가 각각 2, 5, 12 nm(플라즈마 미처리) / 동일 시편에 플라즈마 처리 : 총 6종류
- 샘플 당 측정 Point 수: 3개
- Scan 사이즈: 3x3 um
- 해상도: 512x512
- 시편의 최대한 중앙 부분에서 깨끗한 부분으로 측정을 부탁드립니다.
서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과 이상민 700,000원
168 2024-05-30 10시 13시 시편 정보
1. 증착 정보 : Si(525um) - SiCN(약 50nm)
2. 시편 사이즈 5mm by 5mm
3. 측정 spot : 1um by 1um (시편의 중앙 부분 근처로 측정해주시면 감사하겠습니다.)
4. 측정 횟수 : 시편 당 3point
5. 측정 시편 수 : 6개
서울과학기술대학교 전기정보공학과 최준영 350,000원
169 2024-05-30 14시 15시 Au_2nm 샘플 추가 분석 서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과 이상민 100,000원
170 2024-05-30 9시 10시 조각 샘플 4개, 두께 측정 포항공과대학교 반도체기술융합센터 문창빈 130,000원
171 2024-05-31 13시 15시 AFM 의뢰 포항공과대학교 화학공학과조길원 교수님 연구소 박지상 160,000원
172 2024-05-31 15시 16시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구
-
포항공과대학교 화학공학과조길원 교수님 연구소 박지상 50,000원
173 2024-05-31 16시 18시 장비 직접사용 요청 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 108,000원
174 2024-06-04 11시 12시 - 포항가속기연구소 나노계면팀 이철규 130,000원
175 2024-06-04 14시 15시 조각 샘플 5개, 두께 측정 포항공과대학교 반도체기술융합센터 문창빈 80,000원
176 2024-06-04 9시 10시 Si 기판 위 Ag film 증착 상태 확인(roughness) 포항공과대학교 반도체공학과 이도헌 100,000원
177 2024-06-05 15시 16시 LED용 전극 3가지 조건으로 Roughness 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 180,000원
178 2024-06-10 11시 12시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
179 2024-06-10 13시 14시 - 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 80,000원
180 2024-06-11 13시 15시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 210,000원
181 2024-06-11 15시 17시 신규장비 LPCVD Furnace 공정 set-up 평가를 위한 AFM 분석 지원 건 나노융합기술원 공정기술팀 이유정 0원
182 2024-06-11 9시 11시 표면 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 108,000원
183 2024-06-12 14시 15시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
184 2024-06-12 15시 17시 LED용 전극 AFM을 통한 roughness 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 210,000원
185 2024-06-13 10시 11시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
186 2024-06-13 15시 17시 메일로 관련 내용 보다 자세히 전달드렸습니다. 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 유상훈 324,000원
187 2024-06-13 17시 18시 - 의뢰자 : 김민호 (010-4516-9583) / mhkim20@postech.ac.kr
- 샘플 : 2개 (구리포일 위에 도포된 실리콘 전극)
- 측정 면 : 검은색의 실리콘 전극 표면을 분석하고 싶습니다. 전극을 구성하는 바인더 종류가 달라서 표면 특성이 다르게 측정될 것이라고 기대하고 있습니다.
- young\'s modulus [단위:Pa] mapping을 추가적으로 수행하고 싶습니다. modulus를 구하는 것이 힘들면, 차선으로 force [단위:N] 값을 구하고 싶습니다.

유선상 연락드린 것처럼, 수요일인 전날 방문드려 샘플 전달드리도록 하겠습니다.
감사합니다.
김민호 올림.
포항공과대학교 화학공학과 지준혁 162,000원
188 2024-06-14 14시 16시 AFM 분석을 통한 Roughness 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 210,000원
189 2024-06-14 16시 17시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
190 2024-06-14 9시 12시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 340,000원
191 2024-06-17 13시 16시 장비 교육 신청합니다.

포항공과대학교 이병훈교수님 연구실 소속 최준혁, 이경수 총 2명 신청합니다.
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 최준혁 290,000원
192 2024-06-17 15시 18시 직접사용 교육 포항공과대학교 대학원 EESL 이경수 240,000원
193 2024-06-17 9시 12시 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 240,000원
194 2024-06-18 10시 11시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구
-
포항공과대학교 대학원 Materials Science & Engineering Faiz Salma 50,000원
195 2024-06-18 9시 10시 Height difference + surface morphology 포항공과대학교 대학원 Materials Science & Engineering Faiz Salma 130,000원
196 2024-06-19 14시 16시 AFM 분석을 통한 Roughness 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 210,000원
197 2024-06-20 13시 16시 EESL 소속 최우석 석박통합 재학생과 함께 교육 받고자 합니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 반준호 240,000원
198 2024-06-20 14시 17시 직접사용 교육 포항공과대학교 CSTC 최우석 240,000원
199 2024-06-21 13시 16시 2차 실습
직접 라이센스 취득을 위한 실습 및 샘플 측정
포항공과대학교 대학원 EESL 이경수 240,000원
200 2024-06-24 9시 11시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 108,000원
201 2024-06-25 13시 15시 AFM 분석을 통한 전극 roughness 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 160,000원
202 2024-06-25 15시 16시 없음 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박성준 130,000원
203 2024-06-26 10시 12시 시편은 0.5cm x 0.5cm 로 다이싱된 Si 칩 위에 SiO2(700nm)/Ti(50nm)/Cu(1um)이 증착된 상태이고 Cu 표면위의 afm 측정을 진행하고자 합니다.
시편 개수는 두개이고 파일 이름은 시편 케이스에 적어드리는 대로 case 0, case 5로 부탁드립니다.

*요청사항
1. 샘플당 측정 point는 3 point 진행을 하고 싶습니다.
2. Scan size는 5um x 5um로 진행하고 싶습니다. (메일로 문의드린것과 다른 크기입니다)
3. 측정은 가능하신 시간에 (예약일자보다 미리) 측정해주셔도 상관없습니다.
4. 시편은 측정후 폐기 부탁드립니다
서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 박상우 250,000원
204 2024-06-26 14시 15시 고분자 샘플3개 측정 포항공과대학교 첨단재료과학부 함현성 80,000원
205 2024-06-26 15시 18시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 162,000원
206 2024-06-28 14시 17시 3개 3point 씩 -> 2개 5point 씩 서울과학기술대학교 전기정보공학과 최준영 350,000원
207 2024-07-01 11시 12시 - 포항공과대학교 첨단재료과학부 함현성 130,000원
208 2024-07-01 9시 11시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 108,000원
209 2024-07-02 13시 14시 실습 2차 포항공과대학교 CSTC 최우석 80,000원
210 2024-07-02 14시 15시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구
포항공과대학교 CSTC 최우석 50,000원
211 2024-07-02 15시 17시 실습 2차 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 반준호 160,000원
212 2024-07-04 10시 15시 1. 샘플 3종류 6개 (한 종류당 2개씩: 여유분)
샘플 크기: 5mm X 5mm
샘플 정보
1. Au: 2 nm
2. Au: 12 nm
3. Cu: 1 um

2. 샘플 당 측정 Point 수: 3개
Scan 사이즈: 3x3 um
해상도: 512x512

3. 가능한 시편 중앙의 깨끗한 부분을 측정해주시길 부탁드립니다.

4. 측정 후 시편 회수는 하지 않겠습니다.
서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과 이상민 550,000원
213 2024-07-05 13시 15시 2차 실습
샘플 5개, 2시간 예약하겠습니다.
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 최준혁 210,000원
214 2024-07-05 15시 16시 전극 Roughness 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 80,000원
215 2024-07-05 9시 12시 직접사용 교육 포항공과대학교 화학공학과 송민재 290,000원
216 2024-07-08 10시 12시 Sample*3개(Si 기판 위 약 ~100nm polymer 박막에 패터닝)
sample 1. 350k 2wt% PMMA(pristine)
sample 2. 350k 2wt% PMMA+TMI-EG 5cycle
sample 3. 350k 2wt% PMMA+TMI-H2O 5cycle

Patterns
5㎛ * 5㎛ square pattern x 36ea -> 약 60㎛ * 60㎛ square영역
각 square 마다 e-beam lithography 광량이 달라서 광량에 따른 Polymer의 두께의 변화를 측정하고 싶습니다.
충남대학교 신소재공학과 계면공학 및 재료분석 연구실 (전나리교수님) 고민경 250,000원
217 2024-07-08 13시 16시 직접사용 교육 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 임세미 290,000원
218 2024-07-08 15시 18시 직접사용 교육 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 김자원 240,000원
219 2024-07-09 13시 16시 직접사용 교육 포항공과대학교 반도체공학과 신예지 200,000원
220 2024-07-09 15시 18시 직접사용 교육 포항공과대학교 대학원 전기전자공학과 표재성 240,000원
221 2024-07-09 9시 12시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 162,000원
222 2024-07-11 13시 14시 실습 3차 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 반준호 80,000원
223 2024-07-11 14시 17시 실습 3차 포항공과대학교 CSTC 최우석 240,000원
224 2024-07-11 9시 12시 시편 개수: 6개
시편 정보: Si(725um)/SiO2(0.7um)/Ti(50nm)/Cu seed layer(200nm)/Cu&PI(4um)

1. 각 시편의 Cu, PI 부분을 1um x 1um 범위로 표면의 roughness를 측정 의뢰 드립니다.
2. 각 시편 당 시편 중간 부분에서 Cu 1 point, PI 1 point를 측정해주시기를 희망합니다. (시편 한 개당 총 2 points)
3. 해상도는 256x256으로 부탁드립니다.

추가적인 내용은 연구원님 메일로 pdf 파일 송부드리겠습니다.
서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 장수인 350,000원
225 2024-07-12 9시 12시 시편 개수: 6개
시편 정보: Si(725um)/SiO2(0.7um)/Ti(50nm)/Cu seed layer(200nm)/Cu&PI(4um)

1. 각 시편의 Cu, PI 부분을 1um x 1um 범위로 표면의 roughness를 측정 의뢰 드립니다.
2. 각 시편 당 시편 중간 부분에서 Cu 1 point, PI 1 point를 측정해주시기를 희망합니다. (시편 한 개당 총 2 points)
3. 해상도는 256x256으로 부탁드립니다.

추가적인 내용은 연구원님 메일로 pdf 파일 송부드리겠습니다.
서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 장수인 350,000원
226 2024-07-17 13시 14시 Si 위에 10nm의 Al2O3를 증착하고 패터닝을 했습니다.
패터닝된 Al2O3의 정밀한 높이와 폭 측정을 위해 AFM을 사용하려고합니다.

혹시 신청자의 예약 취소로 빈 시간이 생길 경우, 연락 주시면 정말 감사하겠습니다.
포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 100,000원
227 2024-07-17 17시 18시 AFM 기본측정(roughness 측정) 의뢰드립니다.
- 샘플 갯수 : 6개 (2.5 x 2.5㎠/SiC 조각)
- 샘플당 측정 point : 중앙 1 point
- Scan size : 10㎛ x 10㎛
- 의뢰인 : 포항공과대학교 전자과 최재용/010-2123-3062
- 요청사항 : [ICT 제품화 지원사업]으로 정산 부탁드립니다.
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 150,000원
228 2024-07-18 10시 12시 Al2o3 deposition 두께 측정 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 108,000원
229 2024-07-18 13시 14시 직접사용 의뢰 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 54,000원
230 2024-07-22 14시 15시 직접사용 의뢰 신청합니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 54,000원
231 2024-07-23 13시 16시 고분자 모폴로지 분석 포항공과대학교 화학공학과 임해량 290,000원
232 2024-07-24 12시 15시 KPFM 모드 엔지니어 교육 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 김자원 336,000원
233 2024-07-24 15시 18시 KPFM 모드 엔지니어 교육 포항공과대학교 화학공학과 송민재 336,000원
234 2024-07-24 18시 20시 직접사용.
개인팁 구비.
포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 108,000원
235 2024-07-24 9시 12시 KPFM 모드 엔지니어 교육 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 임세미 336,000원
236 2024-07-25 12시 16시 연구원님 메일로 변동사항들 정리하여 pdf 송부 드리겠습니다 서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 장수인 500,000원
237 2024-07-25 16시 17시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
238 2024-07-25 9시 12시 KPFM 모드 엔지니어 교육 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 336,000원
239 2024-07-26 10시 11시 약 24nm의 NiO가 증착된 시편 측정 희망합니다. 포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 50,000원
240 2024-07-26 13시 14시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구
-
포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 50,000원
241 2024-07-26 14시 15시 전극 roughness 측정 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 130,000원
242 2024-07-29 11시 12시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 54,000원
243 2024-07-29 15시 18시 Samples
Sample1. 350k 2wt% PMMA(pristine)
Sample2. 350k 2wt% PMMA+TMI-EG 5cycle
Sample3. 350k 2wt% PMMA+TMI-H2O 5cycle

의뢰 관련
패턴 OM 측정 후 대략적 위치 마킹 후 보내겠습니다.
5㎛ * 5㎛ square pattern x 25ea -> 약 80㎛ * 80㎛ 패턴 영역,
각 5㎛ * 5㎛ square 마다 e-beam lithography 광량이 달라서 광량에 따라 남아있는 패턴의 두께를 측정하고 싶습니다.
충남대학교 신소재공학과 계면공학 및 재료분석 연구실 (전나리교수님) 고민경 450,000원
244 2024-07-30 11시 12시 샘플 2개 표면 분석 (증착 물질 두께 측정) 포항가속기연구소 나노계면팀 이철규 130,000원
245 2024-07-31 13시 15시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 210,000원
246 2024-07-31 15시 17시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구
Cu foil 전극의 표면 roughness 분석
포항공과대학교 기초과학연구소 (화학과) 최한솔 100,000원
247 2024-08-01 14시 15시 AFM test 진행 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 반준호 80,000원
248 2024-08-01 15시 16시 AFM2 test 포항공과대학교 CSTC 최우석 50,000원
249 2024-08-01 16시 17시 3mm*3mm 조각 시편 4 곳에서 표면 거칠기 측정 요청드립니다. 전북대학교 전자정보공학부 김인화 150,000원
250 2024-08-01 9시 12시 8월 1일 9:00-12:00 AFM 장비교육 부탁드립니다. 포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 200,000원
251 2024-08-02 13시 16시 KPFM 특수교육 실습2회차 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 476,000원
252 2024-08-02 9시 12시 Perovskite 표면구조 분석 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 240,000원
253 2024-08-05 13시 16시 직접사용 교육 알파그래핀 주식회사 알파그래핀 주식회사 이상경 800,000원
254 2024-08-05 15시 18시 직접사용 교육 알파그래핀 주식회사 알파그래핀 박준규 300,000원
255 2024-08-05 9시 12시 1샘플당 약 3㎛*10㎛ 크기의 패턴이 5개 있으며, 총 3샘플 15패턴 AFM 분석 측정하고 싶습니다.

패턴 관련 자세한 정보는 샘플과 동봉하겠습니다.

샘플은 7/29일 분석 예정 샘플과 함께 가져다드리겠습니다.


감사합니다.
충남대학교 신소재공학과 계면공학 및 재료분석 연구실 (전나리교수님) 고민경 350,000원
256 2024-08-06 10시 11시 AFM 직접사용 교육 2차 실습 포항공과대학교 대학원 전기전자공학과 표재성 80,000원
257 2024-08-06 16시 18시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 160,000원
258 2024-08-07 10시 12시 샘플 수 : 6개 예정
분석 내용 : Si 박막 위에 코팅된 산화물 박막에 대한 Roughness 분석 예정
포항공과대학교 대학원 화학공학과 이주혁 210,000원
259 2024-08-07 14시 16시 Sample B, C (각 5point) 충남대학교 신소재공학과 계면공학 및 재료분석 연구실 (전나리교수님) 고민경 200,000원
260 2024-08-08 13시 17시 메일 문의 완료 한국과학기술원 기계공학과 강석경 450,000원
261 2024-08-08 9시 11시 pattern 단차 및 roughness 분석을 위한 AFM 의뢰 포항공과대학교 전자전기공학과 홍기륜 210,000원
262 2024-08-09 10시 11시 표면분석 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 50,000원
263 2024-08-09 11시 12시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구
-
포항공과대학교 공정기술팀 박광진 50,000원
264 2024-08-09 13시 17시 시편은 0.5cm x 0.5cm 로 다이싱된 Si 칩 위에 SiO2(700nm)/Ti(50nm)/Cu(1um)이 증착된 상태이고 Cu 표면위의 afm 측정을 진행하고자 합니다.
시편 개수는 두개이고 파일 이름은 시편 케이스에 적어드리는 대로 case 0, case 5로 부탁드립니다.
샘플당 측정 point는 3 point 진행을 하고 싶습니다.
Scan size는 5um x 5um로 진행하고 싶습니다.
측정은 가능하신 시간에 (예약일자보다 미리) 측정해주셔도 상관없습니다.
시편은 측정후 폐기 부탁드립니다.
서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 박상우 500,000원
265 2024-08-12 10시 12시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 160,000원
266 2024-08-12 13시 15시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 100,000원
267 2024-08-13 10시 12시 안녕하세요. AFM장비 교육(2회차) 신청 부탁드립니다.
혹시 8월 13일 이전에 취소건으로 장비 교육이 가능할 경우, 일정을 앞당길 수 있으면 좋겠습니다.
포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 150,000원
268 2024-08-13 13시 14시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구
-
포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 50,000원
269 2024-08-13 14시 17시 LED용 perovskite quantum dot 구조 분석 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 240,000원
270 2024-08-14 13시 17시 LED용 perovskite QD 표면분석 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 조종형 320,000원
271 2024-08-16 13시 17시 연구원님 메일로 내용 정리하여 송부드리겠습니다. 서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 장수인 450,000원
272 2024-08-19 13시 15시 2차 테스트 포항공과대학교 CSTC 최우석 100,000원
273 2024-08-19 15시 16시 AFM 라이센스 테스트 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 반준호 50,000원
274 2024-08-19 16시 17시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구
-
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 반준호 50,000원
275 2024-08-20 15시 17시 직접 사용 라이센스 취득을 위한 3번째 실습

첫 번째 교육을 진행한 후, 2차 실습을 진행한 상태입니다.
이번 실습을 완료하고 직접 사용 라이센스를 취득하고자 합니다.
포항공과대학교 대학원 EESL 이경수 210,000원
276 2024-08-20 9시 12시 Cu 표면 위의 afm 측정을 진행하고자 합니다.

시편은 Si 웨이퍼 위에 SiO2(700nm)/Ti(50nm)/Cu(1um)이 증착된 상태에서 C2H4
non-plasma 시편(1개) 과 C2H4, Ar 플라즈마 처리된 시편을 다이아몬드 칼로 약 1cm x 1cm 정도(4개)로 맞출 예정입니다.

시편 개수는 다섯 개고 파일 이름은 시편 케이스에 적어드리는 대로 case 0 ~ case 4로 부탁드립니다.

샘플당 측정 point는 3 point 진행을 하고 싶습니다. 중심부의 깨끗한 부분으로 측정 요청드립니다.

Scan size는 1um x 1um로 진행하고 싶습니다.

8월 13,14일 중 우체국 택배로 보낼 예정입니다. 측정은 가능하신 시간에 (예약일자보다 미리) 측정해주셔도 상관없습니다.

시편은 측정 후 폐기 부탁드립니다.
서울과학기술대학교 전자시스템연구실(지능형반도체공학과) 이동명 350,000원
277 2024-08-22 10시 12시 직접 사용 라이센스 취득을 위한 시험 요청 포항공과대학교 대학원 EESL 이경수 100,000원
278 2024-08-27 10시 12시 안녕하세요. AFM장비 교육(3회차) 신청 부탁드립니다. 포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 100,000원
279 2024-08-27 13시 16시 직접사용 1차 교육 포항공과대학교 반도체공학과 홍준영 240,000원
280 2024-08-27 16시 18시 X 포항공과대학교 대학원 EESL 이경수 100,000원
281 2024-08-28 10시 11시 SL072 삼성전자 Power device팀 박종원 150,000원
282 2024-08-28 13시 15시 플라스틱/ 실리콘 기판위의 증착된 샘플에 대한 모폴로지 데이터 분석이 필요합니다. 부경대학교 부경대학교 권혁진 250,000원
283 2024-08-28 15시 16시 시편 4ea
20 x 20 um^2
표면 토폴로지 및 roughness 데이터 분석
주식회사 보다 연구개발 김형원 125,000원
284 2024-08-29 16시 18시 교육 3차 포항공과대학교 대학원 전기전자공학과 표재성 160,000원
285 2024-08-30 14시 18시 Samples
Sample1. 350k 2wt% PMMA(pristine)
Sample2. 350k 2wt% PMMA+TMI-EG 5cycle
Sample3. 350k 2wt% PMMA+TMI-H2O 5cycle

의뢰 관련
패턴 OM 측정 후 대략적 위치 마킹 후 보내겠습니다.
5㎛ * 5㎛ square pattern x 25ea -> 약 80㎛ * 80㎛ 패턴 영역,
각 5㎛ * 5㎛ square 패턴 마다 남아있는 패턴의 두께를 측정하고 싶습니다.
충남대학교 신소재공학과 계면공학 및 재료분석 연구실 (전나리교수님) 고민경 550,000원
286 2024-08-30 9시 12시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구※
- 측정자 : 김민호 (010-4516-9583, mhkim20@postech.ac.kr)
- 샘플 2종 (시간 여유시, 추가 샘플 측정 가능하도록 준비 예정.)
- 샘플 상태 : 16mm 직경의 stainless steel 기판 위에 SnO2 나노와이어가 약 50 um 정도 올려져 있는 샘플
- 원하는 데이터 : 샘플 2종의 형상 비교(micro-scale의 pore 존재 유무 파악) 및 roughness 측정 예정.
- Scan size : 100 um X 100 um
포항공과대학교 화학공학과 지준혁 150,000원
287 2024-09-02 10시 17시 KPFM 샘플 5개 측정 진행 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 924,000원
288 2024-09-03 16시 17시 VOx smaple 4ea
roughness 측정
주식회사 보다 연구개발 김형원 75,000원
289 2024-09-03 17시 18시 알파그래핀 2차 교육_박준규 알파그래핀 주식회사 알파그래핀 박준규 100,000원
290 2024-09-05 10시 11시 AFM 직접 사용자 교육 2차_이상경 알파그래핀 주식회사 알파그래핀 주식회사 이상경 100,000원
291 2024-09-05 15시 18시 특수모드 (KPFM) 테스트 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 600,000원
292 2024-09-05 9시 10시 AFM 직접 사용자 교육 3차_박준규 알파그래핀 주식회사 알파그래핀 박준규 100,000원
293 2024-09-06 15시 18시 AFM 일반모드 직접사용 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 150,000원
294 2024-09-06 9시 11시 테스트 포항공과대학교 대학원 전기전자공학과 표재성 100,000원
295 2024-09-09 10시 12시 시편은 총 7개 측정 예정입니다.
총 2시간 예약하도록 하고, 마지막 실습 진행하도록 하겠습니다.
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 최준혁 160,000원
296 2024-09-10 13시 14시 2장의 SiC wafer를 분석하고 싶습니다.
한 wafer 당 2point, Roughness/단차 측정을 목적으로 합니다.
포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 130,000원
297 2024-09-12 10시 14시 5㎛ * 5㎛ square pattern x 25ea -> 약 80㎛ * 80㎛ 패턴을 한 샘플입니다.

각 5㎛ * 5㎛ square 마다 패터닝 광량이 달라서 각 패턴마다 남아있는 두께를 측정하고 싶습니다.
충남대학교 신소재공학과 계면공학 및 재료분석 연구실 (전나리교수님) 고민경 500,000원
298 2024-09-13 9시 10시 3차 실습 알파그래핀 주식회사 알파그래핀 주식회사 이상경 100,000원
299 2024-09-20 12시 15시 자율 사용 라이센스 교육 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 석규환 240,000원
300 2024-09-20 15시 18시 KPFM 직접 사용 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 210,000원
301 2024-09-20 9시 12시 자율사용 라이센스 교육 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 290,000원
302 2024-09-24 10시 11시 장비 사용 라이센스 테스트 알파그래핀 주식회사 알파그래핀 주식회사 이상경 60,000원
303 2024-09-24 11시 12시 4차 실습 교육(희망) 알파그래핀 주식회사 알파그래핀 박준규 100,000원
304 2024-09-26 17시 18시 Al2O3 on SiO2/Si & Si wafer
Thickness
포항공과대학교 기계공학과 안주환 80,000원
305 2024-09-27 10시 12시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구※
고분자 표면의 모폴로지 분석
포항공과대학교 화학공학과 임해량 100,000원
306 2024-09-27 13시 17시 해당 없음 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 200,000원
307 2024-09-27 17시 18시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구※
-
포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 50,000원
308 2024-09-27 9시 10시 AFM height roughness 분석을 통해 두께를 측정하고자 하며, whole image는 측정하지 않아도 됩니다.

두께를 측정하고자 하는 총 샘플은 7개이며, 각 샘플 당 scan point 1개, scan size 10 µm입니다.

감사합니다.
포항공과대학교 대학원 화학공학과 노유진 130,000원
309 2024-09-30 10시 12시 고분자 표면의 모폴로지 분석 포항공과대학교 화학공학과 임해량 210,000원
310 2024-10-02 11시 12시 실습 2차 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 80,000원
311 2024-10-02 13시 15시 2 by 2 소자 4개 측정 진행하고자 합니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 반준호 100,000원
312 2024-10-02 15시 17시 직접 사용 포항공과대학교 대학원 기계공학과 백종현 100,000원
313 2024-10-02 18시 20시 없음 포항공과대학교 대학원 EESL 이경수 130,000원
314 2024-10-02 9시 11시 실습 2차 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 석규환 160,000원
315 2024-10-08 15시 18시 AFM을 통한 단차 및 Slope 측정 포항공과대학교 대학원 전기전자공학과 표재성 150,000원
316 2024-10-09 14시 15시 Wafer 2장
1장 당 50 x 50, 10x10
휴일 분석 서비스 할증율 150%
포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 200,000원
317 2024-10-11 16시 17시 직접사용 포항공과대학교 대학원 전기전자공학과 표재성 50,000원
318 2024-10-15 10시 11시 . 포항공과대학교 화학과 이유빈 230,000원
319 2024-10-15 15시 18시 샘플 6개(1 샘플 당 2 point) (주)AVACO 신기술개발실 신기술그룹 김현동 350,000원
320 2024-10-15 20시 21시 야간 직접사용 포항공과대학교 대학원 전기전자공학과 표재성 50,000원
321 2024-10-16 11시 12시 3차 실습 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 180,000원
322 2024-10-16 9시 11시 3차 실습 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 석규환 210,000원
323 2024-10-17 16시 17시 . 포항공과대학교 대학원 기계공학과 윤승빈 130,000원
324 2024-10-17 9시 12시 Graphene on quartz decorated with Al2O3 포항공과대학교 대학원 첨단원자력공학부 김효주 290,000원
325 2024-10-18 10시 15시 직접 사용 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 350,000원
326 2024-10-18 15시 17시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구※
KPFM
포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 140,000원
327 2024-10-21 16시 17시 시료 표면 거칠기 분석 (6매)
5um x 5um (1 샘플 당 2point)
(주)AVACO 신기술개발실 신기술그룹 김현동 100,000원
328 2024-10-21 17시 18시 샘플 1개 1시간 희망합니다.
(보유 Tip은 없습니다.)
포항공과대학교 기계공학과 이주환 100,000원
329 2024-10-22 13시 16시 . 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 150,000원
330 2024-10-23 9시 12시 샘플 수량 및 크기 : 8개 / 1*1 ㎠

스캔 사이즈 10 um x10 um, 스캔 위치 샘플 중앙부, 해상도 line 256x256

담당연구원 : 최재용/010-2123-3062
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 290,000원
331 2024-10-28 10시 11시 라이센스 취득 시험 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 50,000원
332 2024-10-28 11시 18시 연구과제 분석비 집행 포항공과대학교 대외협력팀 이남석 600,000원
333 2024-10-28 9시 10시 직접 사용을 위한 테스트 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 석규환 50,000원
334 2024-10-29 10시 12시 Silane SAM coating된 웨이퍼 표면 분석 요청드립니다.
SAM coating : 자가조립단층, 분자 1층이 표면에 얇게 적층된구조.
(Roughness ~ 수 nm 로 예상)
wafer piece 2조각 의뢰 예정.
각 시료마다 2 point가량 scanning 이후 Roughness 분석 진행하고자 합니다.
시료 전달은 월요일 오전9시 이전에 전달드리고자 하며, 전달 이후 다음주 (10/21~10/23) 중 가능하신 시간에 장비서비스 해주실수 있을지 문의드립니다.
포항공과대학교 화학공학과 류민 210,000원
335 2024-10-29 14시 16시 Chirality-sorted single-walled carbon nanotube film/Pd nanoparticles 분석 예정입니다.

tube size는 직경 1nm~10nm이고, Pd는 알 수 없습니다.

샘플은 SiO2 (100nm) 위에 준비 예정입니다.
포항공과대학교 대학원 화학공학과 최민재 210,000원
336 2024-10-30 9시 12시 서비스 희망, 기본모드 사용, 스캔 후 스팟 지정해서 측정 예정 포항공과대학교 대학원 화학 최영훈 340,000원
337 2024-10-31 9시 12시 기본모드 2차 실습 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 임세미 290,000원
338 2024-11-04 14시 16시 hBN flakes 포항공과대학교 대학원 Materials Science & Engineering Faiz Salma 210,000원
339 2024-11-04 21시 22시 직접사용 포항공과대학교 대학원 전기전자공학과 표재성 50,000원
340 2024-11-05 10시 11시 시편 6개에 대한 두께 측정 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 반준호 50,000원
341 2024-11-05 11시 13시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구※
-
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 반준호 100,000원
342 2024-11-05 13시 16시 없음 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 150,000원
343 2024-11-05 16시 17시 - 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 80,000원
344 2024-11-05 9시 11시 Silane SAM coating된 웨이퍼 표면 분석 요청드립니다.
SAM coating : 자가조립단층, 분자 1층이 표면에 얇게 적층된구조.
포항공과대학교 화학공학과 류민 210,000원
345 2024-11-06 17시 18시 기존 샘플 추가 측정 의뢰합니다. 포항공과대학교 화학공학과 류민 130,000원
346 2024-11-06 9시 14시 샘플의 수는 총 9개이며 논문에 들어갈 데이터입니다.
9:00-15:00 분석 (12:00-13:00 점심시간 제외)
포항공과대학교 대학원 화학공학과 백세연 450,000원
347 2024-11-07 15시 16시 샘플 정보 추후 전달드리겠습니다. 포항공과대학교 대학원 화학공학과 최민재 130,000원
348 2024-11-11 13시 18시 그래핀 위 원자층 증착 형상 관찰 포항공과대학교 대학원 첨단원자력공학부 김효주 500,000원
349 2024-11-11 9시 11시 원래 이번에 afm 장비 직접이용 시험인데 교육 한번 더 진행하고 시험 가능할까요? 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 최준혁 160,000원
350 2024-11-12 09시 11시 AFM 라이센스 획득을 위한 실습 포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 150,000원
351 2024-11-12 12시 15시 KPFM 자율 사용을 위한 장비 교육(1일차) 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 석규환 936,000원
352 2024-11-12 15시 18시 KPFM 모드 자율사용 교육 1차 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 336,000원
353 2024-11-13 10시 15시 직접 사용의뢰 신청합니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 250,000원
354 2024-11-14 10시 12시 표면 roughness 및 surface area 측정 포항공과대학교 대학원 기계공학과 주경재 150,000원
355 2024-11-15 10시 12시 샘플 정보 추후 말씀드리겠습니다. 포항공과대학교 대학원 화학공학과 최민재 210,000원
356 2024-11-15 20시 23시 없음 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 210,000원
357 2024-11-15 9시 10시 안녕하세요. AFM 서비스 신청 의뢰드립니다.

Tapping mode로 측정하고자 하며, Whole image (2 µm, 5 µm) 그리고 Height roughness를 통한 두께 측정을 하고자 합니다.

샘플은 총 2개이며, 각 샘플당 whole image (2 µm, 5 µm) 2개 그리고 두께 측정을 의뢰드립니다.

감사합니다.
포항공과대학교 대학원 화학공학과 노유진 130,000원
358 2024-11-18 10시 12시 hBN flakes composite 포항공과대학교 대학원 Materials Science & Engineering Faiz Salma 160,000원
359 2024-11-18 13시 14시 Mica라는 기판 위에 2D 소재가 성장된 샘플에서, Mica 및 2D소재의 두께를 측정하고 싶습니다. 포항공과대학교 대학원 신소재학과 최창원 130,000원
360 2024-11-18 14시 16시 테스트 포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 100,000원
361 2024-11-18 16시 18시 . 포항공과대학교 CSTC 최우석 100,000원
362 2024-11-19 16시 17시 없음 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 50,000원
363 2024-11-19 17시 18시 AFM 직접 이용 희망합니다. 포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 50,000원
364 2024-11-19 9시 13시 - 패턴 OM 측정 후 대략적 위치 마킹 후 보내겠습니다.
- 5㎛ * 5㎛ square pattern x 25ea -> 약 80㎛ * 80㎛ 패턴 영역을 측정하고 싶으며, 최근 패턴을 포함해 Si etching을 대략 300nm정도 진행 하여서 각 5㎛ * 5㎛ square 패턴 주위 식각된 Si 두께를 측정하고 싶습니다.
충남대학교 신소재공학과 계면공학 및 재료분석 연구실 (전나리교수님) 고민경 500,000원
365 2024-11-21 14시 16시 교육 2차입니다. 포항공과대학교 반도체공학과 신예지 150,000원
366 2024-11-25 9시 12시 과제 분석 건 포항공과대학교 대외협력팀 이남석 300,000원
367 2024-11-26 11시 14시 장비 라이센스 교육 포항공과대학교 대학원 첨단원자력공학부 김효주 290,000원
368 2024-11-26 8시 11시 직접사용 1차 교육 및 실습 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 이재욱 150,000원
369 2024-11-27 10시 11시 KPFM 모드 2차 실습 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 112,000원
370 2024-11-27 11시 12시 KPFM 모드 직접 사용을 위한 장비 교육 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 석규환 112,000원
371 2024-11-27 13시 17시 SiCN 표면 거칠기 분석 서울과학기술대학교 전기정보공학과 최준영 450,000원
372 2024-11-28 13시 14시 4차 실습 포항공과대학교 대학원 EESL 이경수 80,000원
373 2024-11-29 11시 12시 PR 패터닝 후 단차 확인하려고 합니다. 포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 50,000원
374 2024-11-29 15시 18시 SiC surface 측정 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 250,000원
375 2024-11-29 9시 11시 8mm*8mm Si wafer 위의 박막 샘플 7개의 roughness 분석 진행하고자 합니다.

여유 시간 있을 시 샘플 1개 정도 추가할 수도 있을 것 같습니다.

해상도는 1um*1um 에 256*256 포인트로 하겠습니다.
포항공과대학교 신소재공학과 최찬식 210,000원
376 2024-12-04 14시 16시 3차 실습 포항공과대학교 반도체공학과 신예지 100,000원
377 2024-12-05 14시 15시 샘플 2개 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 80,000원
378 2024-12-05 9시 10시 Ag on Si wafer

Ag thickness 측정
포항공과대학교 기계공학과 안주환 130,000원
379 2024-12-06 11시 12시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구※
고분자 박막의 모폴로지를 분석하려고 합니다.
포항공과대학교 화학공학과 임해량 50,000원
380 2024-12-06 13시 15시 고분자 박막의 모폴로지를 분석하려고 합니다. 포항공과대학교 화학공학과 임해량 210,000원
381 2024-12-06 16시 17시 Ag on Si wafer

Ag 두께측정
포항공과대학교 기계공학과 안주환 80,000원
382 2024-12-06 9시 10시 1차 실습 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 이재욱 50,000원
383 2024-12-09 10시 13시 직접사용 1차 교육 및 실습 포항공과대학교 대학원 화학공학과 전현준 270,000원
384 2024-12-09 12시 15시 직접사용 1차 교육 및 실습 포항공과대학교 화학공학과 류민 240,000원
385 2024-12-09 16시 17시 KPFM 테스트 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 석규환 70,000원
386 2024-12-09 17시 18시 KPFM 테스트 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 70,000원
387 2024-12-09 9시 12시 직접사용 1차 교육 및 실습 포항공과대학교 반도체공학과 이도헌 200,000원
388 2024-12-10 15시 18시 2차 실습 포항공과대학교 대학원 첨단원자력공학부 김효주 240,000원
389 2024-12-10 9시 14시 총 샘플 3개(한 샘플당 5패턴 *3샘플 총 15개 이미지)

패턴 모양 : line pattern 모두 길이는 5㎛ 폭은 20~500nm로 다르게 2㎛ 간격으로 총 17개 존재(한 패턴의 총 크기 (약 10㎛ * 40㎛)

한 샘플당 중앙부터 1mm씩 내려가며 최대 5개의 패턴이 존재합니다.

패턴 크기가 작아 최대한 위치 표시하여 보내겠습니다. 가장 아래 패턴이 뚜렷하기 때문에 아래 방향부터 측정하시면 좋을 것 같습니다.



충남대학교 신소재공학과 계면공학 및 재료분석 연구실 (전나리교수님) 고민경 550,000원
390 2024-12-11 10시 12시 PFM모드 분석
(엔지니어분석)
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤석현 224,000원
391 2024-12-11 14시 16시 C-AFM 교육 (엔지니어) (실습 제외) 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 이재욱 140,000원
392 2024-12-11 14시 17시 C-AFM 교육 (엔지니어) 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 336,000원
393 2024-12-11 15시 18시 C-AFM 교육 (엔지니어) 포항공과대학교 반도체공학과 신예지 210,000원
394 2024-12-11 18시 21시 C-AFM 분석 (엔지니어) 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 유상훈 336,000원
395 2024-12-13 14시 15시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구※
직접사용
포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 50,000원
396 2024-12-13 15시 17시 직접 사용 roughness 포항공과대학교 반도체공학과 황제혁 100,000원
397 2024-12-13 9시 11시 직접사용 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 100,000원
398 2024-12-16 13시 14시 2차 실습 포항공과대학교 화학공학과 류민 80,000원
399 2024-12-18 9시 17시 지름 4마이크로, 깊이50nm의 구멍속의 hbn,graphene 표면을 촬영하고자 함. 경희대학교 물리학과 안수영 900,000원
400 2024-12-19 13시 14시 샘플 2개 포항공과대학교 대학원 화학공학과 편승희 130,000원
401 2024-12-19 15시 16시 3차 실습 포항공과대학교 화학공학과 류민 130,000원
402 2024-12-19 9시 12시 샘플 14개 포항공과대학교 반도체기술융합센터 문창빈 290,000원
403 2024-12-20 10시 11시 직접사용 테스트 포항공과대학교 화학공학과 류민 300,000원
404 2024-12-20 13시 16시 직접사용 1차 교육 및 실습 포항공과대학교 기계공학과 안주환 290,000원
405 2024-12-24 10시 11시 2차 실습 포항공과대학교 대학원 화학공학과 전현준 80,000원
406 2024-12-24 11시 13시 3차 실습 포항공과대학교 대학원 첨단원자력공학부 김효주 160,000원
407 2024-12-24 14시 15시 ※당일 취소로 인한 사용료 50% 청구※
2차 실습
포항공과대학교 반도체공학과 이도헌 50,000원
408 2024-12-24 15시 17시 직접사용 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 100,000원
409 2024-12-24 17시 18시 직접사용 테스트 포항공과대학교 반도체공학과 신예지 50,000원
410 2024-12-26 9시 11시 SiC 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 210,000원
411 2024-12-30 10시 11시 2차 실습 (기본모드) 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 이재욱 50,000원
412 2024-12-30 11시 12시 2차 실습 (C-AFM) 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 112,000원
413 2024-12-30 13시 17시 샘플 4종 Modulus 측정 (AMFM모드) 포항공과대학교 대학원 화학공학과 배유림 498,000원
414 2024-12-30 17시 18시 직접사용 포항공과대학교 화학공학과 류민 50,000원
415 2024-12-30 8시 10시 직접사용 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김정수 140,000원
416 2024-12-31 11시 12시 3차 실습 (기본모드) 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 이재욱 100,000원