NEMS White Wet station - Acid 장비일지

기자재관리번호 : B0000055-062002-A0024
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2012-11-21 11시 12시 직접사용 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 16,000원
2 2012-11-21 12시 15시 photolithography 포항공과대학교 기계공학과 석세영 0원
3 2012-11-21 17시 19시 pattern 포항공과대학교 IT융합공학과 김진영 0원
4 2012-11-23 13시 15시 pattern 포항공과대학교 화공과 김민 32,000원
5 2012-12-02 19시 21시 pattern 포항공과대학교 기계공학과 김형모 0원
6 2012-12-14 19시 20시 직접사용 포항공과대학교 WCU 김진만 16,000원
7 2012-12-20 15시 16시 직접사용 포항공과대학교 WCU 김진만 16,000원
8 2012-12-27 11시 12시 직접사용 포항공과대학교 WCU 김진만 16,000원
9 2013-01-02 15시 16시 직접사용 포항공과대학교 전자전기공학과 김강민 16,000원
10 2013-01-02 20시 11시 1-3-3 Dicing PR Strip 한국표준과학연구원 진종한 450,000원
11 2013-01-11 10시 12시 직접사용 포항공과대학교 기계공학과 김영권 0원
12 2013-01-14 16시 18시 Cr Etch : Hard Mask
(2회 : HM Etch & HM Remove)
포항공과대학교 기계공학과 서영상 48,000원
13 2013-01-16 12시 14시 직접사용 포항공과대학교 전자과 백상원 32,000원
14 2013-01-17 12시 18시 직접사용 포항공과대학교 기계공학과 김영권 0원
15 2013-01-18 10시 12시 wet station 포항공과대학교 기계공학과 김영권 0원
16 2013-01-21 19시 22시 직접사용 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 48,000원
17 2013-01-24 13시 19시 직접사용 포항공과대학교 기계공학과 김영권 0원
18 2013-01-25 10시 12시 직접사용 포항공과대학교 기계공학과 김영권 0원
19 2013-01-28 10시 14시 직접사용 포항공과대학교 기계공학과 김영권 0원
20 2013-01-29 09시 12시 직접사용 포항공과대학교 기계공학과 김영권 0원
21 2013-03-04 15시 16시 5-3-2 M1OP Polymer Remove LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
22 2013-03-05 15시 17시 4-3-2 MET1 Polymer Remove LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 210,000원
23 2013-03-06 15시 16시 6-3-1 MET1 Polymer Remove LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 60,000원
24 2013-03-14 14시 17시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 48,000원
25 2013-03-26 14시 15시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 0원
26 2013-03-27 11시 12시 4-3-3 Gate Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 90,000원
27 2013-03-28 13시 15시 4-3-3 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
28 2013-04-01 15시 16시 5-3-3 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 280,000원
29 2013-04-03 14시 15시 1-1-6 Akey PH_develop (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
30 2013-04-04 13시 14시 2-1-6 CNT PH_develop (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
31 2013-04-05 12시 13시 3-2-2 Electrode Lift-off (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
32 2013-04-05 9시 10시 3-1-6 Electrode PH_develop (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
33 2013-04-08 10시 11시 4-1-4 Passivation PH_develop (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
34 2013-04-08 11시 12시 1-1-4 Photo_Develop 한국표준과학연구원 진종한 120,000원
35 2013-04-10 15시 16시 1-1-6 Akey PH_develop (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
36 2013-04-15 12시 13시 3-1-6 Electrode PH_develop (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
37 2013-04-22 15시 17시 Cr Wet Etch_Etch open 포항공과대학교 기계공학과 류정은 48,000원
38 2013-04-24 14시 15시 4-3-3 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
39 2013-04-30 22시 24시 시편제작 부경대학교 기계설계공학과 유동인 0원
40 2013-05-09 10시 11시 6-3-3 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
41 2013-05-09 20시 24시 시편 공정 부경대학교 기계설계공학과 유동인 0원
42 2013-05-13 14시 15시 7-3-3 M2OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
43 2013-05-15 9시 11시 8-2-1 MET2 Metal Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
44 2013-05-17 16시 18시 시편 제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
45 2013-05-19 17시 18시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
46 2013-05-20 15시 16시 6-3-2 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
47 2013-05-21 14시 15시 시편 제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
48 2013-05-22 15시 16시 7-3-3 M2OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
49 2013-05-22 20시 22시 시편제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
50 2013-05-23 11시 12시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
51 2013-06-06 11시 12시 시편제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
52 2013-06-13 16시 17시 6-3-3 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 60,000원
53 2013-06-13 16시 17시 5-3-3 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
54 2013-06-14 10시 12시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
55 2013-06-17 16시 17시 7-3-3 M2OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 60,000원
56 2013-06-17 16시 17시 4-3-3 GATE Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 210,000원
57 2013-06-18 12시 13시 디벨롭 (JNT / 이호준) 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
58 2013-06-19 13시 14시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
59 2013-06-19 15시 16시 8-2 MET2 Metal KEY Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 60,000원
60 2013-06-20 9시 10시 8-2-1 MET2 Metal Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 60,000원
61 2013-06-21 11시 13시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
62 2013-06-24 11시 12시 6-3-2 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
63 2013-06-25 16시 16시 7-3-3 M2OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
64 2013-06-25 9시 11시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
65 2013-06-26 14시 15시 8-2 MET2 KEY Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
66 2013-06-27 9시 10시 8-2-1 MET2 Metal Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
67 2013-07-01 15시 17시 시편제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
68 2013-07-01 22시 24시 시편제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
69 2013-07-01 9시 11시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
70 2013-07-03 11시 12시 시편제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
71 2013-07-03 12시 13시 시편제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
72 2013-07-03 18시 20시 시편 공정 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
73 2013-07-06 9시 11시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
74 2013-07-10 16시 17시 5-3-3 M1OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
75 2013-07-10 9시 11시 시편제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
76 2013-07-12 11시 12시 6-3-3 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
77 2013-07-12 12시 13시 4-3-3 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 210,000원
78 2013-07-12 18시 20시 시편 제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
79 2013-07-15 8시 10시 시편제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
80 2013-07-16 11시 13시 시편 준비 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
81 2013-07-17 9시 11시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 황경원 0원
82 2013-07-18 16시 17시 PR 포항공과대학교 WCU 김진만 0원
83 2013-07-18 9시 10시 7-3-3 M2OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
84 2013-07-19 10시 12시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
85 2013-07-19 14시 15시 8-2 MET2 Al KEY Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
86 2013-07-19 9시 10시 5-3-3 RCSS Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 210,000원
87 2013-07-23 14시 15시 8-2-1 MET2 Metal Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
88 2013-08-02 15시 17시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
89 2013-08-02 15시 17시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 30,000원
90 2013-08-07 15시 17시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
91 2013-08-08 10시 12시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 30,000원
92 2013-08-09 14시 17시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
93 2013-08-09 18시 19시 시편제작 부경대학교 기계설계공학과 유동인 0원
94 2013-08-13 11시 12시 7-3-3 M2OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 210,000원
95 2013-08-13 13시 15시 연구개발 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
96 2013-08-13 17시 19시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
97 2013-08-14 15시 16시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
98 2013-08-19 10시 12시 8-2-1 MET2 Metal KEY Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 210,000원
99 2013-08-19 14시 16시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 30,000원
100 2013-08-20 10시 12시 8-2-1 MET2 Metal Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 210,000원
101 2013-08-21 11시 12시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
102 2013-08-23 10시 12시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
103 2013-08-26 14시 15시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 30,000원
104 2013-08-27 10시 11시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
105 2013-08-27 17시 18시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
106 2013-08-27 19시 21시 시편 공정 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
107 2013-08-29 10시 12시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 30,000원
108 2013-08-29 12시 13시 Teflon coating 포항공과대학교 첨단원자력공학부 김동현 0원
109 2013-08-29 15시 16시 4-3-3 GATE Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
110 2013-09-02 19시 20시 패터닝 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
111 2013-09-02 22시 24시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
112 2013-09-03 10시 11시 5-3-3 M1OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
113 2013-09-03 20시 21시 패터닝 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
114 2013-09-04 11시 12시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
115 2013-09-04 12시 13시 ZrO2표면에 Teflon coating 포항공과대학교 첨단원자력공학부 김동현 0원
116 2013-09-04 22시 23시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
117 2013-09-05 15시 16시 Teflon coating 포항공과대학교 첨단원자력공학부 김동현 0원
118 2013-09-05 19시 20시 시편 제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
119 2013-09-06 23시 24시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
120 2013-09-09 13시 14시 6-3-2 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
121 2013-09-09 15시 17시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
122 2013-09-10 19시 22시 시편 공정 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
123 2013-09-11 10시 11시 7-3-3 M2OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
124 2013-09-11 16시 17시 시편 공정 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
125 2013-09-12 15시 16시 Teflon coating 포항공과대학교 첨단원자력공학부 김동현 0원
126 2013-09-12 16시 17시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
127 2013-09-12 9시 10시 패드 패터닝 (이호준) 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
128 2013-09-13 15시 16시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
129 2013-09-16 12시 13시 8-2-1 MET2 Metal Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 180,000원
130 2013-09-16 9시 11시 8-2-1 MET2 AKEY Metal Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
131 2013-09-23 22시 24시 시편 제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
132 2013-09-24 20시 23시 연구시편제작 포항공과대학교 기계공학과 이기철 0원
133 2013-09-25 11시 12시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
134 2013-09-25 19시 22시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
135 2013-09-26 13시 16시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
136 2013-10-01 22시 23시 시편 제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
137 2013-10-02 13시 16시 시편공정 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
138 2013-10-02 22시 23시 pattern 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
139 2013-10-07 10시 11시 Cleaning (IPA+DI) TE connectivity R&D 박봉현 120,000원
140 2013-10-10 13시 14시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 30,000원
141 2013-10-12 21시 23시 시편 제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
142 2013-10-14 11시 12시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
143 2013-10-18 16시 20시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
144 2013-10-21 10시 11시 Cleaning (IPA+DI) TE connectivity R&D 박봉현 90,000원
145 2013-11-04 18시 19시 PR 포항공과대학교 WCU 김진만 0원
146 2013-11-07 16시 17시 4-3-3 GATE Polymer Removal (wf01) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
147 2013-11-07 9시 10시 patterning (JNT / 이호준 / 010-2547-9641) 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
148 2013-11-12 10시 11시 5-3-3 M1OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
149 2013-11-12 13시 14시 Cr hard mask Etch 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 24,000원
150 2013-11-13 21시 24시 시편 제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
151 2013-11-13 24시 4시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
152 2013-11-14 12시 13시 6-3-2 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
153 2013-11-19 10시 11시 7-3-3 M2OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
154 2013-11-20 12시 14시 8-2 MET2 KEY Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
155 2013-11-20 9시 11시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
156 2013-11-21 10시 11시 8-2-1 MET2 Metal Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
157 2013-11-22 13시 14시 Oxide 제거 (나문경씨 작업) 한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 27,000원
158 2013-11-22 17시 21시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
159 2013-11-25 12시 13시 5-2-1 METR Al etchant (주)아이엠헬스케어 이인제 150,000원
160 2013-11-25 20시 22시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 32,000원
161 2013-12-02 10시 11시 4-3-3 GATE Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
162 2013-12-02 11시 15시 metal wet etching(acid) 한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 72,000원
163 2013-12-05 21시 22시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
164 2013-12-05 9시 10시 5-3-3 M1OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 150,000원
165 2013-12-06 13시 14시 SPM cleaning 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 0원
166 2013-12-06 8시 9시 S/D 패턴 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 0원
167 2013-12-09 13시 15시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 부설연구소 문종석 0원
168 2013-12-17 8시 9시 patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 0원
169 2013-12-18 18시 19시 cleaning 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 0원
170 2013-12-19 15시 16시 7-3-3 M2OP Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
171 2013-12-24 10시 11시 사용목적:Wafer Cleaning
내용: SPM - 20min (manual SPM Cleaning 진행)
황산+과수=4:1, 120도
,APM - 5min
,DI water Rinse & Dry - 10min
파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 30,000원
172 2013-12-26 13시 17시 pattern 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
173 2013-12-27 10시 14시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
174 2014-01-02 12시 14시 8-2-1 MET2 Metal Wet Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
175 2014-01-02 14시 16시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
176 2014-01-02 16시 17시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 16,000원
177 2014-01-02 9시 10시 8-2-1 MET2 KEY Al Etch LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
178 2014-01-03 12시 14시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
179 2014-01-06 13시 15시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
180 2014-01-07 10시 12시 pattern 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
181 2014-01-07 19시 22시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
182 2014-01-08 11시 14시 Ni metal wet etching 한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 54,000원
183 2014-01-08 14시 17시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
184 2014-01-08 20시 22시 pattern 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
185 2014-01-09 21시 23시 시편제작 포항공과대학교 기계공학과 이기철 0원
186 2014-01-10 19시 22시 PR 포항공과대학교 WCU 김진만 0원
187 2014-01-14 13시 15시 시편제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
188 2014-01-14 15시 17시 CNT alignment 를 위한 trench 제조 (첨부파일) 한국생산기술연구원 스마트정형공정그룹 하정홍 48,000원
189 2014-01-17 10시 13시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 이기철 0원
190 2014-01-17 18시 22시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
191 2014-01-20 10시 11시 5-2-2 METR Ti etch (주)아이엠헬스케어 이인제 120,000원
192 2014-01-20 9시 10시 패터닝 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 0원
193 2014-01-20 9시 10시 5-2-1 METR Al etchant (주)아이엠헬스케어 이인제 120,000원
194 2014-01-21 9시 10시 3-2-1 SILICI Ni Wet Etch 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 96,000원
195 2014-01-23 21시 22시 patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
196 2014-01-25 20시 22시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
197 2014-01-26 20시 22시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
198 2014-01-27 13시 14시 4-2-2 MET1 Wet Etch 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 48,000원
199 2014-01-28 13시 14시 2-2-1 SILICI Ni Wet Etch 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 48,000원
200 2014-01-28 9시 12시 Wafer Cleaning
SPM(20min), APM(5min), D.I Rinse(10min)

3회/매
파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 90,000원
201 2014-02-04 16시 17시 3-2-2 MET1 Metal Wet Etch 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 48,000원
202 2014-02-05 23시 24시 teflon coating 포항공과대학교 첨단원자력공학부 김동현 0원
203 2014-02-05 8시 9시 align mark patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 0원
204 2014-02-06 20시 23시 PR 노광 포항공과대학교 기계공학과 김호진 0원
205 2014-02-09 15시 18시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
206 2014-02-25 10시 12시 시편 표면 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
207 2014-02-25 19시 21시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
208 2014-02-28 9시 10시 S/D pattern 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 0원
209 2014-03-06 14시 17시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
210 2014-03-13 20시 22시 GXR 601 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
211 2014-03-14 15시 16시 GXR 601 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
212 2014-03-24 11시 12시 Cleaning 1매
파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 30,000원
213 2014-03-27 19시 21시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
214 2014-03-28 09시 12시 Cleaning 3매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 90,000원
215 2014-04-01 20시 21시 gate pattern 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 0원
216 2014-04-09 16시 18시 PR develop 포항공과대학교 I-bio 김보람 32,000원
217 2014-04-17 14시 15시 GXR 601 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
218 2014-04-18 10시 11시 Cleaning 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 30,000원
219 2014-04-22 10시 11시 Cleaning 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 30,000원
220 2014-04-26 19시 21시 시편제작 부경대학교 기계설계공학과 유동인 0원
221 2014-04-28 21시 23시 공정 포항공과대학교 기계공학과 김건휘 0원
222 2014-05-19 14시 16시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
223 2014-05-22 13시 14시 2-1-6 Microscope Inspection - Optical Microscope Inspection - 3point/wafer 디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 240,000원
224 2014-05-23 9시 11시 2-2-2 Lift-off - Acetone + Ultrasonic 10min - Remover 70도, 10분 디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 240,000원
225 2014-05-26 11시 13시 2-2-5 Dicing - Dicing Saw 6inch_8ea 디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 240,000원
226 2014-05-26 15시 17시 2-2-6 Microscope Inspection - Dicing Sample Optical Microscope Inspection 디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 330,000원
227 2014-05-28 10시 11시 나이트라이드 식각 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
228 2014-06-11 13시 15시 Cleaning 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 60,000원
229 2014-06-13 14시 15시 포토리소그래피 장비 교육 포항공과대학교 화학공학과 한아름 24,000원
230 2014-06-16 13시 14시 7-2-1 SILICI Ni Wet Etch 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
231 2014-06-16 14시 15시 Wafer passivation PR 제거 포항공과대학교 기계공학과 성민 21,000원
232 2014-06-24 18시 21시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
233 2014-07-16 15시 16시 nLOF 2035 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
234 2014-07-21 19시 20시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
235 2014-07-23 10시 12시 nLOF 2035 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
236 2014-07-28 21시 23시 Litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
237 2014-07-31 1시 24시 전자과 이정수 랩 NEMS Base system 7월 사용 건 전북대학교 전자공학부 김기현 400,000원
238 2014-08-13 17시 18시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
239 2014-08-19 17시 18시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
240 2014-08-21 14시 15시 7-2-1 SILICI Ni wet Etch 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
241 2014-08-25 13시 14시 1-1-4 Lift-Off용 Photo Develop
============================
AZ300MIF, Dipping, 2min
(주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 600,000원
242 2014-08-29 1시 24시 전자과 이정수 랩 8월 NEMS Base System 사용건 전북대학교 전자공학부 김기현 400,000원
243 2014-09-03 16시 17시 1. pr remove(acetone)
2. cleaning(acetone+ipa)
포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 42,000원
244 2014-09-10 11시 12시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
245 2014-09-16 11시 12시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
246 2014-09-16 16시 18시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
247 2014-09-17 10시 12시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
248 2014-09-17 16시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
249 2014-09-17 21시 23시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
250 2014-09-18 16시 18시 aceton 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
251 2014-09-25 16시 18시 시편 제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
252 2014-09-29 17시 18시 7-2-1 SILICI Ni Wet Etch
조각 선행 1ea
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 63,000원
253 2014-09-30 16시 18시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
254 2014-09-30 7시 17시 전자과 9월 정액 사용건 전북대학교 전자공학부 김기현 400,000원
255 2014-10-02 13시 15시 Cleaning 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 90,000원
256 2014-10-16 13시 14시 Photo Process_Develop
======================
AZ300MIF, 상온, 3분
SSADT 경영지원 지이권 150,000원
257 2014-10-21 22시 24시 . 포항공과대학교 기계공학과 이기철 0원
258 2014-10-22 21시 22시 PDMS용 wafer제작 포항공과대학교 시스템생명공학부 신기영 16,000원
259 2014-10-23 14시 15시 nLOF 2035 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
260 2014-10-30 1시 12시 이정수 연구실 NEMS Base System 10월 정액 사용건 전북대학교 전자공학부 김기현 400,000원
261 2014-11-18 18시 20시 시편제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
262 2014-11-24 13시 15시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
263 2014-12-03 11시 13시 전기적 특성 검토를 위한 Sample 제작 (주)피코셈 관리 김용국 600,000원
264 2014-12-05 10시 13시 Litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
265 2014-12-09 15시 17시 Back Side Cr Etching 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 0원
266 2014-12-10 10시 13시 Back Side Oxide Etch : 1.6um 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 0원
267 2014-12-11 9시 11시 라멜라 그레이팅 제작을 위한 Lift-off 공정 (과제번호:4.011309.01) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 310,000원
268 2014-12-12 11시 12시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
269 2014-12-15 14시 18시 Grating : SOI wafer BOX 제거 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 0원
270 2014-12-16 10시 12시 Grating BOX 제거 후 PR Remove 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 0원
271 2014-12-18 14시 15시 2-5-1 Au Lift-off_Acetone 130,000원
272 2014-12-29 20시 22시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
273 2014-12-30 9시 11시 Litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
274 2015-01-02 14시 15시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 16,000원
275 2015-01-02 15시 17시 PDMS chip 용 wafer 제작 포항공과대학교 시스템생명공학부 신기영 32,000원
276 2015-01-27 10시 12시 Su-8 lithography 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
277 2015-01-29 10시 16시 mask 포항공과대학교 기계공학과 김애리 0원
278 2015-02-02 14시 15시 pattetn fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 16,000원
279 2015-02-05 10시 11시 aceton pr remove 포항공과대학교 전자전기공학과 이기환 24,000원
280 2015-02-09 18시 19시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 16,000원
281 2015-02-26 14시 15시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
282 2015-03-05 12시 13시 1-2-3 AKEY PR Remove 포항공과대학교 전자전기공학과 이기환 24,000원
283 2015-03-07 13시 15시 SU-8 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
284 2015-03-11 14시 15시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
285 2015-03-16 23시 24시 시편제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
286 2015-03-19 15시 19시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
287 2015-03-20 14시 15시 silicon wafer 제작 포항공과대학교 시스템생명공학부 신기영 16,000원
288 2015-03-23 15시 16시 GXR 601 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
289 2015-03-25 21시 24시 PR 몰드 제작 포항공과대학교 기계공학과 김호진 0원
290 2015-03-30 16시 17시 Si Deep Etch 후 PR Remove 부산대학교 인지메카트로닉스공학과 조상욱 54,000원
291 2015-04-01 15시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
292 2015-04-01 9시 11시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
293 2015-04-02 14시 15시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 16,000원
294 2015-04-07 19시 20시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
295 2015-04-10 11시 12시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
296 2015-04-14 16시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
297 2015-04-20 14시 16시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
298 2015-05-08 14시 15시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
299 2015-05-14 11시 13시 cleaning 한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 36,000원
300 2015-06-03 14시 15시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
301 2015-06-05 15시 17시 . 포항공과대학교 기계공학과 이기철 0원
302 2015-06-16 20시 23시 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
303 2015-06-18 16시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
304 2015-06-22 13시 14시 Develop_TMAH 2.38%, 2min (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 240,000원
305 2015-06-22 20시 23시 나이트라이드 식각 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
306 2015-06-23 17시 18시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
307 2015-06-23 9시 11시 Metal Lift-off : Ultrasonic + Acetone dipping (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 270,000원
308 2015-06-24 10시 11시 Cr Etch 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 21,000원
309 2015-06-25 13시 14시 ROIC2 Feasibility Test_Lift off
================================
Ultrasonic + Acetone + Cleaning
(주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 180,000원
310 2015-06-30 9시 18시 전자과 이정수랩 NEMS Base system 6월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
311 2015-07-03 10시 11시 2-2-1 Back Side Cr Etch 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 21,000원
312 2015-07-06 16시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
313 2015-07-14 10시 12시 MEMS Cap Process_Wetting(Lift-Off) (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 400,000원
314 2015-07-15 13시 14시 UE_ROIC2_Feasibility Test_Lift-off
===============================
Acetone+Ultrasonic+DI cleaning
(주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 180,000원
315 2015-07-20 13시 14시 MEMS Sensor_단위공정 Test
============================
Lift-Off
(주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 300,000원
316 2015-07-28 13시 14시 Lift-Off Test (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 60,000원
317 2015-08-18 14시 15시 3-2-1 Hardmask Cr Wet Etch 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 63,000원
318 2015-08-28 1시 14시 전자과 8월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
319 2015-09-03 13시 14시 UE Cap 공정 _8 매 현상 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 240,000원
320 2015-09-03 18시 19시 UE Cap Test_Lift off (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 240,000원
321 2015-09-04 12시 13시 UE Cap Test_BSA photo 5매 현상 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 150,000원
322 2015-09-04 15시 19시 UE Cap Test_ BSA Test Lift off 3매 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 90,000원
323 2015-09-14 20시 21시 nLOF 2035 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
324 2015-10-01 1시 18시 전자과 이정수 랩 9월 NEMS Base system 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 이준영 400,000원
325 2015-10-08 14시 17시 su8 litho 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 0원
326 2015-10-09 21시 1시 . 포항공과대학교 기계공학과 강준수 0원
327 2015-10-14 14시 15시 3-3-3 RCSS Polymer Strip 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
328 2015-10-26 13시 14시 3-2-1 Cr Wet Etch 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 42,000원
329 2015-10-28 22시 23시 GXR601 develop 포항공과대학교 전자과 백상원 0원
330 2015-10-29 1시 17시 전자과 이정수 랩 10월 NEMS Base system 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 이준영 400,000원
331 2015-10-29 15시 17시 photolitho 포항공과대학교 기계공학과 김애리 0원
332 2015-11-05 1시 18시 전자과 NEMS Base system 11월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
333 2015-11-05 21시 22시 vertical patterning 포항공과대학교 전자과 백상원 0원
334 2015-11-19 16시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
335 2015-12-02 1시 17시 전자과 NEMS base system 12월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
336 2015-12-08 17시 18시 cleaning 한국전기연구원 전력반도체연구센터 나문경 180,000원
337 2015-12-16 17시 18시 develop 한국전기연구원 전력반도체연구센터 나문경 18,000원
338 2016-01-15 16시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
339 2016-01-16 14시 16시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 32,000원
340 2016-01-21 14시 16시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 32,000원
341 2016-01-24 14시 16시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 28,000원
342 2016-02-04 16시 18시 Photolithography 포항공과대학교 기계공학과 정화평 0원
343 2016-02-05 16시 18시 photolithography 포항공과대학교 기계공학과 정화평 0원
344 2016-02-15 10시 11시 1-2-4 Hard Mask photo_develop 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 42,000원
345 2016-02-15 16시 17시 2-1-4 2nd Develop 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 42,000원
346 2016-02-16 16시 17시 2-4-1 Al 5000A Wet Etch 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 42,000원
347 2016-02-17 15시 16시 HF를 이용한 wet etching 포항공과대학교 기계공학과 서동환 21,000원
348 2016-02-22 12시 14시 pattern fabricatoin 포스텍 기계공학과 박형준 32,000원
349 2016-02-26 16시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
350 2016-03-09 10시 12시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 32,000원
351 2016-03-24 19시 20시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
352 2016-04-01 14시 15시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
353 2016-04-11 11시 12시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
354 2016-04-15 14시 17시 lithography 포항공과대학교 기계공학과 정화평 0원
355 2016-04-20 14시 15시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
356 2016-04-29 1시 16시 전자과 이정수 랩 NEMS base system 4월 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
357 2016-05-02 1시 12시 이정수 교수랩 NEMS base system 5월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
358 2016-05-04 20시 21시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
359 2016-05-09 10시 11시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
360 2016-05-09 16시 17시 현상 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
361 2016-05-11 10시 11시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
362 2016-05-11 13시 14시 pzt/pt/ti 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
363 2016-05-17 16시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
364 2016-05-18 17시 18시 Pt PZT SiO2 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
365 2016-05-19 16시 17시 PZT/Pt/SiO2 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
366 2016-05-19 9시 10시 pr제거 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
367 2016-05-20 10시 11시 pzt pt ti sio2 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
368 2016-05-20 17시 18시 pzt pt ti 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
369 2016-05-23 13시 14시 pt pzt ti 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
370 2016-05-23 19시 20시 pt pzt ti 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
371 2016-06-09 16시 17시 patterning 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 0원
372 2016-06-22 19시 20시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
373 2016-06-24 17시 18시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
374 2016-06-29 13시 14시 단위 공정 Lift-off 공정 진행 (주) 이너센서 연구개발전담부 우종창 60,000원
375 2016-07-07 13시 16시 Photolithography 포항공과대학교 기계공학과 정화평 48,000원
376 2016-07-07 20시 21시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
377 2016-07-08 20시 21시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
378 2016-07-15 11시 12시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
379 2016-07-22 13시 14시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
380 2016-07-29 1시 18시 이정수 랩 7월 NEMS base system 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
381 2016-08-03 11시 12시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
382 2016-08-08 12시 13시 1-6-4 Align Key Develop 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 21,000원
383 2016-08-09 16시 17시 2-2-4 Back Side 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 21,000원
384 2016-08-10 10시 11시 1-6-4 Align Key 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 21,000원
385 2016-08-11 16시 17시 1-2-4 Dicing Develop 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 21,000원
386 2016-08-11 16시 17시 2-2-4 Back Side 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 21,000원
387 2016-08-12 16시 17시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
388 2016-08-16 14시 15시 2nd photo , Develop 엠투테크(주) 운영 엠투테크(주) 60,000원
389 2016-08-23 17시 19시 pattern fabracation 포항공과대학교 기계공학 김성은 32,000원
390 2016-08-29 17시 18시 NLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
391 2016-09-02 11시 12시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
392 2016-09-05 11시 12시 Lithography 포항공과대학교 전자전기공학과 김강민 24,000원
393 2016-09-23 10시 11시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
394 2016-10-14 1시 13시 전자과 이정수랩 10월 NEMS Base system 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
395 2016-10-17 14시 15시 1-1-3 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 300,000원
396 2016-10-19 10시 11시 nLOF
(장비사용교육 부탁드립니다)
포항공과대학교 전자전기공학과 이명국 24,000원
397 2016-11-03 13시 14시 1-3-1 AKEY PR remove 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
398 2016-12-01 8시 9시 Develop 울산과학기술원(UNIST) 기계공학과 이준범 120,000원
399 2016-12-15 10시 13시 - Lift off 공정도 함께 요청드립니다. 경북대학교 정밀기계공학과 김동억 180,000원
400 2016-12-23 1시 17시 이정수랩 NEMS Base system 12월 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
401 2017-01-02 11시 12시 Development 부산대학교 인지메카트로닉스공학과 전민경 27,000원
402 2017-01-02 15시 16시 아세톤 remove 부산대학교 인지메카트로닉스공학과 전민경 27,000원
403 2017-01-13 14시 16시 없음 포항공과대학교 전자전기공학과 임진하 32,000원
404 2017-02-06 12시 13시 Remove 부산대학교 광메카트로닉스공학과 강지숙 27,000원
405 2017-02-08 1시 17시 전자과 이정수랩 NEMS Base system 2월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
406 2017-02-17 11시 12시 1-1-4 Develop (주)니나노 기업부설연구소 박준영 0원
407 2017-02-23 15시 18시 Soft lithography 포항공과대학교 기계공학과 정화평 48,000원
408 2017-02-24 14시 15시 10매 (주)엔디디 기술연구 최은아 300,000원
409 2017-02-27 10시 12시 Lift-off (주)엔디디 기술연구 최은아 330,000원
410 2017-03-20 10시 11시 2매 (주)니나노 기업부설연구소 박준영 0원
411 2017-04-01 13시 14시 Deep Trench CD 50um KEC 반도체기술 연구소 송인혁 210,000원
412 2017-04-04 9시 13시 Slide Glass(235ea)_Photo_Develop 포항공과대학교 화학과 박수현 5,600,000원
413 2017-04-07 14시 16시 사용 신청합니다. 포항공과대학교 기계공학과 김성은 34,000원
414 2017-04-27 11시 12시 silicon etching (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 60,000원
415 2017-05-31 1시 11시 이정수랩 5월 NEMS Base system 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 이준영 400,000원
416 2017-06-08 17시 18시 Al 500 nm/ Al 100nm 포항공과대학교 전자전기공학과 박혁 102,000원
417 2017-06-30 14시 15시 300MIF (주)엔디디 기술연구 최은아 990,000원
418 2017-06-30 20시 21시 Sonic/Aceton (주)엔디디 기술연구 최은아 960,000원
419 2017-06-30 21시 23시 . 포항공과대학교 기계공학과 양성진 34,000원
420 2017-06-30 9시 18시 이정수랩 6월 NEMS Base System 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 이준영 400,000원
421 2017-07-12 17시 18시 Lift off LG전자 센서솔루션연구소 이성단 51,000원
422 2017-07-13 19시 21시 . 포항공과대학교 기계공학과 양성진 34,000원
423 2017-07-20 1시 13시 전자과 이정수랩 NEMS Base System 7월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 이준영 400,000원
424 2017-07-24 13시 14시 웨이퍼 산화막 제거 경북대학교 정밀기계공학과 김동억 20,000원
425 2017-07-25 19시 20시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
426 2017-07-27 12시 13시 Develop (주)니나노 기업부설연구소 박준영 450,000원
427 2017-08-04 9시 10시 Lift off 2매 LG전자 센서솔루션연구소 이성단 51,000원
428 2017-08-11 10시 11시 PR Coating (주)에스에스에이디티 연구기획팀 오은하 1,200,000원
429 2017-08-11 13시 14시 Develop (주)에스에스에이디티 연구기획팀 오은하 1,200,000원
430 2017-08-11 15시 16시 M Inspection (주)에스에스에이디티 연구기획팀 오은하 1,200,000원
431 2017-08-12 14시 15시 M inspection (주)에스에스에이디티 연구기획팀 오은하 1,140,000원
432 2017-08-16 10시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 1,500,000원
433 2017-08-25 15시 16시 없음 포항공과대학교 첨단원자력공학부 한태양 17,000원
434 2017-08-29 14시 15시 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 900,000원
435 2017-08-29 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
436 2017-08-31 10시 11시 2 Layer LG전자 센서솔루션연구소 이성단 30,000원
437 2017-09-06 9시 10시 Lift off LG전자 센서솔루션연구소 이성단 76,500원
438 2017-09-13 14시 15시 lithography 포항공과대학교 기계공학과 정화평 17,000원
439 2017-09-15 20시 21시 lithography 포항공과대학교 기계공학과 이조한 17,000원
440 2017-09-16 12시 13시 리소그래피 포항공과대학교 기계공학과 이조한 17,000원
441 2017-10-18 13시 14시 아세톤 pr remove LG 이노텍 소자개발팀 정지철 90,000원
442 2017-10-25 14시 15시 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 300,000원
443 2017-10-25 20시 21시 Lift off (주)엔디디 기술연구 최은아 300,000원
444 2017-10-30 14시 15시 . 템퍼스 개발팀 조재익 120,000원
445 2017-11-23 14시 15시 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 1,200,000원
446 2017-11-23 20시 21시 Lift off (주)엔디디 기술연구 최은아 1,230,000원
447 2017-12-04 13시 14시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
448 2017-12-26 23시 24시 신청합니다. 포항공과대학교 기계공학과 김성은 17,000원
449 2018-01-03 10시 11시 오늘 문의드린 공정 의뢰입니다.

상세 요청 사항은, spin-coater 장비사용신청 요청사항 확인부탁드립니다.
포항공과대학교 기계공학과 김민정 25,500원
450 2018-01-03 14시 15시 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 330,000원
451 2018-01-03 20시 21시 Lift off (주)엔디디 기술연구 최은아 330,000원
452 2018-01-04 11시 12시 DNR-L300 쓸 예정입니다. 오늘 서비스 해주셨던 공정이랑 동일하게 진행할 예정입니다. 포항공과대학교 기계공학과 김민정 17,000원
453 2018-01-05 13시 14시 2018년 1월 3일과 4일 오전에 DRIE 되어있는 시편을 가지고 패터닝을 하려고했는데 고루 증착되지 않아서 다음 진도를 못 나가고 있습니다. 다른 negative PR을 사용하거나 spin coater의 레시피를 바꿔서 PR이 골고루 증착되도록 시도해보는 작업을 할 것입니다. 포항공과대학교 기계공학과 김민정 17,000원
454 2018-01-12 10시 13시 BOE 산화막 식각 경북대학교 정밀기계공학과 김동억 60,000원
455 2018-01-17 8시 18시 Develop KEC 반도체기술 연구소 송인혁 240,000원
456 2018-01-24 17시 18시 리소그래피 포항공과대학교 기계공학과 이조한 17,000원
457 2018-01-29 13시 14시 외부 negative PR(KMPR 1025)로 패터닝한 후 E-beam evaporator에 서비스를 맡겨 Ti와 Pt를 각각 300옹스트롬, 1000옹스트롬 올렸습니다. Lift-off 작업을 위해 wet station에서 아세톤을 사용하고자 합니다. 포항공과대학교 기계공학과 김민정 17,000원
458 2018-02-02 14시 15시 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 900,000원
459 2018-02-02 20시 21시 Lift off (주)엔디디 기술연구 최은아 900,000원
460 2018-02-02 9시 10시 Lift off LG전자 센서솔루션연구소 이성단 51,000원
461 2018-02-23 11시 12시 크롬 에칭 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 61,000원
462 2018-02-23 14시 15시 현상 (주)엔디디 기술연구 최은아 840,000원
463 2018-02-23 20시 21시 Sonic+acetone (주)엔디디 기술연구 최은아 840,000원
464 2018-03-12 15시 16시 Cr etching 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 17,000원
465 2018-03-26 14시 15시 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 960,000원
466 2018-03-26 20시 21시 Lift off (주)엔디디 기술연구 최은아 960,000원
467 2018-03-29 9시 18시 이정수랩 3월 NEMS Base system정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 이준영 400,000원
468 2018-03-30 12시 13시 직접 장비 사용. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 17,000원
469 2018-04-10 13시 14시 현상 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 210,000원
470 2018-04-12 15시 16시 현상 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 210,000원
471 2018-04-25 17시 18시 Wetstation powertechnix powertechnix 파워테크닉스 20,000원
472 2018-06-04 15시 16시 1st photo , Develop (주)라디안큐바이오 바이오 R&D 센터 라디안큐바이오 120,000원
473 2018-06-05 13시 14시 2nd photo, Develop, 1차 2매 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D 센터 라디안큐바이오 40,000원
474 2018-06-12 13시 15시 Silicide test 2매
Al etch w/s 사용
powertechnix powertechnix 파워테크닉스 40,000원
475 2018-06-20 20시 21시 시편 Cleaning (self) 포항공과대학교 기계공학과 이기철 17,000원
476 2018-06-25 16시 17시 샘플 Al etchant Chemical test powertechnix powertechnix 파워테크닉스 20,000원
477 2018-06-27 9시 10시 1st 2nd Layer Develop (주)라디안큐바이오 바이오 R&D 센터 라디안큐바이오 448,000원
478 2018-07-12 16시 17시 전시용
AL ETCHANT
powertechnix powertechnix 파워테크닉스 20,000원
479 2018-07-31 1시 11시 이정수랩 NEMS Base System 7월 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 400,000원
480 2018-08-03 11시 15시 2-3-4 Develop 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 330,000원
481 2018-08-08 11시 14시 3-1-4 Develop 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 330,000원
482 2018-08-13 14시 15시 (8/10 기존 예약) 장비점검으로 시간 변경합니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 17,000원
483 2018-08-16 12시 13시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 17,000원
484 2018-08-22 14시 15시 직접사용 포항공과대학교 신소재공학과 김동신 17,000원
485 2018-09-01 17시 18시 Back side Develop LG전자 센서솔루션연구소 이성단 68,000원
486 2018-09-04 16시 17시 아세톤 Lift off LG전자 센서솔루션연구소 이성단 68,000원
487 2018-09-11 13시 14시 Develop 나노콘 나노콘 연구소 나노콘 40,000원
488 2018-09-18 18시 19시 . 포항공과대학교 전자과 서태원 0원
489 2018-09-28 8시 14시 이정수랩 NEMS Base system9월 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
490 2018-10-01 9시 10시 1.5 um 두께로 패턴을 올린 상태입니다.
metal(Ti30 nm, Pt 100 nm)를 올리기 위한 PR 패터닝을 진행하려고 합니다.
negative PR과 HMDS, Developer를 사용할 예정입니다.
포항공과대학교 기계공학과 김민정 27,000원
491 2018-10-02 16시 17시 Ti 30nm Pt 100 nm 올린 웨이퍼입니다.
Lift off 진행합니다
포항공과대학교 기계공학과 김민정 17,000원
492 2018-10-08 16시 18시 develop 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 0원
493 2018-10-12 10시 17시 Develop
4Layer
Layer 마다 10매
(주)엔디디 기술연구 최은아 1,600,000원
494 2018-10-16 10시 15시 Lift off
2Layer 10매씩
(주)엔디디 기술연구 최은아 800,000원
495 2018-10-26 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
496 2018-10-31 9시 18시 이정수랩 NEMS Base system 10월 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 윤길상 400,000원
497 2018-11-06 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
498 2018-11-06 9시 14시 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 1,520,000원
499 2018-11-08 14시 18시 Lift off (주)엔디디 기술연구 최은아 800,000원
500 2018-12-14 14시 15시 Nitride 2um 올려진, 포토 develop용 포항공과대학교 기계공학과 김준수 170,000원
501 2018-12-27 21시 22시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
502 2018-12-28 15시 16시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
503 2019-01-02 15시 16시 Gas Sensor 표면 가공 샘플 제작[4.0016655.01] : Develop 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 200,000원
504 2019-01-03 16시 17시 Negative PR 사용 부탁드립니다.
높이 : 40um
포항공과대학교 기계공학과 이건도 34,000원
505 2019-01-03 21시 22시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
506 2019-01-04 22시 23시 Cr Etching 공정 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
507 2019-01-07 14시 15시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
508 2019-01-14 15시 16시 Negative PR 사용 부탁드립니다.
높이 : 60um
포항공과대학교 기계공학과 이건도 44,000원
509 2019-01-21 15시 16시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 박혁 15,000원
510 2019-02-27 16시 17시 2매 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 80,000원
511 2019-03-02 9시 11시 1-1-3 Developer 탑런 연구소 신사업팀 주별진 0원
512 2019-03-07 12시 13시 Deloping (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 136,000원
513 2019-03-12 14시 17시 10% 할인적용 (주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 360,000원
514 2019-03-25 21시 22시 4" Si wafer에 Thermal oxidation 1 um 올리고 Pt/Ti=220nm/30nm가 고온 스퍼터링으로 증착되어있습니다.
Dry etching을 위해 GXR601 (positive PR)을 이용하여 PR 패터닝을 하려고 합니다.
포항공과대학교 기계공학과 김민정 27,000원
515 2019-04-03 21시 22시 4" Si wafer -> thermal oxidation 1 um, LPCVD oxidation 2 um -> Pt/Ti=220 nm/30 nm 후 드라이에칭 했습니다.
PR 제거 및 클리닝으로 아세톤, IPA 사용합니다.
포항공과대학교 기계공학과 김민정 27,000원
516 2019-04-10 20시 21시 이용 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 27,000원
517 2019-04-11 20시 21시 전날 진행했던 LOR PR 아세톤으로 제거할 예정 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 27,000원
518 2019-04-15 7시 8시 Pt/Ti=100nm/30nm layer lift-off 포항공과대학교 기계공학과 김민정 27,000원
519 2019-04-17 8시 9시 Pt/Ti 전극이 올라간 4" wafer입니다
Lift-off를 위한 PR작업을 하려고 합니다.
2장은 LOR28, 2장은 DNR L 300 사용 예정입니다.
포항공과대학교 기계공학과 김민정 27,000원
520 2019-04-22 19시 20시 포토 작업 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 27,000원
521 2019-04-23 20시 21시 PR 리프트오프 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 27,000원
522 2019-04-26 10시 11시 Pt Ti lift-off 포항공과대학교 기계공학과 김민정 27,000원
523 2019-04-26 15시 16시 wet스테이션 사용희망 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 27,000원
524 2019-05-02 16시 17시 az9260 develop진행 예정이며,
담당자(박동규 : 010-6345-7577) 가 직접 사용 예정입니다.
재료는 당사 재료 사용 예정입니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 90,000원
525 2019-05-03 13시 14시 2-1-3 L1 Develop (주)베프스 기획팀 BEFS 0원
526 2019-05-14 14시 15시 1-1-3 1st DRIE Develop (주)베프스 기획팀 BEFS 0원
527 2019-05-15 14시 15시 lift off 엘지디스플레이 LED 연구팀 박성경 40,000원
528 2019-05-28 10시 12시 Silicon oxide가 증착된 웨이퍼에 포토 작업 포항공과대학교 기계공학과 김준수 54,000원
529 2019-06-10 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
530 2019-06-11 15시 16시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
531 2019-06-12 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
532 2019-06-13 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
533 2019-06-14 21시 22시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
534 2019-06-18 15시 16시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 박혁 24,000원
535 2019-06-19 21시 22시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
536 2019-06-20 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
537 2019-06-28 19시 21시 LOR 28 PR을 사용한 PR작업(Lift-off용도)
포항공과대학교 기계공학과 김준수 54,000원
538 2019-07-02 10시 11시 4Layer 각 2매 총 8매

Develop
연세대학교 의료원 방사선종양학과 권나혜 320,000원
539 2019-07-03 21시 22시 UV exposure and develop 포항공과대학교 기계공학과 김준수 27,000원
540 2019-07-05 11시 12시 아세톤 Liftoff 연세대학교 의료원 방사선종양학과 권나혜 80,000원
541 2019-07-08 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
542 2019-07-09 14시 15시 높이 40um로 공정 부탁드립니다. 포항공과대학교 기계공학과 이건도 46,000원
543 2019-07-09 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
544 2019-07-11 16시 17시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
545 2019-07-12 22시 23시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
546 2019-07-15 16시 17시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
547 2019-07-17 16시 17시 아세톤 Lift off 포항공과대학교 화학과 신승구 144,000원
548 2019-07-17 17시 18시 아세톤 PR remove 포항공과대학교 화학과 신승구 144,000원
549 2019-07-17 17시 18시 Develop _4매씩 2 Layer 포항공과대학교 화학과 신승구 288,000원
550 2019-07-19 14시 15시 BOE 사용예정 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 27,000원
551 2019-07-26 16시 17시 MgAl2O4 substrate etching

불산 및 황산
포항공과대학교 기계공학과 박상준 72,000원
552 2019-08-05 16시 17시 Cleaning_Acetone (주)라디안큐바이오 연구소 임성빈 40,000원
553 2019-09-03 14시 15시 높이 60um 정도로 포토리소그래피 공정부탁드립니다. 포항공과대학교 기계공학과 이건도 36,000원
554 2019-09-05 16시 17시 자가공정진행예정입니다(박동규) (주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 90,000원
555 2019-11-04 10시 11시 6inch wafer PR 제거 공정 한국나노기술원 융합공정기술본부 임두리 40,000원
556 2019-11-05 9시 10시 SIC_gas senosr
3-1-2 Ta lift off
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 102,000원
557 2019-11-06 13시 14시 SIC_gas senosr
6-2-1 metal Lift off
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 102,000원
558 2019-11-07 13시 14시 SIC_gas senosr
7-2-2 metal lift off
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 102,000원
559 2019-11-08 14시 15시 SIC_gas senosr
8-2-2 Metal lift off
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 102,000원
560 2019-12-06 11시 12시 1. 12월 6일(금) MA6 aligner 신청 내용과 같습니다.

[나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업] 으로 청구 부탁드립니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
561 2019-12-09 14시 15시 1. Photo (12/6)- Metal dep.(12/9) 이 된 wafer의 Lift off 요청 드립니다.
2. 1ea-negative, 1ea, postive 입니다.
3. Al 400nm deposition이 되어있습니다.

[나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업] 으로 청구 부탁드립니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
562 2019-12-09 17시 20시 1. Positive resist로 Photo litho. 된 샘플을 10:1 BOE로 에칭 공정 직접 진행 예정.(박동규:010-6345-7577)
2. [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]으로 청구 부탁드립니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
563 2020-02-04 21시 22시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
564 2020-02-10 15시 17시 Quartz wafer 의 1.2um dry 식각을 위한 Positive patterning 진행 요청드립니다.
Quartz wafer는 2월 10일 담당자 (박동규 : 010-6345-7577)가 전달 예정입니다.

[나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]으로 금액 처리 진행 부탁드립니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
565 2020-02-11 16시 18시 Photo litho. 된 직경 20mm 샘플을 BOE etching직접 진행 예정입니다.
담당자 : 박동규 (010-6345-7577)

[나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]으로 청구 및 처리 부탁드립니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
566 2020-02-12 10시 17시 2월 10일에 Quartz wafer 의 1.2um dry 식각을 위한 Positive patterning 진행을 요청드렸으며,
2월 11일에 Quartz wafer의 dry etching을 진행 요청드렸습니다.

상기 공정이 끝난 후, PR제거 하지마시고 B.O.E 용액에 2min etching부탁드립니다.

ICP etcher 담당자분께 wafer를 전달 받으시면 됩니다.


[나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]으로 금액 처리 진행 부탁드립니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
567 2020-02-18 9시 11시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
568 2020-03-09 11시 12시 현상 리노공업 리노공업 곽영대 40,000원
569 2020-03-17 17시 18시 Si Etch 용 PR Develop (주)케이이씨 DIS개발팀 이시훈 320,000원
570 2020-04-08 11시 12시 PR Develop 리노공업 리노공업 곽영대 40,000원
571 2020-04-09 10시 18시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]
PR develop
(주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
572 2020-04-10 9시 16시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업]

PR develop
(주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
573 2020-04-22 11시 12시 PR Develop 리노공업 리노공업 곽영대 200,000원
574 2020-04-24 10시 11시 PR Su8 2150 포항공과대학교 초소형기계기술연구소 최준영 27,000원
575 2020-06-09 14시 15시 Deep RIE PR mask 제조 목적 : PR 현상 울산과학기술원 기계공학과 주장현 120,000원
576 2020-07-14 11시 12시 - 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 27,000원
577 2020-07-14 21시 22시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
578 2020-08-10 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
579 2020-09-02 15시 16시 2-3-3 PAD Photo PR Strip 포항공과대학교 화학과 신승구 36,000원
580 2020-09-16 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
581 2020-09-28 20시 21시 N/A 포항공과대학교 기계공학과 이석용 27,000원
582 2021-04-01 10시 11시 1-2-2 Oxide PR Strip 충남대학교 전자공학과 송형섭 30,000원
583 2021-04-01 9시 10시 0-2-2 W/S Organic 충남대학교 전자공학과 송형섭 30,000원
584 2021-04-15 9시 10시 Al wet etching (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 82,000원
585 2021-04-21 9시 10시 Al Wet etch (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 82,000원
586 2021-05-03 9시 10시 1.0 Align key layer Acetone cleaning LG 전자 소재/생산기술원 소재기술원 ML Task 조영제 200,000원
587 2021-05-11 11시 12시 2.0 Hardmask layer Metal Remove LG 전자 소재/생산기술원 소재기술원 ML Task 조영제 200,000원
588 2021-05-11 9시 10시 2.0 Hardmask layer Acetone+Sonic LG 전자 소재/생산기술원 소재기술원 ML Task 조영제 80,000원
589 2021-06-01 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
590 2021-06-01 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
591 2021-06-02 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
592 2021-06-02 17시 18시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
593 2021-06-03 10시 11시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
594 2021-06-03 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
595 2021-06-03 15시 16시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
596 2021-06-03 9시 10시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
597 2021-06-04 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
598 2021-06-07 13시 14시 [나노기술융합고도화사업]
LOT ID: Module
목적: Metal etchant를 이용한 Ti 500 A 제거
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 30,000원
599 2021-06-07 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
600 2021-06-07 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
601 2021-06-07 17시 18시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
602 2021-06-07 20시 21시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
603 2021-06-08 14시 15시 4-5-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
604 2021-06-08 15시 16시 4-5-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
605 2021-06-10 10시 11시 5-3-1 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
606 2021-06-10 11시 12시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
607 2021-06-10 11시 12시 [나노기술융합고도화사업]
LOT ID: Module
목적: Metal etchant를 이용한 Ti 500 A 제거
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 30,000원
608 2021-06-10 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
609 2021-06-10 15시 16시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
610 2021-06-10 15시 16시 PR Acetone Strip 포항공과대학교 신소재공학과 이동욱 36,000원
611 2021-06-10 15시 16시 Al Wet Etch 포항공과대학교 신소재공학과 이동욱 36,000원
612 2021-06-10 19시 21시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
613 2021-06-11 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
614 2021-06-11 15시 16시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
615 2021-06-11 16시 17시 1-3-4 Metal Etch PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
616 2021-06-14 14시 15시 4-5-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
617 2021-06-14 15시 16시 2-1-3 POE Back Metal Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 110,000원
618 2021-06-14 15시 16시 4-5-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
619 2021-06-15 15시 16시 2-3-4 POE PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
620 2021-06-16 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
621 2021-06-16 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
622 2021-06-17 13시 16시 DMP 물질 cleaning_NaOH 수용 포항공과대학교 전기전자공학부 김소영 270,000원
623 2021-06-17 14시 15시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
624 2021-06-17 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
625 2021-06-17 16시 17시 6-3-3 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
626 2021-06-17 17시 18시 6-3-4 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
627 2021-06-18 14시 15시 7-3-2 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
628 2021-06-18 15시 16시 7-3-5 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
629 2021-06-22 13시 14시 1-2-2 F_Via PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
630 2021-06-23 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
631 2021-06-23 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
632 2021-06-23 20시 21시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
633 2021-06-23 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
634 2021-06-24 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
635 2021-06-24 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
636 2021-06-25 10시 11시 12-3-5 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
637 2021-06-25 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
638 2021-06-25 20시 22시 7-3-2 V0 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
639 2021-06-25 9시 10시 12-3-2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
640 2021-06-29 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
641 2021-06-29 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
642 2021-06-30 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000)) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
643 2021-06-30 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
644 2021-07-01 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
645 2021-07-01 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
646 2021-07-02 13시 14시 3-2-3 Iso-3 PR Remove (TP7000) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
647 2021-07-02 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
648 2021-07-02 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
649 2021-07-02 17시 18시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
650 2021-07-05 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
651 2021-07-05 13시 14시 3-3-4 UBM Metal Etch (TP7000) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
652 2021-07-05 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
653 2021-07-05 17시 18시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
654 2021-07-06 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
655 2021-07-06 11시 12시 3-4-3 UBM Back Metal PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
656 2021-07-06 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
657 2021-07-06 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
658 2021-07-07 14시 15시 4-5-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
659 2021-07-07 15시 16시 4-5-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
660 2021-07-09 16시 17시 5-3-1 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
661 2021-07-09 17시 18시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
662 2021-07-13 14시 15시 6-3-3 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
663 2021-07-13 15시 16시 6-3-4 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
664 2021-07-13 17시 20시 Naoh 사용 dmp 클리닝 포항공과대학교 전기전자공학부 김소영 216,000원
665 2021-07-13 19시 21시 12-3-2 V1 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
666 2021-07-14 10시 11시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
667 2021-07-14 11시 12시 12-3-5 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
668 2021-07-14 9시 10시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
669 2021-07-15 10시 11시 7-3-2 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
670 2021-07-15 11시 12시 7-3-5 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
671 2021-07-15 17시 18시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
672 2021-07-16 14시 15시 6-3-3 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
673 2021-07-16 15시 16시 6-3-4 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
674 2021-07-19 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
675 2021-07-19 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
676 2021-07-20 10시 11시 7-3-2 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
677 2021-07-20 11시 12시 7-3-5 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
678 2021-07-22 14시 15시 12-3-2 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
679 2021-07-22 15시 16시 12-3-5 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
680 2021-07-23 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
681 2021-07-23 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
682 2021-07-26 16시 17시 12-3-2 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
683 2021-07-26 17시 18시 12-3-5 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
684 2021-07-27 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 112,500원
685 2021-07-27 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 112,500원
686 2021-07-28 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
687 2021-07-28 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
688 2021-07-28 19시 21시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
689 2021-07-29 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
690 2021-07-29 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
691 2021-07-29 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
692 2021-07-30 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
693 2021-07-30 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
694 2021-08-02 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
695 2021-08-04 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
696 2021-08-04 16시 17시 1-2-2 F_Via PR Remove (TP7000) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
697 2021-08-04 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
698 2021-08-05 11시 12시 4-5-2 PR Remove(TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
699 2021-08-05 14시 15시 4-5-4 PC PR Remove(Tp7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
700 2021-08-05 17시 18시 . 포항공과대학교 대학원 QCQN 홍정수 90,000원
701 2021-08-06 16시 17시 5-3-2 MC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
702 2021-08-09 13시 14시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
703 2021-08-10 9시 10시 3-2-3 ISO-2 GaN Etch (TP7000) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
704 2021-08-11 16시 17시 6-3-3 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
705 2021-08-11 17시 18시 6-3-4 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
706 2021-08-12 11시 12시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
707 2021-08-12 16시 17시 7-3-2 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
708 2021-08-12 17시 18시 7-3-5 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
709 2021-08-13 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
710 2021-08-13 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
711 2021-08-13 17시 18시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
712 2021-08-17 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
713 2021-08-18 14시 15시 3-2-2 ISO-2 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
714 2021-08-19 15시 16시 12-3-2 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
715 2021-08-19 16시 17시 12-3-5 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
716 2021-08-20 15시 16시 4-3-3 G_Metal PR Remove (TP7000) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
717 2021-08-24 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
718 2021-08-24 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
719 2021-08-26 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
720 2021-08-27 14시 15시 6-3-4 S/D PR Remove (TP7000) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
721 2021-08-30 16시 17시 7-3-3 Contact-2 PR Remove (TP7000) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
722 2021-08-31 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
723 2021-08-31 15시 16시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
724 2021-08-31 20시 22시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
725 2021-09-01 10시 11시 4-5-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
726 2021-09-01 11시 12시 4-5-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
727 2021-09-01 9시 10시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
728 2021-09-02 11시 12시 5-3-1 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
729 2021-09-03 10시 11시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
730 2021-09-08 14시 16시 6-3-1 M0 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
731 2021-09-08 17시 18시 6-3-5 M0 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
732 2021-09-09 14시 15시 7-3-2 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
733 2021-09-10 14시 15시 7-3-5 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
734 2021-09-13 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
735 2021-09-13 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
736 2021-09-15 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
737 2021-09-15 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
738 2021-09-15 17시 18시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
739 2021-09-16 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
740 2021-09-16 9시 10시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
741 2021-09-24 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
742 2021-09-24 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
743 2021-09-27 10시 11시 12-3-5 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
744 2021-09-27 16시 17시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
745 2021-09-27 17시 18시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
746 2021-09-27 9시 10시 12-3-2 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
747 2021-09-28 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
748 2021-09-28 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
749 2021-09-28 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
750 2021-09-29 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
751 2021-09-29 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
752 2021-10-01 15시 16시 4-3-1 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
753 2021-10-05 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
754 2021-10-05 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
755 2021-10-05 17시 18시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
756 2021-10-06 15시 16시 4-5-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
757 2021-10-06 16시 17시 4-5-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
758 2021-10-07 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
759 2021-10-07 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
760 2021-10-08 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
761 2021-10-08 15시 16시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
762 2021-10-12 11시 12시 4-4-3 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
763 2021-10-12 14시 15시 TP-7000 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 300,000원
764 2021-10-12 14시 15시 5-3-1 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
765 2021-10-12 15시 16시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
766 2021-10-14 14시 15시 6-3-3 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
767 2021-10-14 15시 16시 6-3-4 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
768 2021-10-15 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
769 2021-10-15 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
770 2021-10-18 9시 10시 PR Remove TP-7000 4회 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 600,000원
771 2021-10-19 16시 17시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
772 2021-10-19 17시 18시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
773 2021-10-22 16시 17시 7-3-2 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
774 2021-10-25 10시 11시 7-3-5 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
775 2021-10-25 10시 16시 Box 2.0um Etching : BOE 경북대학교 기계공학부 곽문규 400,000원
776 2021-10-27 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
777 2021-11-01 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
778 2021-11-01 16시 17시 4-5-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
779 2021-11-01 17시 18시 4-5-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
780 2021-11-01 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
781 2021-11-02 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
782 2021-11-02 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
783 2021-11-03 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
784 2021-11-03 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
785 2021-11-04 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
786 2021-11-04 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
787 2021-11-04 14시 15시 5-3-1 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
788 2021-11-04 15시 16시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
789 2021-11-04 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
790 2021-11-05 13시 15시 1st PR Remove 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 135,000원
791 2021-11-05 16시 18시 Oxide 1.5um PR Strip calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 300,000원
792 2021-11-09 14시 15시 6-3-3 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
793 2021-11-09 15시 16시 6-3-4 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
794 2021-11-10 9시 10시 7-3-2 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
795 2021-11-11 11시 13시 7-3-5 V0 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
796 2021-11-12 17시 18시 Wet Station 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 135,000원
797 2021-11-15 15시 17시 PR Remove 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 135,000원
798 2021-11-16 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
799 2021-11-16 14시 16시 Oxide 6500A Etch (1차) PR Strip calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 300,000원
800 2021-11-16 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
801 2021-11-18 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
802 2021-11-18 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
803 2021-11-18 13시 14시 12-3-2 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
804 2021-11-19 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
805 2021-11-19 9시 10시 12-3-5 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
806 2021-11-22 17시 18시 PR Remove 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 135,000원
807 2021-11-25 16시 18시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
808 2021-11-25 19시 21시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
809 2021-11-26 14시 16시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
810 2021-11-26 16시 18시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
811 2021-11-29 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
812 2021-11-29 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
813 2021-11-29 16시 17시 Metal PR Remove 충남대학교 전자공학과 송형섭 150,000원
814 2021-11-30 14시 16시 Oxide 6500A Etch (2차) PR Strip calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 300,000원
815 2021-11-30 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
816 2021-11-30 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
817 2021-11-30 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
818 2021-12-02 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
819 2021-12-02 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
820 2021-12-06 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
821 2021-12-07 13시 15시 PR Remove 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 135,000원
822 2021-12-07 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
823 2021-12-07 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
824 2021-12-08 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
825 2021-12-10 13시 15시 PR Remove 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 135,000원
826 2021-12-13 15시 17시 PR Remove 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 135,000원
827 2021-12-14 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
828 2021-12-14 15시 18시 PR Remove (주)센텍코리아 기술연구소 강진현 150,000원
829 2021-12-15 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
830 2021-12-15 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
831 2021-12-16 15시 17시 PR Remove 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 135,000원
832 2021-12-17 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
833 2021-12-20 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
834 2021-12-20 15시 16시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
835 2021-12-21 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
836 2021-12-21 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
837 2021-12-21 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
838 2021-12-22 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
839 2021-12-22 20시 21시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
840 2021-12-22 21시 22시 4-2-3 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
841 2021-12-23 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
842 2021-12-24 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
843 2021-12-24 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
844 2021-12-28 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
845 2021-12-28 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
846 2021-12-29 9시 18시 나노융합기반고도화 사업_공정 테스트 (주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 1,500,000원
847 2022-01-12 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
848 2022-01-12 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
849 2022-01-19 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
850 2022-01-19 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
851 2022-01-20 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
852 2022-01-21 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
853 2022-01-21 13시 14시 4-5-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
854 2022-01-21 14시 15시 4-5-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
855 2022-01-21 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
856 2022-01-25 10시 11시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
857 2022-01-25 11시 12시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
858 2022-01-25 13시 14시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
859 2022-01-25 13시 14시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
860 2022-01-26 11시 12시 4-2-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
861 2022-01-27 10시 11시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
862 2022-01-27 11시 12시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
863 2022-02-07 17시 18시 5-3-2 MC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
864 2022-02-08 11시 12시 5-3-5 MC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
865 2022-02-11 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
866 2022-02-11 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
867 2022-02-11 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
868 2022-02-15 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
869 2022-02-15 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
870 2022-02-15 19시 21시 7-3-2 V0 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
871 2022-02-16 13시 14시 7-3-5 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
872 2022-02-16 14시 15시 5-3-3 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
873 2022-02-18 16시 17시 알루미나 칩 3장 세정입니다. 포항공과대학교 대학원 QCQN 홍정수 90,000원
874 2022-03-03 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
875 2022-03-03 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
876 2022-03-04 13시 15시 Cr Mask Remove, Cr = 800Å, 조선대학교 신소재공학과 박진성 200,000원
877 2022-03-04 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
878 2022-03-04 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
879 2022-03-07 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
880 2022-03-08 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
881 2022-03-08 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
882 2022-03-08 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
883 2022-03-10 13시 14시 5-3-3 solvent 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
884 2022-03-10 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
885 2022-03-11 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
886 2022-03-11 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
887 2022-03-11 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
888 2022-03-14 10시 16시 Si 650V 파워반도체 제작 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 1,070,000원
889 2022-03-14 17시 18시 6-3-3 G-Metal PR Remove (TP7000) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
890 2022-03-17 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
891 2022-03-17 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
892 2022-03-21 10시 11시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 112,500원
893 2022-03-21 11시 12시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 112,500원
894 2022-03-22 22시 23시 9-3-3 Contact-2 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
895 2022-03-22 9시 10시 8-3-4 S/D PR Remove (TP7000) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 225,000원
896 2022-03-23 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
897 2022-03-23 19시 20시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
898 2022-03-24 16시 17시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
899 2022-03-24 17시 18시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
900 2022-03-25 16시 18시 SiO2 2um Remove 경북대학교 기계공학부 곽문규 100,000원
901 2022-03-25 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
902 2022-03-25 19시 20시 11-4-1 ISO-2 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 112,500원
903 2022-03-28 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
904 2022-03-28 19시 21시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
905 2022-03-29 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
906 2022-03-29 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
907 2022-03-31 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
908 2022-03-31 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
909 2022-04-01 9시 10시 Pre-cleaning(Organic Cleaning) 삼성디스플레이 선행제품연구팀 박후근 150,000원
910 2022-04-05 10시 11시 1-3-2 1st PR Remove (TP7000) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 135,000원
911 2022-04-05 9시 10시 1-3-2 1st PR Remove (TP7000) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 135,000원
912 2022-04-06 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
913 2022-04-06 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
914 2022-04-12 11시 12시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
915 2022-04-12 14시 16시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
916 2022-04-12 20시 22시 4-5-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
917 2022-04-12 9시 10시 Pre cleaning (Organic) 삼성디스플레이 선행제품연구팀 박후근 300,000원
918 2022-04-13 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
919 2022-04-13 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
920 2022-04-13 16시 17시 4-4-5 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
921 2022-04-14 16시 17시 4-2-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
922 2022-04-15 19시 20시 4-4-3 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
923 2022-04-20 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
924 2022-04-20 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
925 2022-04-21 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
926 2022-04-21 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
927 2022-04-26 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
928 2022-04-26 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
929 2022-04-28 15시 16시 2-3-4 SiO2 PR Remove (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 0원
930 2022-05-10 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
931 2022-05-10 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
932 2022-05-10 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
933 2022-05-11 15시 16시 2-3-4 PR Remove (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 150,000원
934 2022-05-24 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
935 2022-05-24 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
936 2022-05-31 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
937 2022-05-31 15시 16시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
938 2022-06-02 13시 14시 0-2-1 Pre cleaning (주)마이크로인피니티 (주)마이크로인피니티_ 소자개발팀 이성렬 150,000원
939 2022-06-02 9시 10시 Organic Cleaning 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 240,000원
940 2022-06-03 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (Tp7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
941 2022-06-03 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
942 2022-06-07 10시 12시 Organic-cleaning(Solvent) 삼성디스플레이 선행제품연구팀 박후근 240,000원
943 2022-06-07 14시 15시 1-2-3 TEOS PR Remove (주)마이크로인피니티 (주)마이크로인피니티_ 소자개발팀 이성렬 150,000원
944 2022-06-08 16시 17시 5-3-2 Back Si etch PR Remove
고도화 사업
포항공과대학교 대외협력팀 김인철 300,000원
945 2022-06-17 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
946 2022-06-17 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
947 2022-06-17 16시 17시 4-4-5 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
948 2022-06-17 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
949 2022-06-21 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (Tp7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
950 2022-06-21 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
951 2022-06-22 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
952 2022-06-22 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
953 2022-06-22 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
954 2022-06-22 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
955 2022-06-22 16시 17시 - 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 85,000원
956 2022-06-24 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
957 2022-06-24 10시 11시 5-3-2 PR Remove 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 270,000원
958 2022-06-24 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
959 2022-06-24 15시 16시 Gate Stack Etch 평가 : PR Remove
(조각 4개 - 1 Batch)
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 황현준 127,500원
960 2022-06-24 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
961 2022-06-24 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
962 2022-06-27 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
963 2022-06-27 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
964 2022-06-28 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
965 2022-06-28 10시 12시 Au 7nm Wet Etching 포항공과대학교 Material Science and Engineering Arka Chatterjee 90,000원
966 2022-06-29 10시 11시 2-3-4 SiO2 PR Remove (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 150,000원
967 2022-06-30 17시 18시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
968 2022-06-30 20시 21시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
969 2022-07-04 13시 15시 Organic Cleaning 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 120,000원
970 2022-07-04 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
971 2022-07-04 9시 10시 Organic Cleaning 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 240,000원
972 2022-07-05 9시 10시 Pre-cleaning(Organic Cleaning) 삼성디스플레이 LED Lab 송영진 120,000원
973 2022-07-07 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
974 2022-07-07 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
975 2022-07-08 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
976 2022-07-12 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
977 2022-07-12 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
978 2022-07-13 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
979 2022-07-13 20시 21시 4-4-3 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
980 2022-07-13 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
981 2022-07-14 17시 18시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
982 2022-07-14 20시 21시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
983 2022-07-15 15시 16시 3-2-3 PAD PR Remove (TP7000) (주)이너센서 경영, 연구소 강문식 120,000원
984 2022-07-20 9시 10시 Organic Cleaning 포항공과대학교 화학과 김태균 360,000원
985 2022-07-21 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
986 2022-07-21 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
987 2022-07-21 9시 10시 Bonding Metal 증착공정 Organic Cleaning 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 240,000원
988 2022-07-21 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
989 2022-07-22 17시 18시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
990 2022-07-22 19시 21시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
991 2022-07-26 15시 16시 직접 방문하여 진행할 예정입니다. 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김영건 270,000원
992 2022-07-26 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
993 2022-07-26 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
994 2022-07-28 10시 11시 0.0 pre cleaning 삼성디스플레이 LED Lab 송영진 200,000원
995 2022-07-29 13시 15시 Gate Stack Etch 평가 : (1:1:3) Etch 후 Cleaning 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 황현준 255,000원
996 2022-07-29 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
997 2022-07-29 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
998 2022-08-01 10시 11시 solvent PR Remover 삼성디스플레이 선행제품연구팀 박후근 120,000원
999 2022-08-01 15시 16시 3-2-2 I_Etch PR Remove
[2022 나노융합기반 고도화사업]
(주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 150,000원
1000 2022-08-03 14시 15시 2-3-4 PR Remove (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 150,000원
1001 2022-08-04 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1002 2022-08-04 16시 18시 4.0 PC PR REMOVE (TP 7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1003 2022-08-04 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1004 2022-08-05 13시 16시 4.0 PC PR REMOVE (TP 7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1005 2022-08-08 12시 14시 4.0 PC PR REMOVE (TP 7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1006 2022-08-08 9시 10시 SDC_T01+03 w/s organic(TP) 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김태균 120,000원
1007 2022-08-10 10시 11시 4-2-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1008 2022-08-10 19시 20시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1009 2022-08-10 9시 10시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1010 2022-08-12 13시 14시 4-2-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1011 2022-08-12 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1012 2022-08-12 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1013 2022-08-12 9시 10시 SDC_T04 W/S Organic 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김태균 120,000원
1014 2022-08-18 15시 16시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1015 2022-08-18 16시 17시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1016 2022-08-19 13시 14시 4-2-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1017 2022-08-22 9시 10시 0.0 Pre cleaning 삼성디스플레이 LED Lab 송영진 120,000원
1018 2022-08-26 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1019 2022-08-26 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1020 2022-08-29 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1021 2022-08-30 10시 11시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1022 2022-08-30 9시 10시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1023 2022-09-01 9시 10시 W/S_Organic 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 240,000원
1024 2022-09-02 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1025 2022-09-02 19시 21시 13-3-5 M2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1026 2022-09-05 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1027 2022-09-05 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1028 2022-09-06 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1029 2022-09-19 17시 18시 2-3-4 PR Remove 에스앤에스텍 EUV Pellicle 개발팀 이승조 150,000원
1030 2022-09-19 9시 10시 Pre cleaning 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 360,000원
1031 2022-09-20 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1032 2022-09-20 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1033 2022-09-21 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1034 2022-09-21 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1035 2022-09-21 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1036 2022-09-22 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1037 2022-09-22 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1038 2022-09-22 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1039 2022-09-22 20시 21시 4-4-3 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1040 2022-09-26 9시 10시 E-Beam Evaporator on GaAs
SDC_220802
삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 120,000원
1041 2022-09-26 9시 10시 Organic-cleaning(Solvent) 삼성디스플레이 선행제품연구팀 박후근 360,000원
1042 2022-09-29 10시 11시 2-2-3 PR Remove 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 127,500원
1043 2022-10-06 9시 10시 세정 주식회사 동우글로발 NANO 사업부 김재훈 80,000원
1044 2022-10-10 9시 10시 0.0 W/S_Organic 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김태균 120,000원
1045 2022-10-12 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1046 2022-10-12 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1047 2022-10-13 11시 12시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1048 2022-10-25 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1049 2022-10-25 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1050 2022-10-26 9시 10시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1051 2022-11-02 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1052 2022-11-02 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1053 2022-11-03 13시 14시 4-2-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1054 2022-11-04 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1055 2022-11-04 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1056 2022-11-07 10시 11시 5-4-2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1057 2022-11-07 9시 10시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1058 2022-11-15 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1059 2022-11-15 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1060 2022-11-18 11시 12시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1061 2022-11-18 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1062 2022-11-21 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1063 2022-11-21 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1064 2022-11-22 16시 17시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1065 2022-11-22 17시 18시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1066 2022-11-23 11시 12시 4-4-3 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1067 2022-11-23 17시 18시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1068 2022-11-23 20시 21시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1069 2022-11-24 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1070 2022-11-24 13시 14시 3-2-2 solvent
\"2022년 나노융합기반 고도화사업\"
(주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 150,000원
1071 2022-11-28 15시 16시 5-3-3 Electrode PR Remove 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 127,500원
1072 2022-11-30 16시 17시 6-1-5 Si Etch 500um (Cr wet Etch)
2022년 나노융합기반 고도화사업
(주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 600,000원
1073 2022-12-02 15시 16시 Oxide Dry Etch 1um
-> PR Remove
나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
1074 2022-12-26 11시 12시 3-3-3 TiN Etch (TP7000) 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 255,000원
1075 2023-01-02 15시 16시 4-4-3 PC TP-7000 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1076 2023-01-03 11시 12시 5-3-1 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
1077 2023-01-03 15시 16시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
1078 2023-01-06 15시 16시 6-3-3 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
1079 2023-01-06 16시 17시 6-3-4 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
1080 2023-01-10 15시 16시 7-2-2 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
1081 2023-01-10 16시 17시 7-3-5 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
1082 2023-01-11 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1083 2023-01-11 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1084 2023-01-12 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1085 2023-01-12 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1086 2023-01-12 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1087 2023-01-13 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1088 2023-01-16 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1089 2023-01-16 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1090 2023-01-17 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1091 2023-01-18 14시 15시 8-5-2 M1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
1092 2023-01-18 15시 16시 8-5-2 M1 PR Remove (TP7000) 2회차 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 225,000원
1093 2023-01-20 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1094 2023-01-20 12시 13시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1095 2023-01-20 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1096 2023-01-25 10시 11시 4-2-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1097 2023-01-25 9시 10시 5-4-2 PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1098 2023-01-26 10시 11시 4-2-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1099 2023-01-27 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1100 2023-01-27 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1101 2023-01-30 11시 12시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
1102 2023-01-30 15시 15시 WM_D
Ti etchant
주식회사 보다 연구개발 김형원 90,000원
1103 2023-01-31 11시 12시 0-1-1 Pre cleaning LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
1104 2023-02-02 13시 14시 1-2-3 PR Remove (TP7000 1회차) 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 135,000원
1105 2023-02-02 14시 15시 1-2-3 PR Remove (TP7000 2회차) 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 135,000원
1106 2023-02-03 15시 16시 1-2-3 Etch 평가 PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
1107 2023-02-03 16시 17시 1-2-3 SiO2 PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
1108 2023-02-13 16시 17시 TP7000 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 135,000원
1109 2023-02-14 14시 15시 5-3-1 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1110 2023-02-14 15시 16시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 105,000원
1111 2023-02-22 14시 15시 0-1-2 Pre cleaning 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 135,000원
1112 2023-02-24 9시 10시 Ti etching 500A 주식회사 보다 연구개발 김형원 72,000원
1113 2023-02-27 13시 14시 1-2-3 TP7000 1회차 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 135,000원
1114 2023-02-27 14시 15시 1-2-3 TP7000 2회차 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 135,000원
1115 2023-02-27 15시 16시 1-3-3 TP7000 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 450,000원
1116 2023-02-28 9시 10시 1-3-3 PR Remove (TP7000) LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 450,000원
1117 2023-03-13 13시 14시 WM_R
Ti 500A remove 1매
주식회사 보다 연구개발 김형원 68,000원
1118 2023-03-24 11시 13시 3-3-2 ITZO Wet Etch
2022년 나노융합기반 고도화사업
(주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 0원
1119 2023-03-27 13시 14시 DHF 100:1 직접 진행 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 72,000원
1120 2023-03-30 11시 12시 4-3-2 Mo Wet Etch
2022년 나노융합기반 고도화사업
(주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 0원
1121 2023-04-05 10시 11시 SiC 조각 Metal Wet Etch 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 85,000원
1122 2023-04-24 10시 11시 Ni wet Etch 포항공과대학교 전자전기공학과 조성민 90,000원
1123 2023-04-24 11시 12시 Ti wet Etch 포항공과대학교 전자전기공학과 조성민 90,000원
1124 2023-05-12 10시 13시 silicon wafer위에 ZnO 필름이 있고 그 위에 금속 올릴 예정입니다. 전북대학교 전자정보공학부 남은서 90,000원
1125 2023-07-07 14시 15시 최선호/010-5102-9680 포항공과대학교 기계공학과 박수청 27,000원
1126 2023-07-28 11시 12시 ANY-400 필요합니다.
주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 270,000원
1127 2023-07-28 14시 15시 1-3-4 Ni wet etch 코닝정밀소재주식회사 연구소 석성호 100,000원
1128 2023-08-01 9시 10시 ANY-400 필요합니다.
주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 486,000원
1129 2023-08-02 14시 16시 최선호/010-5102-9680 포항공과대학교 기계공학과 박수청 54,000원
1130 2023-08-09 10시 12시 Pt Remove 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 260,000원
1131 2023-08-17 14시 15시 최선호/010-5102-9680 포항공과대학교 기계공학과 박수청 27,000원
1132 2023-08-24 22시 23시 최선호/010-5102-9680 포항공과대학교 기계공학과 박수청 27,000원
1133 2023-08-28 15시 18시 없음. 전북대학교 전자정보공학부 허찬 90,000원
1134 2023-09-12 9시 10시 1-0-0 Au remove
2023 나노융합기반고도화사업
에스제이 영업 박상준 160,000원
1135 2023-09-26 22시 23시 최선호/010-5102-9680 부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
1136 2023-10-28 18시 19시 MLA 150 장비 사용 하여 신청합니다. 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김민규 27,000원
1137 2023-11-13 13시 14시 13-3-1 Key open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1138 2023-11-13 14시 15시 13-3-1 Key open 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 36,000원
1139 2023-11-20 9시 10시 13-2-1 power metal wet etch 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 290,000원
1140 2023-11-20 9시 10시 13-2-1 Power metal wet etch 삼성전자 DS 김태훈 0원
1141 2023-11-21 13시 14시 Glass tray 제공 주식회사 보다 연구개발 김형원 25,500원
1142 2023-11-22 15시 16시 sn
-H2SO4 (1) : DI (10) cleaning 1ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 25,500원
1143 2023-11-28 9시 10시 13-2-1 Power Metal wet etch 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 190,000원
1144 2023-11-30 11시 12시 4-3-1 Power metal 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 280,000원
1145 2023-11-30 13시 14시 Al wet etch 3um 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 190,000원
1146 2023-12-14 10시 11시 13-2-1 Power metal 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 280,000원
1147 2023-12-14 13시 14시 3-2-1 power metal 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 180,000원
1148 2023-12-22 22시 23시 최선호/010-5102-9680 부경대학교 기계설계공학과 유동인 0원
1149 2023-12-29 10시 11시 1-6 MO etch (주)엔디디 연구소 최영환 0원
1150 2023-12-29 11시 12시 1-7 MO etch (주)엔디디 연구소 최영환 0원
1151 2024-01-30 9시 18시 포스텍 차세대반도체 공유혁신대학 나노 반도체공정 실습교육 비용 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,650,000원
1152 2024-02-01 22시 23시 최선호/010-5102-9680 부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
1153 2024-02-20 10시 11시 FC60 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 118,000원
1154 2024-03-11 23시 24시 . 부경대학교 기계설계공학과 유동인 80,000원
1155 2024-03-12 10시 11시 1-3-2 hard mask (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 0원
1156 2024-03-12 16시 17시 13-2-1 power metal / Al etch 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 300,000원
1157 2024-03-12 9시 10시 1-3-1 hard mask 포항공과대학교 신소재공학과 김성준 300,000원
1158 2024-03-15 10시 11시 1-3-2 hard mask (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 0원
1159 2024-03-22 13시 14시 Al etch 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 64,000원
1160 2024-03-29 13시 14시 2-2-1 Cr Remove 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 240,000원
1161 2024-04-11 10시 11시 1-3-2 Mo etch (주)엔디디 연구소 최영환 240,000원
1162 2024-04-11 13시 14시 2-3-1 ITZO_ etch (주)엔디디 연구소 최영환 240,000원
1163 2024-04-11 14시 15시 3-3-1 SD_Etch (주)엔디디 연구소 최영환 240,000원
1164 2024-04-11 14시 15시 4-4-1 Gate Depo (주)엔디디 연구소 최영환 240,000원
1165 2024-04-11 16시 17시 Al etch 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
1166 2024-04-11 9시 10시 1-3-1 Mo etch (주)엔디디 연구소 최영환 240,000원
1167 2024-04-24 14시 15시 14-1-7 key open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1168 2024-04-25 13시 14시 15-2-1 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
1169 2024-04-26 13시 14시 2-2-3 Cr Remove
2023년 나노융합기반 고도화사업
(주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 240,000원
1170 2024-05-13 9시 10시 13-1-7 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 300,000원
1171 2024-05-13 9시 10시 13-1-7 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 300,000원
1172 2024-05-14 10시 11시 14-2-1 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 300,000원
1173 2024-05-14 10시 11시 14-2-1 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 300,000원
1174 2024-06-03 16시 17시 14-1-7 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1175 2024-06-03 16시 17시 14-1-7 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1176 2024-06-04 16시 18시 15-2-1 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
1177 2024-06-04 9시 10시 15-2-1 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
1178 2024-06-11 13시 14시 12-3-1 KEY Open 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1179 2024-06-12 13시 14시 13-2-1 Power Metal 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1180 2024-06-17 14시 15시 13-2-1 Power Metal 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1181 2024-06-20 13시 16시 Al 4.0um Wet Etching 평가 : 100%, 70%, 50% Wet Target 적용 각 1매 매그나칩반도체 유한회사 PE팀 서진원 500,000원
1182 2024-06-24 8시 20시 전문인력양성사업 소자공정실습 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,200,000원
1183 2024-06-24 9시 10시 1-2-1 SILICI 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 228,000원
1184 2024-06-25 13시 15시 3-2-1 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 600,000원
1185 2024-07-25 22시 23시 최선호 01051029680 부경대학교 기계설계공학과 유동인 0원
1186 2024-08-01 14시 15시 Al etch(ANY 400) 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 132,000원
1187 2024-08-05 16시 18시 Au 패터닝 됨
별도의 테프론 비커에서 wet etch 진행 할 예정
포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 김기영 24,000원
1188 2024-08-05 21시 22시 최선호 010-5102-9680 부경대학교 기계설계공학과 유동인 0원
1189 2024-08-06 10시 13시 Au
테프론 비커에 따로 실험
포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 김기영 24,000원
1190 2024-08-07 10시 11시 13-1-7 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 200,000원
1191 2024-08-08 13시 14시 14-1-7 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1192 2024-08-08 14시 15시 14-2-1 power metal 삼성전자 DS 김태훈 200,000원
1193 2024-08-09 10시 11시 15-2-1 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
1194 2024-08-27 13시 14시 14-1-7 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1195 2024-08-27 14시 15시 14-1-7 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1196 2024-08-29 15시 16시 15-1 Al Wet Etch 삼성전자 DS 김태훈 0원
1197 2024-08-29 16시 17시 15-1 Al Etch wet 삼성전자 DS 김태훈 0원
1198 2024-09-04 11시 12시 14-1-7 Key Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1199 2024-09-10 10시 11시 4-2-2 PR Remove 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 128,000원
1200 2024-09-10 14시 15시 2-3-1 Backside MC 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 352,000원
1201 2024-09-19 13시 14시 2-2-2 PR Remove 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 64,000원
1202 2024-09-23 22시 23시 김도연 010-4715-0095 부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
1203 2024-09-26 10시 11시 0-0-1 Pre Cleaning 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 160,000원
1204 2024-09-30 10시 13시 [Al Wet Etch, Process Time]

#01,02 : 2m10s
#03 : 3m30s
#04 : 4m20s
매그나칩반도체 유한회사 PE팀 서진원 500,000원
1205 2024-09-30 19시 20시 12-3-1 Key Open 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 160,000원
1206 2024-10-02 13시 14시 13-2-1 Power Metal 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 260,000원
1207 2024-10-24 19시 20시 NiV Ni Wet Etch test 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 82,000원
1208 2024-10-29 9시 12시 매그나칩 반도체 서진원 사원님께서 진행한 이력이 있습니다.
동일 물질이며, Werfer No.에 따른 Wet Etch time 입니다.

#06 : 1m 10s
#07 : 1m 50s
#08 : 2m 20s
매그나칩반도체 유한회사 HPD2팀 양대규 320,000원
1209 2024-11-01 22시 23시 김도연 01047150095
김주빈 01039670825
부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
1210 2024-11-04 14시 16시 1-2-3 Metal Depo. 그래핀스퀘어주식회사 기획관리팀 권회창 400,000원
1211 2024-11-06 13시 19시 HCl:DI = 1:5 용액
1매 - 10회, 1매 - 20회
경북대학교 전자전기공학부 이혁준 800,000원
1212 2024-11-13 14시 16시 Al Etch 평가 : 60% Target 설정 평가 매그나칩반도체 유한회사 PE팀 서진원 300,000원
1213 2024-11-18 13시 14시 2-3-3 M Deposition 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 128,000원
1214 2024-11-18 14시 17시 Al Wet Etch Time Split
#10 - 121s, #11 - 180s, #12 - 240s
매그나칩반도체 유한회사 PE팀 서진원 500,000원
1215 2024-11-21 16시 17시 11-3-1 Al wet etch 현대모비스 전력반도체팀 강민기 250,000원
1216 2024-11-25 10시 11시 11-5-4 Power Metal 현대모비스 전력반도체팀 강민기 350,000원
1217 2024-11-25 9시 10시 11-5-1 Power Metal 현대모비스 전력반도체팀 강민기 350,000원
1218 2024-11-26 10시 12시 HCl:DI = 1:5 --> 1:3 진행
5회(4인치)
경북대학교 전자전기공학부 이혁준 200,000원
1219 2024-11-28 13시 14시 oxide wet etch (BOE) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 80,000원
1220 2024-11-28 16시 20시 HCl:DI = 1:4 (45 s) 부탁드립니다. 경북대학교 전자전기공학부 이혁준 600,000원
1221 2024-11-29 13시 14시 김주빈
010-3967-0825
공정장비 직접사용 라이선스 갱신 교육 요청
날짜 : 11/29
부경대학교 기계설계공학과 김주빈 40,000원
1222 2024-11-29 15시 16시 공정장비 직접사용 라이선스 갱신 교육 요청
부경대학교 김주빈 함께 교육 이수
부경대학교 기계공학부 기계설계공학전공 김도연 190,000원
1223 2024-11-29 22시 23시 김도연 01047150095
김주빈 01039670825
부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원