PR Asher_BEOL 장비일지 |
기자재관리번호 : 0 |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2021-12-28 15시 | 16시 | PR Ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이원찬 | 158,000원 |
| 2 | 2021-12-30 9시 | 11시 | 5-2-3 T-Metal Left-off Ashing | 삼성전자 (종합기술원) | Nano Electronics Lab. | 황경욱 | 185,000원 |
| 3 | 2022-01-18 15시 | 16시 | Descum 2ea | 나노융합기술원 | 사업지원팀 | 21년도 전문인력 1조 | 0원 |
| 4 | 2022-01-19 14시 | 15시 | [21년도 전문인력양성 1조] descum 공정 wafer 2장 신청합니다. |
나노융합기술원 | 사업지원팀 | 21년도 전문인력 1조 | 0원 |
| 5 | 2022-01-24 16시 | 17시 | [21년도 전문인력양성 고급실습교육] 140도, 300초 |
나노융합기술원 | 사업지원팀 | 21년도_전문인력 6조 | 0원 |
| 6 | 2022-06-21 10시 | 11시 | 1-2-1 electrode Descum | (주)에스제이컴퍼니 | 개발팀 | 박상준 | 140,000원 |
| 7 | 2022-07-11 11시 | 11시 | PR Ashing | (주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 최준석 | 2,000,000원 |
| 8 | 2022-07-15 15시 | 16시 | 3-2-4 PAD PR Remove (Ashing) | (주)이너센서 | 경영, 연구소 | 강문식 | 74,000원 |
| 9 | 2022-08-01 14시 | 15시 | 1-3-1 Descum | 주식회사 이엔아이솔루션 | 공정 | 임태산북두 | 410,000원 |
| 10 | 2022-08-03 13시 | 14시 | 2-3-1 SiO2 Decum | (주)에스제이컴퍼니 | 개발팀 | 박상준 | 380,000원 |
| 11 | 2022-08-03 14시 | 15시 | 2-3-3 SiO2 Etch (Ashing) | (주)에스제이컴퍼니 | 개발팀 | 박상준 | 380,000원 |
| 12 | 2022-08-11 13시 | 14시 | 2-2-1 Descum | 에스앤에스텍 | EUV Pellicle 개발팀 | 이승조 | 170,000원 |
| 13 | 2022-08-17 15시 | 12시 | 전문인력양성사업 MEMS 센서 제작 실습교육 PR ASHING 실습 |
나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 650,000원 |
| 14 | 2022-08-18 12시 | 13시 | 1.2 Descum | 삼성전자 | 생산기술연구소 | 구자명 | 320,000원 |
| 15 | 2022-08-23 10시 | 11시 | SD22Y05M - LEG layer Ashing 6인치 1매 | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 77,000원 |
| 16 | 2022-08-23 11시 | 11시 | UE 8월 공정 사용대금 | (주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 최준석 | 5,000,000원 |
| 17 | 2022-08-24 15시 | 12시 | 전문인력양성사업 MEMS 센서 제작 실습교육 PR Ashing 실습 |
나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 650,000원 |
| 18 | 2022-09-19 17시 | 18시 | 2-3-3 Ashing | 에스앤에스텍 | EUV Pellicle 개발팀 | 이승조 | 140,000원 |
| 19 | 2022-09-28 1시 | 1시 | 공정 04/11 | (주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 최준석 | 2,000,000원 |
| 20 | 2022-10-26 13시 | 14시 | SD22Y10M - PHOLE PR Revome | 주식회사 아이디피 | 부설연구소 | 김형원 | 131,000원 |
| 21 | 2022-10-26 14시 | 15시 | SD22Y10M - PHOLE Ash 장당 6회 |
주식회사 아이디피 | 부설연구소 | 김형원 | 500,000원 |
| 22 | 2022-12-09 10시 | 10시 | WM_HR_lens PR strip - 4ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 122,000원 |
| 23 | 2022-12-12 14시 | 15시 | Descum | 삼성디스플레이 | 선행제품연구팀 | 박후근 | 438,000원 |
| 24 | 2022-12-19 9시 | 9시 | 나노융합기반고도화 사업 PR Ashing |
(주)유우일렉트로닉스 | Fab 팀 | 이민상 | 2,750,000원 |
| 25 | 2022-12-21 13시 | 14시 | PA_META Etching후 Ashing | 주식회사 아이디피 | 부설연구소 | 김형원 | 70,000원 |
| 26 | 2022-12-26 11시 | 12시 | 3-3-2 TiN Etch (Ashing) | 포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학과 | 김승모 | 254,000원 |
| 27 | 2023-01-13 13시 | 14시 | PA_META_non metal - Etch후 Ashing | 주식회사 아이디피 | 부설연구소 | 김형원 | 68,000원 |
| 28 | 2023-01-16 10시 | 11시 | 11-2-3 Gate PR Remove (ashing) | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 140,000원 |
| 29 | 2023-02-21 16시 | 17시 | LID - Descum_8인치 6매 | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 158,000원 |
| 30 | 2023-02-23 14시 | 15시 | LID - Bond - Descum _8인치 6매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 158,000원 |
| 31 | 2023-03-03 16시 | 17시 | LID Cavity Ashing | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 67,000원 |
| 32 | 2023-03-09 15시 | 16시 | 1-2-2 Ashing | LG전자 | 차세대디스플레이연구소 | 장성규 | 110,000원 |
| 33 | 2023-03-15 15시 | 16시 | 1-2-2 Mesa PR Remove (Ashing) | 포항공과대학교 대학원 | 신소재공학과 | 박정현 | 374,000원 |
| 34 | 2023-04-17 11시 | 12시 | [나노융합기반 고도화산업] PR strip |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 90,000원 |
| 35 | 2023-04-27 11시 | 12시 | [나노융합기반 고도화산업] PR ashing 4매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 130,000원 |
| 36 | 2023-05-02 16시 | 17시 | [나노융합기반 고도화산업] PR ashing 1ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 67,000원 |
| 37 | 2023-05-12 16시 | 18시 | [나노융합기반 고도화산업] Ashing 18매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 356,000원 |
| 38 | 2023-05-26 9시 | 10시 | 1-2-1 descum | 싸니코전자(주) | 개발팀 | 최주헌 | 140,000원 |
| 39 | 2023-06-21 11시 | 12시 | 1-3-2 Ashing | 포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학부 | 이찬빈 | 146,000원 |
| 40 | 2023-06-21 13시 | 14시 | 1-3-2 Ashing | 포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학과 | 김승모 | 98,000원 |
| 41 | 2023-06-21 14시 | 15시 | 1-3-2 Ashing | 포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학부 | 이찬빈 | 98,000원 |
| 42 | 2023-08-07 10시 | 11시 | BD3217_D3217 Mi Layer DNR Descum | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 101,000원 |
| 43 | 2023-08-16 13시 | 14시 | 8\' si wafer notch type Descum 85C/ 30s _ 4ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 152,000원 |
| 44 | 2023-10-25 12시 | 13시 | BD3217_PIB DNR DESCUM 두장 | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 169,000원 |
| 45 | 2023-11-01 15시 | 16시 | BD3217-1101-MI - Descum_3매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 101,000원 |
| 46 | 2023-11-13 10시 | 11시 | VOX 특성평가 _ DNR Descum 5매 | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 135,000원 |
| 47 | 2023-11-16 17시 | 18시 | BD3217-1116-MI - Descum_4매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 118,000원 |
| 48 | 2023-11-22 11시 | 12시 | BD3217-1116-NHOLE - Ashing 2매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 84,000원 |
| 49 | 2023-11-23 9시 | 10시 | foundry_SN 8\'si+cu dep 자체 PR cleaning 140C 1min |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 67,000원 |
| 50 | 2023-11-29 13시 | 14시 | BD3217-1116-SEED - Descum-2매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 84,000원 |
| 51 | 2023-12-12 15시 | 16시 | VOx 특성평가 - Descum_5매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 135,000원 |
| 52 | 2023-12-12 16시 | 17시 | LOT ID: Module 목적: Ashing 총 1장 |
(주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 조기수 | 65,000원 |
| 53 | 2023-12-13 16시 | 17시 | BD3217-D-1117 Asher 140C 2min _ 2ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 84,000원 |
| 54 | 2023-12-14 15시 | 16시 | BD3217-D-1117 Ashing 140C 5min - 1ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 67,000원 |
| 55 | 2023-12-18 11시 | 12시 | BD3217_D_1117(leg) Ashing 140C 1min _ 3ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 101,000원 |
| 56 | 2023-12-21 11시 | 12시 | BD3217-1117-OHMIC - Ashing_2매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 84,000원 |
| 57 | 2023-12-26 9시 | 10시 | PA-META - Ashing 1매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 67,000원 |
| 58 | 2024-01-04 11시 | 12시 | BD3217-0102-PHOLE - Ashing_1매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 67,000원 |
| 59 | 2024-01-08 10시 | 11시 | PA asher 180C 5min 1ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 67,000원 |
| 60 | 2024-01-09 10시 | 11시 | PR asher | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 84,000원 |
| 61 | 2024-01-11 9시 | 10시 | BD3217_D_0102 PR asher 3ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 101,000원 |
| 62 | 2024-01-17 10시 | 11시 | BD3217-ROIC - Ashing |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 84,000원 |
| 63 | 2024-01-22 17시 | 18시 | WM PR asher |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 67,000원 |
| 64 | 2024-02-15 10시 | 11시 | BD32017_D_240102_Nhole Ashing 3ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 101,000원 |
| 65 | 2024-02-19 11시 | 12시 | BD32017_D_240102_nhole PR asher |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 84,000원 |
| 66 | 2024-02-20 13시 | 14시 | BD32017_D_240102_Nhole PR ashing 2ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 84,000원 |
| 67 | 2024-02-21 9시 | 10시 | BD3217-0102-NHOLE(Rework) - Ashing_2매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 84,000원 |
| 68 | 2024-02-22 10시 | 11시 | 일반결제 | (주)유우일렉트로닉스 | Fab 팀 | 이민상 | 65,000원 |
| 69 | 2024-02-28 10시 | 11시 | MT_WLVP PI Ashing 1ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 67,000원 |
| 70 | 2024-03-06 13시 | 14시 | BD32107_D_240102_Nhole(rework) PR remove 2ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 80,000원 |
| 71 | 2024-03-14 11시 | 12시 | BD32017_D_240102_LEG PR asher |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 80,000원 |
| 72 | 2024-03-19 12시 | 13시 | BD3217-240102-OHMIC - PR Ashing_2매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 83,200원 |
| 73 | 2024-04-03 11시 | 12시 | Ashing 2매 | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 83,200원 |
| 74 | 2024-04-05 17시 | 18시 | ROIC wafer _ Ashing 180C 5min 1ea | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 66,600원 |
| 75 | 2024-04-15 10시 | 12시 | 현재 Lithium niobate on SiO2 on Si 물질이며, Lithium niobate 위에 일부 면적에 다음 lithography를 위한 Au 층이 증착되어 있습니다. 케이스 보관을 할 때에 샘플을 뒤집어 놨습니다. (Lithium niobate가 아래에 Si이 위에 있습니다. 눈으로 보시면 확연히 아실 수 있습니다.) 아래는 제가 원하는 ashing 공정 정보입니다. Ashing 조건: 140도, 1 kW, 5분 |
포항공과대학교 | 물리학과 | 권기원 | 74,000원 |
| 76 | 2024-04-26 10시 | 11시 | 이메일로 미리 연락드린 물리학과 대학원생 권기원입니다. 현재 Lithium niobate on SiO2 on Si 물질이며, 케이스 보관을 할 때에 샘플을 뒤집어 놨습니다. (Lithium niobate가 아래에 Si이 위에 있습니다. 눈으로 보시면 확연히 아실 수 있습니다.) 메일상으로 말씀드린것 같이 목요일 밤에 샘플 보관함에 맡기고 금요일 공정이 끝난 후에 샘플을 찾아가고 싶습니다. 공정 끝나고 샘플함에 넣어주시고 제 번호로 문자 하나 넣어주시면 감사하겠습니다. 아래는 제가 원하는 ashing 공정 정보입니다. Ashing 조건: 140도, 1 kW, 5분 감사합니다. |
포항공과대학교 | 물리학과 | 권기원 | 74,000원 |
| 77 | 2024-05-27 20시 | 21시 | PR Ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 류용우 | 98,000원 |
| 78 | 2024-05-31 12시 | 13시 | 샘플 스펙: Lithium niobate, 조각 샘플 (3 cm x 2.5 cm), bare 상태, 2개 Ashing 조건: 140도, 1 kW, 5분 장비: BEOL 오늘 밤에 1층 샘플 보관함에 갖다 놓을 예정이며, 내일 공정 해주시면 감사하겠습니다. |
포항공과대학교 | 물리학과 | 권기원 | 98,000원 |
| 79 | 2024-08-08 10시 | 11시 | Descum 진행 | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 150,000원 |
| 80 | 2024-08-19 16시 | 17시 | EGR2433 Lift off 후 ashing 진행 |
(주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 170,000원 |
| 81 | 2024-08-19 17시 | 18시 | Polyimide 제거 2장 x 3회 | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 170,000원 |
| 82 | 2024-08-20 10시 | 12시 | Ashing 2매 x 3회 진행 | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 170,000원 |
| 83 | 2024-08-23 10시 | 12시 | Polyimide 제거 ashing 2매 X 3회 진행 | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 170,600원 |
| 84 | 2024-08-26 11시 | 12시 | Ashing 3매 | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 110,300원 |
| 85 | 2024-08-27 10시 | 12시 | polyimide ashing | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 150,500원 |
| 86 | 2024-08-27 16시 | 18시 | polyimide 제거 | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 110,300원 |
| 87 | 2024-08-28 10시 | 12시 | Polyimide ashing 진행 | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 110,300원 |
| 88 | 2024-09-04 10시 | 11시 | UE01 EGR2433 3-3-2 PR strip |
(주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 170,600원 |
| 89 | 2024-09-04 11시 | 12시 | 4-1-1 SL | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 230,000원 |
| 90 | 2024-09-04 13시 | 15시 | Polyimide ashing 3회 | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 110,300원 |
| 91 | 2024-09-09 15시 | 16시 | UE01 EGR2433 4-3-3 PR Ashing (ICT 바우처) |
(주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 170,600원 |
| 92 | 2024-09-12 14시 | 16시 | UE01 5-2-4 Ashing (ICT 바우처 사용) |
(주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 150,500원 |
| 93 | 2024-09-12 9시 | 10시 | UE01 5-2-1 Descum (ICT 바우처 사용) |
(주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 150,500원 |
| 94 | 2024-09-13 11시 | 13시 | ICT 제품화 지원사업 PR Ashing |
마이크로어낼리시스(주) | 기업부설연구소 | 조경호 | 110,000원 |
| 95 | 2024-09-20 10시 | 11시 | 6-3-3 OHO | (주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 150,500원 |
| 96 | 2024-09-23 8시 | 9시 | 1-2-0 Descum | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 74,000원 |
| 97 | 2024-09-30 10시 | 12시 | 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다. 500 nm 두께의 ZEP PR을 애싱하려고 합니다. 하부에는 PECVD로 쌓은 a-Si:H과, 홀 구조체 패터닝이 되어있습니다. 시편은 시편보관함 안에 넣어두도록 하겠습니다. 감사합니다. |
포항공과대학교 | 기계공학과 | 양영환 | 71,000원 |
| 98 | 2024-10-11 14시 | 15시 | Ashing 6ea | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 140,000원 |
| 99 | 2024-10-15 15시 | 16시 | Ashing 3ea | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 95,000원 |
| 100 | 2024-10-16 15시 | 16시 | Ashing 1ea | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 65,000원 |
| 101 | 2024-10-17 16시 | 17시 | PR remove 3ea | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 95,000원 |
| 102 | 2024-11-05 15시 | 16시 | ICT 제품화 지원사업 DRIE: Si 10 um후 PR 제거 |
마이크로어낼리시스(주) | 기업부설연구소 | 조경호 | 80,000원 |
| 103 | 2024-11-05 18시 | 19시 | Ashing_2매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 80,000원 |
| 104 | 2024-11-07 17시 | 18시 | META3217_R_241014 Ashing 2ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 80,000원 |
| 105 | 2024-11-08 13시 | 14시 | 안녕하세요. 포항공대 물리학과 성열헌 입니다. SOI 조각 시편 ashing 신청드립니다. 감사합니다. 성열헌 드림 |
포항공과대학교 | 물리학과 | 성열헌 | 74,000원 |
| 106 | 2024-11-08 15시 | 16시 | 1-2-2 Ashing | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 98,000원 |
| 107 | 2024-11-13 14시 | 15시 | 안녕하세요. 포항공대 성열헌 입니다. BEOL asher 장비 직접 사용 교육 신청드립니다. 감사합니다. 성열헌 드림 |
포항공과대학교 | 물리학과 | 성열헌 | 74,000원 |
| 108 | 2024-11-13 15시 | 16시 | 장비사용자 : 김우성,김한용 ROIC,1층 더미 - MI - Descum_4매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 110,000원 |
| 109 | 2024-11-15 9시 | 12시 | glass 위에 aSi이 패터닝 되어 있으며, 그 위 PR (ZEP-520a)가 코팅이 되어 있습니다. ZEP520a가 500 nm 정도 있는데 제거하려고 asher를 맡깁니다. 시편은 시편보관함 안에 넣어두도록 하겠습니다. 감사합니다. |
포항공과대학교 | 기계공학과 | 양영환 | 71,000원 |
| 110 | 2024-11-18 13시 | 14시 | EGR2433(ICT 바우처) 8-2-1 Descum |
(주)유우일렉트로닉스 | (주)유우일렉트로닉스 | 박일몽 | 110,300원 |
| 111 | 2024-11-19 16시 | 17시 | pmma 제거 예정입니다. 두께는 약 2㎛ 입니다. O2 Ashing, 95도 조건 - 60초 조각 샘플 2개 |
포항가속기연구소 | 나노계면팀 | 이철규 | 98,000원 |