NEMS White Wet station - Organic 장비일지

기자재관리번호 : B0000055-062002-A0024
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2012-11-26 19시 20시 직접사용(야간) 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 10,000원
2 2012-12-13 13시 16시 직접사용 포항공과대학교 기계공학부 권혁진 0원
3 2012-12-14 11시 13시 직접사용 포항공과대학교 기계공학부 권혁진 0원
4 2013-01-02 14시 16시 직접사용 포항공과대학교 기계공학과 정화평 0원
5 2013-02-14 14시 16시 직접사용 포항공과대학교 기계공학과 김영권 0원
6 2013-02-20 09시 10시 oxide 식각 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 420,000원
7 2013-03-21 18시 19시 Metal lift-off (아세톤 사용) (JNT / 이호준 / 야간사용) 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 16,000원
8 2013-04-03 14시 15시 1-2-2 Akey Lift-off (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
9 2013-04-04 13시 14시 2-1-8 CNT PH_inspection (주)엔디디 경영총괄 권현화 30,000원
10 2013-04-08 10시 11시 연구개발 (주)예스파워테크닉스 연구소 강예환 0원
11 2013-04-10 14시 15시 연구개발 (주)예스파워테크닉스 연구소 강예환 0원
12 2013-04-11 10시 11시 1-2-2 Akey Lift-off (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
13 2013-04-11 15시 16시 2-1-6 CNT PH_develop (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
14 2013-04-15 16시 18시 dev 포항공과대학교 기계공학과 정화평 0원
15 2013-04-24 10시 12시 PR Remove, Cr remove, Cleaning 포항공과대학교 기계공학과 류정은 96,000원
16 2013-04-30 10시 12시 Ti/Au Lift-off 포항공과대학교 물리학과 권오준 96,000원
17 2013-06-28 20시 21시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 16,000원
18 2013-07-18 15시 16시 PR 코팅 (JNT / 이호준) 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 14,000원
19 2013-07-25 9시 14시 6-6 Gate Lift off LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 90,000원
20 2013-08-14 13시 14시 Gate patterning develop (JNT / 이호준) 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 14,000원
21 2013-09-11 9시 14시 STX Solar 공정(Etching) STX솔라 연구개발 박창섭 135,000원
22 2013-09-13 10시 15시 litho 포항공과대학교 기계공학과 김종민 0원
23 2013-10-07 12시 13시 S/D patterning (JNT / 이호준) 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 0원
24 2013-11-06 18시 19시 P-Well H/M 공정 Setup : Oxide Remove 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 24,000원
25 2013-11-12 14시 15시 Micro Pump : Cr H/M PR 제거 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 24,000원
26 2013-11-18 17시 18시 Micropost_Develop 포항공과대학교 기계공학과 권대희 96,000원
27 2013-11-20 9시 10시 Micropost_PR remove 포항공과대학교 기계공학과 권대희 136,000원
28 2013-11-25 15시 16시 Wet etch 30매 STX Solar 공정기술파트 김동현 810,000원
29 2013-11-28 17시 18시 Si Deep Etch 후 PR Remove (강양준 박사) 포항공과대학교 기계공학과 류정은 48,000원
30 2013-12-09 13시 14시 6-3-2 MET1 Polymer Removal LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
31 2013-12-20 20시 21시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 16,000원
32 2013-12-27 10시 14시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
33 2014-01-02 14시 16시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
34 2014-01-03 12시 14시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
35 2014-01-07 19시 22시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
36 2014-01-09 19시 23시 시편제작 포항공과대학교 기계공학과 이기철 0원
37 2014-01-10 19시 22시 PR 포항공과대학교 WCU 김진만 0원
38 2014-02-26 14시 14시 STX Solar 태양전지 Wafer
1) 역피라미드 Texturing Inverted Pyramid 구조 형성
2) Photo-lithography 공정 이용함(Wafer : 6Inch, Mask : 9Inch)
STX Solar 공정기술파트 김동현 270,000원
39 2014-03-27 19시 21시 시편 제작 포항공과대학교 기계공학과 노현우 0원
40 2014-04-03 16시 17시 Develop 포항공과대학교 I-bio 김보람 48,000원
41 2014-04-15 14시 15시 2-1-4 1st Photo_develop
- Developer : 300MIF (Dipping)
- Time : 4min
디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 300,000원
42 2014-04-15 16시 17시 Photo Test Inspection
- Optical Microscope Inspection, 5point
디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 90,000원
43 2014-04-17 13시 15시 2-2-5 Dicing
- Dicing Saw 6inch_10ea
디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 300,000원
44 2014-05-22 12시 13시 2-1-4 1st Photo_develop - Developer : 300MIF (Dipping) - Time : 4min 디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 240,000원
45 2014-06-05 13시 14시 1-1-4 Photo Test_Develop
========================
AZ300MIF, 4min
SSADT 경영지원 지이권 300,000원
46 2014-06-05 14시 15시 1-1-6 Photo Test_Inspection
===========================
Photo pattern 확인
Cond:3pt
SSADT 경영지원 지이권 300,000원
47 2014-06-09 13시 14시 1-2-3 Etch Test_Sapphire Inspection
==================================
Optical Microscope, 3point
SSADT 경영지원 지이권 300,000원
48 2014-06-17 14시 15시 oxide Remove 후 Topology 변화 평가 포항공과대학교 기계공학과 성민 21,000원
49 2014-06-26 13시 14시 1-1-4 Photo Test_Develop
========================
AZ300MIF, 4min
SSADT 경영지원 지이권 150,000원
50 2014-06-26 14시 15시 1-1-6 Photo Test_Inspection
===========================
Photo pattern 확인 Cond:3pt
SSADT 경영지원 지이권 150,000원
51 2014-06-27 13시 14시 1-2-3 Etch Test_Sapphire Inspection
==================================
Optical Microscope, 3point
SSADT 경영지원 지이권 150,000원
52 2014-07-09 16시 18시 nLOF 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 0원
53 2014-08-25 14시 15시 1-1-6 Lift-off용 Photo Inspection
=====================================
Cond:3point(LCR), Optical Microscope
(주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 600,000원
54 2014-08-26 14시 16시 1-2-2 Lift-off
===================================
Ultra Sonic + Acetone, Dipping, 10min
(주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 450,000원
55 2014-08-26 16시 18시 1-2-3 Lift-off Inspection
=======================
Cond:3point/wafer
(주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 420,000원
56 2014-08-29 10시 11시 Cleaning 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 60,000원
57 2014-09-11 15시 16시 pr patterning 한국생산기술연구원 스마트정형공정그룹 하정홍 0원
58 2014-10-16 14시 15시 Photo Process_Inspection
========================
Optical Microscope
COND: 3pt/wf(L,C,R)
SSADT 경영지원 지이권 150,000원
59 2014-10-17 13시 14시 Etch Process_Inspection
========================
Optical Microscope
COND: 3pt/wf(L,C,R)
SSADT 경영지원 지이권 150,000원
60 2014-10-20 22시 23시 Acetone 포항공과대학교 WCU 김진만 0원
61 2014-10-21 15시 16시 Photo Process_Expose&Develop
===============================
Hard-Cont. 320W
Intensity : 10.2, Expose Time : 110sec
AZ300MIF, 상온, 3분
SSADT 경영지원 지이권 450,000원
62 2014-11-06 10시 14시 Organic CMOS_Metal Lift-Off 포항공과대학교 창의IT융합공학과 권지민 480,000원
63 2014-12-18 17시 18시 1-2-1 Acetone Lift-Off (주)소로나 관리 (주)소로나 60,000원
64 2014-12-18 9시 11시 7-2-1 Ni Wet Etching 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
65 2014-12-19 18시 19시 2-3-1 Metal Lift-off (주)소로나 관리 (주)소로나 60,000원
66 2015-01-29 16시 17시 wet etch 그린사이언스 기업부설연구소 장현석 30,000원
67 2015-03-16 23시 24시 시편제작 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 0원
68 2015-04-13 12시 14시 십자 Mark 형서(Develop) 아스트 아스트 김영호 180,000원
69 2015-04-20 16시 17시 lift-off 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
70 2015-05-13 13시 14시 lift-off 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
71 2015-06-05 14시 15시 . 포항공과대학교 기계공학과 이기철 0원
72 2015-06-05 15시 17시 . 포항공과대학교 기계공학과 이기철 0원
73 2015-06-18 9시 13시 7-1-3 Pass Photo (Develop) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 63,000원
74 2015-06-23 14시 15시 Develop:TMAH 2.38% (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 240,000원
75 2015-06-24 9시 11시 Metal Lift-off : Ultrasonic + Acetone dipping + Cleaning (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 240,000원
76 2015-07-03 15시 16시 2-3-2 PR Remove 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 42,000원
77 2015-08-21 15시 17시 Back Side Si Etch 를 위한 Hard Mask Cr Wet Etch 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 63,000원
78 2015-08-21 17시 18시 Back Side Si Etch 를 위한 Hard Mask Oxide Wet Etch 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 63,000원
79 2015-08-21 19시 20시 Back Side Si Etch 용 Hard Mask Etch PR Remove 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 63,000원
80 2015-08-24 16시 17시 Front Side SI Etch PR Remove 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 63,000원
81 2015-08-27 10시 12시 Box Remove : oxide Wet Etch 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 63,000원
82 2015-09-24 12시 13시 5-3-3 CNT POLYMER REMOVE 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
83 2015-09-25 12시 13시 6-3-2 MET1 POLYMER REMOVE 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
84 2015-09-25 16시 17시 MET 1 POLYMER REMOVE 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
85 2015-10-16 18시 19시 4-3-3 gate Polymer Remove 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 84,000원
86 2015-10-20 22시 23시 5-3-4 CNT Polymer Remove 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
87 2015-10-22 20시 21시 6-3-1 M1 Polymer Remove 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
88 2015-12-02 12시 14시 Metal Etch Polymer Remove (주) 이너센서 이너센서 강문식 0원
89 2015-12-14 12시 13시 미래부 전문인력양성_소자공정 실습 (Photo) 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 400,000원
90 2015-12-28 10시 11시 Al Hard Mask Remove 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 63,000원
91 2015-12-28 11시 12시 Oxide Hard Mask Remove 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 63,000원
92 2016-02-17 1시 18시 전자과 이정수랩 NEMS Base system 2월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 400,000원
93 2016-02-25 14시 16시 Back SIde Al Etch : 3000 A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 42,000원
94 2016-03-07 1시 10시 전자과 이정수랩 NEMS Base system 3월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
95 2016-04-14 14시 17시 photo lithography 포항공과대학교 기계공학과 정화평 0원
96 2016-05-04 15시 16시 Al2O3 ETCHING 포항공과대학교 전자전기공학과 김강민 16,000원
97 2016-05-25 16시 17시 oxide etching 포항공과대학교 전자전기공학과 박슬기 16,000원
98 2016-06-30 1시 17시 전자과 이정수 랩 6월 NEMS base system 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
99 2016-08-22 13시 15시 pattern fabrication 포스텍 기계공학과 박형준 32,000원
100 2016-08-31 1시 18시 이정수 교수 랩 8월 NEMS Base system 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
101 2016-09-01 1시 12시 이정수 교수 랩 9월 NEMS Base system 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
102 2016-11-30 9시 17시 이정수랩 11월 NEMS Base system 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
103 2016-12-02 10시 11시 Lift off 울산과학기술원(UNIST) 기계공학과 이준범 120,000원
104 2016-12-22 10시 12시 Ultra Sonic + Acetone, 10min (주)엔디디 기술연구 최은아 300,000원
105 2016-12-22 12시 13시 Developer: 300MIF, Puddle time: X분, Hard Baking : X (주) 이너센서 이너센서 강문식 270,000원
106 2016-12-27 12시 13시 Developer: 300MIF, Puddle time: 1분, Hard Baking : X (주)엔디디 기술연구 최은아 540,000원
107 2017-01-31 1시 18시 이정수 랩 NEMS Base system 1월 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 400,000원
108 2017-03-30 9시 18시 전자과 NEMS Base system 3월 정액 사용 건 포항공과대학교 전자전기공학과 이준영 400,000원
109 2017-04-10 17시 18시 PR Remove (주)네오나노텍 연구개발 김성훈 120,000원
110 2017-07-10 15시 16시 metal lift off 포항공과대학교 전자전기공학과 김강민 17,000원
111 2017-07-20 14시 15시 이전진행 내역 : BOE
진행할 공정 : PR Strip

* Furnace(DF04) 장비 점검 Test 시료
테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
112 2017-08-02 19시 20시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
113 2017-08-08 20시 21시 없음
포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
114 2017-08-29 20시 21시 Aceton (주)엔디디 기술연구 최은아 900,000원
115 2017-08-31 1시 10시 전자과 이정수랩 NEMS Base System 8월 정액 사용건 포항공과대학교 전자전기공학과 이준영 400,000원
116 2017-09-06 10시 13시 MEMS 기술사업화 계약_Photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 1,500,000원
117 2017-11-14 10시 13시 저저항 Superjunction 파워 MOSFET 개발 및 상용화 [4.0015349.01]_Photo 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 600,000원
118 2018-03-19 12시 13시 SiC wafer 조각(1.5 x 1.5 cm) 9EA SPM 과 BOE 공정 한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 18,000원
119 2018-03-22 20시 21시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 17,000원
120 2018-04-04 14시 15시 현상 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 210,000원
121 2018-04-05 16시 17시 현상 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 210,000원
122 2018-04-25 14시 15시 현상 (주)엔디디 기술연구 최은아 750,000원
123 2018-04-25 20시 21시 liftoff (주)엔디디 기술연구 최은아 750,000원
124 2018-04-26 12시 14시 Wet Station 사용 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 40,000원
125 2018-05-18 10시 12시 PD020065E0
Wet station 사용입니다.
powertechnix powertechnix 파워테크닉스 40,000원
126 2018-05-29 15시 16시 비욘드 아이즈 (바우처) 비욘드아이즈 부설연구소 비욘드아이즈 240,000원
127 2018-05-29 20시 21시 비욘드 아이즈(바우처) 비욘드아이즈 부설연구소 비욘드아이즈 150,000원
128 2018-06-28 14시 15시 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 1,200,000원
129 2018-06-28 20시 21시 Lift off (주)엔디디 기술연구 최은아 1,230,000원
130 2018-07-11 14시 15시 Develop (주)아이브이웍스 측정분석팀 박세린 900,000원
131 2018-07-11 20시 21시 Lift off (주)아이브이웍스 측정분석팀 박세린 330,000원
132 2018-07-24 17시 18시 Lift off 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 200,000원
133 2018-08-20 14시 15시 Develop (주)아이브이웍스 측정분석팀 박세린 300,000원
134 2018-08-22 14시 15시 Develop (주)엔디디 기술연구 최은아 900,000원
135 2018-08-22 20시 21시 Lift-Off (주)엔디디 기술연구 최은아 420,000원
136 2018-09-19 12시 13시 PR : POSI PR XXXRPM, Sec. (주)엔디디 기술연구 최은아 1,350,000원
137 2018-09-19 14시 15시 Developer : 300MIF, Piddle time : X분, Hard Baking : X (주)엔디디 기술연구 최은아 1,350,000원
138 2018-09-19 20시 21시 Ultra Sonic + Acetone, 10min (주)엔디디 기술연구 최은아 450,000원
139 2018-10-26 11시 12시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 박혁 0원
140 2018-11-23 10시 11시 웨이퍼 조달 포항공과대학교 신소재공학과 서승영 90,000원
141 2019-01-07 17시 18시 Gas Sensor 표면 가공 샘플 제작[4.0016655.01] : Develop 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 200,000원
142 2019-01-09 16시 18시 Gas Sensor 표면 가공 샘플 제작[4.0016655.01] : Develop 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 200,000원
143 2019-01-14 14시 15시 Gas Sensor 표면 가공 샘플 제작[4.0016655.01] : Develop 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 200,000원
144 2019-01-23 10시 11시 PR develop 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 15,000원
145 2019-04-11 14시 15시 Develop 에이프로 반도체사업부 남대호 400,000원
146 2019-04-12 10시 11시 아세톤 Lift off 에이프로 반도체사업부 남대호 400,000원
147 2019-04-17 14시 15시 image reversal patterning
최소 5 um 사이즈
포항공과대학교 신소재공학과 서승영 72,000원
148 2019-04-25 14시 15시 Develop 에이프로 반도체사업부 남대호 360,000원
149 2019-04-26 10시 11시 Lift off 에이프로 반도체사업부 남대호 120,000원
150 2019-04-29 11시 12시 Develop 에이프로 반도체사업부 남대호 760,000원
151 2019-04-29 14시 15시 Lift off 에이프로 반도체사업부 남대호 640,000원
152 2019-04-30 22시 23시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
153 2019-05-03 14시 15시 Develop 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 600,000원
154 2019-05-03 17시 18시 Lift off 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 1,160,000원
155 2019-05-20 13시 14시 SNW Develop 나노융합기술원 대외협력팀 강민식 0원
156 2019-06-07 21시 22시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
157 2019-06-26 12시 13시 Develop 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 600,000원
158 2019-06-26 14시 15시 Lift off 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 600,000원
159 2019-08-01 11시 12시 1차_Develop 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 320,000원
160 2019-08-06 11시 12시 4차_Develop 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 40,000원
161 2019-08-27 15시 16시 없습니다. 포항공과대학교 초소형기계기술연구소 최준영 27,000원
162 2019-09-04 14시 15시 Photo lithography를 위한 PR coating 을 위함입니다. 자가공정 진행 예정이며, 사용자는 박동규 (010-6345-7577) 입니다.
az5214e or GXR601을 사용예정입니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 30,000원
163 2019-09-06 10시 16시 KMPR-1025 Photo-lithography (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 680,000원
164 2019-09-23 10시 16시 KMPR-1025 Develop (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 180,000원
165 2019-09-24 11시 15시 KMPR-1025 developing (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 120,000원
166 2019-09-24 16시 17시 없습니다. 포항공과대학교 초소형기계기술연구소 최준영 27,000원
167 2019-09-25 14시 15시 없습니다. 포항공과대학교 초소형기계기술연구소 최준영 27,000원
168 2019-10-01 14시 17시 패턴 높이 40~60um 사이로 포토리소그래피 공정 부탁드립니다. 포항공과대학교 기계공학과 이건도 46,000원
169 2019-10-01 17시 18시 PR develop (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
170 2019-10-10 14시 15시 KOH wet etching 진행 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
171 2019-10-28 14시 15시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 27,000원
172 2019-10-30 11시 17시 mask aligner 이용시 사용 포항공과대학교 기계공학과 고병수 108,000원
173 2019-10-30 17시 18시 NPTM 표준 공정 확장을 위한 요소공정 개발(4.0018208.01)
- Metal Lift Off
포항공과대학교 대외협력팀 김인철 68,000원
174 2019-11-26 17시 18시 DEVELOP (주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 320,000원
175 2019-12-09 15시 23시 1. Photo litho. 직접 공정 예정입니다.(박동규:010-6345-7577)
2. [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]으로 청구 부탁드립니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
176 2020-01-09 14시 17시 RTO 검증 시료 (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 0원
177 2020-01-09 17시 18시 TMAH 2.38 silicon etching 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 25,500원
178 2020-01-14 10시 14시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 사업

박일몽 연구원과 조율 완료
(주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
179 2020-01-21 16시 17시 Su8 2150 포항공과대학교 초소형기계기술연구소 최준영 27,000원
180 2020-01-22 17시 18시 su8 2150 포항공과대학교 초소형기계기술연구소 최준영 27,000원
181 2020-02-04 15시 16시 DA01 setup (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 0원
182 2020-02-05 16시 18시 RTO검증 (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 0원
183 2020-02-11 13시 18시 Photo litho. 직접 진행 예정입니다.
담당자 : 박동규 (010-6345-7577)

[나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]으로 청구 및 처리 부탁드립니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
184 2020-02-12 14시 17시 Photo litho. 직접 진행 예정입니다.
담당자 : 박동규 (010-6345-7577)

[나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]으로 청구 및 처리 부탁드립니다.
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
185 2020-02-20 15시 17시 RTO검증 (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 0원
186 2020-02-27 10시 11시 리프트오프 포항공과대학교 화학과 이연상 36,000원
187 2020-02-27 22시 23시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
188 2020-03-25 16시 17시 RTA검증_재현성 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
189 2020-03-26 11시 12시 Develop 10ea (주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 400,000원
190 2020-03-27 13시 14시 Develop 10매 (주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 400,000원
191 2020-03-31 11시 12시 Lift Off 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 40,000원
192 2020-03-31 14시 15시 Silicide 특성 평가_TLM test_rf (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
193 2020-03-31 16시 17시 lift off 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 80,000원
194 2020-03-31 9시 10시 Develop 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 80,000원
195 2020-04-01 14시 15시 DA01 RTP 검증 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
196 2020-04-02 11시 12시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 정지웅 27,000원
197 2020-04-13 21시 22시 없습니다. 포항공과대학교 기계공학과 이석용 27,000원
198 2020-04-16 14시 15시 TLM test_rf (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
199 2020-04-20 15시 16시 TLM test_rf (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
200 2020-05-06 9시 10시 Develop 포항공과대학교 기계공학과 이훈택 36,000원
201 2020-05-12 10시 11시 Develop 포항공과대학교 기계공학과 이훈택 36,000원
202 2020-05-12 17시 18시 SU8 2150 포항공과대학교 초소형기계기술연구소 최준영 27,000원
203 2020-06-01 14시 15시 TLM test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
204 2020-06-19 10시 12시 1장 신청해두었는데
공정 결과에 따라서 3장으로 변경 요청 예정입니다.

1단 나노에칭(유니스트에서 해결)
2단 마이크로 30um 에칭(포스텍 공정의뢰)
3단 마이크로 60um 에칭(포스텍 공정의뢰)
공정을 목표로 하고 있습니다.

신쳥은
오전 : 2단 마이크로 30um 에칭 PR 마스크(1번)
오후 : 2단 마이크로 30um 에칭 PR 마스크(1번)
오전 결과에 따라 추가 공정 필요한 경우
2단 마이크로 30um 에칭 PR 마스크 (2번)
3단 마이크로 60um 에칭 PR 마스크 ( 2번)
할 예정입니다.
울산과학기술원 기계공학과 주장현 120,000원
205 2020-06-19 13시 17시 1장 신청해두었는데
공정 결과에 따라서 3장으로 변경 요청 예정입니다.

1단 나노에칭(유니스트에서 해결)
2단 마이크로 30um 에칭(포스텍 공정의뢰)
3단 마이크로 60um 에칭(포스텍 공정의뢰)
공정을 목표로 하고 있습니다.

신쳥은
오전 : 2단 마이크로 30um 에칭 PR 마스크(1번)
오후 : 2단 마이크로 30um 에칭 PR 마스크(1번)
오전 결과에 따라 추가 공정 필요한 경우
2단 마이크로 30um 에칭 PR 마스크 (2번)
3단 마이크로 60um 에칭 PR 마스크 ( 2번)
할 예정입니다.
울산과학기술원 기계공학과 주장현 120,000원
206 2020-08-05 20시 21시 Oxide layer위에 PR 패터닝 (직접 사용) 포항공과대학교 기계공학과 이훈택 27,000원
207 2020-08-26 21시 22시 . 포항공과대학교 창의IT융합공학과 최민근 27,000원
208 2020-09-16 15시 16시 Si wafer PR Strip 포항공과대학교 기계공학과 이훈택 27,000원
209 2020-09-21 21시 22시 6인치 웨이퍼 PR develop 포항공과대학교 기계공학과 이훈택 27,000원
210 2020-09-25 22시 23시 직접 공정 포항공과대학교 기계공학과 양성진 54,000원
211 2020-10-14 21시 22시 N/A 포항공과대학교 기계공학과 이석용 27,000원
212 2020-10-15 16시 17시 산화막 위 포토 공정 포항공과대학교 기계공학과 김웅지 27,000원
213 2020-10-16 17시 18시 Lift-Off 포항공과대학교 기계공학과 김웅지 27,000원
214 2020-10-23 21시 22시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
215 2020-10-30 13시 14시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
216 2020-11-09 13시 17시 az9260을 이용한 Photo litho. 를
담당자(박동규:010-6345-7577)가 직접 공정 진행예정입니다.

[나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]
(주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 90,000원
217 2020-11-11 13시 14시 0-2-1 Initial Cleaning Acetone+Sonic 충남대학교 전자공학과 송형섭 40,000원
218 2020-11-16 10시 11시 1-2-2 PR Strip Acetone+Sonic / IPA / DI Rinse 충남대학교 전자공학과 송형섭 50,000원
219 2020-11-16 13시 14시 1-2-2 PR Strip 추가 Cleaning
Acetone+Sonic / IPA / DI Rinse
충남대학교 전자공학과 송형섭 50,000원
220 2020-12-11 10시 11시 3-3-2 Pass PR Strip (Acetone) (주) 이너센서 이너센서 강문식 180,000원
221 2021-01-05 16시 17시 PR Develop 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 27,000원
222 2021-01-08 16시 17시 세정 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
223 2021-01-11 20시 21시 세정 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
224 2021-01-12 17시 18시 세정 포항공과대학교 창의IT융합공학과 최민근 27,000원
225 2021-01-21 22시 23시 . 포항공과대학교 기계공학과 박수청 27,000원
226 2021-02-02 16시 18시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 황정현 54,000원
227 2021-02-09 10시 12시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 황정현 54,000원
228 2021-02-23 10시 12시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 황정현 54,000원
229 2021-02-26 16시 17시 mask alighner와 연계해서 사용할 예정입니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤철현 27,000원
230 2021-02-26 17시 18시 2-3-3 POE PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 180,000원
231 2021-03-06 20시 21시 현상 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
232 2021-03-22 16시 17시 TLM test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 54,000원
233 2021-03-30 20시 21시 Photolithography patterning 신청자가 직접 수행 한국생산기술연구원 첨단메카트로닉스연구그룹 노은식 27,000원
234 2021-05-18 17시 18시 9-4-6 Cont PR Remove 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 128,000원
235 2021-05-20 10시 11시 0-1-2 Pre cleaning 포항공과대학교 신소재공학과 이동욱 72,000원
236 2021-05-21 9시 10시 5-1-4 BE PR Remove 전북대학교 전자공학부 김기현 80,000원
237 2021-05-25 14시 15시 없음 주식회사 동우글로발 NANO 사업부 김재훈 27,000원
238 2021-05-27 14시 15시 없음 주식회사 동우글로발 NANO 사업부 김재훈 27,000원
239 2021-06-02 14시 15시 9-5-3 PR Remove 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 128,000원
240 2021-06-03 14시 15시 2-3-3 POE PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 180,000원
241 2021-06-10 18시 19시 없음 주식회사 동우글로발 NANO 사업부 김재훈 27,000원
242 2021-06-15 14시 17시 Cu etchant 사용 및 wafer cleaning 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 권민규 27,000원
243 2021-06-16 15시 16시 피라냐(SPM) cleaning이후, 다른 후드에서 이소프로필 알콜과 이세톤 및 질소건으로 마무리 세척할 예정입니다. 포항공과대학교 대학원 QCQN 홍정수 27,000원
244 2021-06-28 9시 10시 3-2-1 ISO-2 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 30,000원
245 2021-06-29 16시 17시 2-3-4 POE PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 90,000원
246 2021-07-06 10시 11시 3-4-2 UBM Back Metal Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 90,000원
247 2021-07-08 21시 22시 clean 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
248 2021-07-15 15시 16시 세정 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
249 2021-07-28 22시 24시 TMAH 25% 식각테스 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 25,500원
250 2021-08-05 15시 16시 ipa, 아세톤 사용 포항공과대학교 전자전기공학과 이원찬 36,000원
251 2021-08-20 15시 16시 4-2-2 ISO-1 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 90,000원
252 2021-08-23 15시 16시 0-1-2 Pre cleaning 충남대학교 전자공학과 송형섭 80,000원
253 2021-08-25 10시 11시 4-2-3 ISO-2 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 60,000원
254 2021-08-25 15시 16시 4-2-3 ISO-2 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 90,000원
255 2021-08-26 17시 18시 아세톤, IPA 사용 포항공과대학교 전자전기공학과 이원찬 27,000원
256 2021-08-30 21시 22시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
257 2021-08-30 9시 10시 1-3-1 1st PR Remove 나노콘 연구소 주종호 280,000원
258 2021-08-31 13시 14시 3-2-2 M4 Metal Etch 충남대학교 전자공학과 송형섭 80,000원
259 2021-09-03 10시 11시 1-2-1 F_Via PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 60,000원
260 2021-09-06 16시 17시 2-3-4 F_POE PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 60,000원
261 2021-09-15 17시 18시 아세톤, IPA 사용 클리닝 포항공과대학교 전자전기공학과 이원찬 108,000원
262 2021-09-16 14시 15시 3-2-1 ISO-2 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 60,000원
263 2021-09-24 16시 17시 3-2-2 ISO-3 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 90,000원
264 2021-10-05 10시 11시 직접사용 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 황현준 27,000원
265 2021-10-17 21시 22시 Cleaning 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
266 2021-10-25 17시 18시 없음 포항공과대학교 기계공학과 이건도 27,000원
267 2021-11-08 17시 18시 4-2-2 ISO-1 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 90,000원
268 2021-11-10 14시 15시 4-2-3 ISO-2 PR Remove
삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 90,000원
269 2021-11-11 11시 12시 6 inch SiC wafer, cleaning 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 27,000원
270 2021-11-24 15시 16시 6 inch SiC wafer, spin dry 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 27,000원
271 2021-12-01 17시 18시 6인치 SiC wafer, metal cleaning 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 27,000원
272 2021-12-08 15시 16시 8-2-4 Gate PR Remove (Acetone) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 128,000원
273 2021-12-08 17시 18시 세정 포항공과대학교 전기전자공학부 김소영 27,000원
274 2021-12-09 16시 17시 PR현상 한국전자통신연구원 ICT 창의연구소 소재부품원천연구본부 나노전자원소자연구실 김용한 120,000원
275 2021-12-14 10시 11시 4-2-2 Iso-1 PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 90,000원
276 2021-12-14 13시 14시 SD21Y10M-LEG

mems wet station manual 1매 진행
주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 30,000원
277 2021-12-16 13시 14시 2-3-4 SiO2 PR Remove 삼성전자 Display Innovation Lab. 이근식 120,000원
278 2021-12-16 14시 15시 4-2-3 Iso-2 GaN Etch PR Remove 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 90,000원
279 2021-12-21 15시 16시 2-3-3 Passi PR Remove 주식회사 엔포마레 사업총괄 성재석 80,000원
280 2021-12-23 11시 12시 6인치 SiC 웨이퍼, metalic cleaning 완료 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 27,000원
281 2021-12-28 16시 17시 경화플라스틱 보관용기는 IPA와 DI water로 세척을 하고,

알루미나와 stainless steal은 IPA와 아세톤 그리고 DI water
포항공과대학교 대학원 QCQN 홍정수 297,000원
282 2021-12-28 17시 18시 metalic cleaning(과산화수소수) 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 27,000원
283 2021-12-29 15시 16시 아세톤, IPA 사용 포항공과대학교 전자전기공학과 이원찬 27,000원
284 2022-01-07 9시 10시 3-3-4 PR Remove 삼성전자 Display Innovation Lab. 이근식 120,000원
285 2022-01-19 16시 17시 Ni etchant 사용 후 spin dry 진행 충남대학교 재료공학과 황규환 27,000원
286 2022-01-20 9시 11시 1매(Spin dryer) 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 54,000원
287 2022-01-25 17시 18시 6인치 SiC wafer, Ni etchant 진행 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 27,000원
288 2022-01-27 17시 18시 6인치 SiC wafer, Ni etchant 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 27,000원
289 2022-02-08 16시 17시 아세톤 ipa cleaning 포항공과대학교 전자전기공학과 이원찬 27,000원
290 2022-03-02 15시 16시 Develop, Developer: 300MIF 조선대학교 신소재공학과 박진성 100,000원
291 2022-03-10 13시 14시 6인치 SiC, YPT 전용 chemical(질산 수용액) 처리 후 metal spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 27,000원
292 2022-04-01 9시 10시 Organic Cleaning 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 300,000원
293 2022-04-05 2시 3시 22년 1분기 TLM 조각 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 27,000원
294 2022-05-24 16시 17시 알루미나 시편 아세톤 + IPA 세정 포항공과대학교 대학원 QCQN 홍정수 27,000원
295 2022-05-25 20시 21시 6인치 10매 직접 사용 (Spin dryer) (주)예스파워테크닉스 제조팀 이예찬 27,000원
296 2022-05-31 10시 11시 5-3-2 Hard Mask Cr Wet Etch (나노융합기반고도화) (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 340,000원
297 2022-06-02 10시 12시 4inch GaAs wafer Organic Cleaning 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 600,000원
298 2022-06-02 14시 15시 22년 2분기 Silicide 접촉저항 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 27,000원
299 2022-06-13 15시 16시 LOT ID: UE3700
목적: Initial Cleaning
총 1회
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
300 2022-06-13 17시 18시 LOT ID: UE3700
목적: Cleaning
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
301 2022-06-14 10시 11시 LOT ID: UE3700
목적: Initial Cleaning
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
302 2022-06-14 12시 13시 LOT ID: UE3700
목적: Cleaning
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
303 2022-06-14 15시 16시 LOT ID: UE3700
목적: Cleaning
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
304 2022-06-14 16시 17시 LOT ID: UE3700
목적: Metal lift off
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
305 2022-06-15 10시 11시 LOT ID: UE3700
목적: Cleaning
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
306 2022-06-15 13시 14시 LOT ID: UE3700
목적: Metal lift off
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
307 2022-06-15 14시 15시 LOT ID: UE3700
목적: Cleaning
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
308 2022-06-15 17시 18시 LOT ID: UE3700
목적: Cleaning
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
309 2022-06-16 11시 12시 LOT ID: UE3700
목적: Cleaning
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 40,000원
310 2022-06-17 14시 15시 Spin Dryer 1회 사용 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 27,000원
311 2022-06-24 13시 15시 Gate Stack Etch 평가 : Polymer Remove 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 황현준 236,000원
312 2022-06-28 14시 16시 Au Wet Etching 후 PR Remove 포항공과대학교 Material Science and Engineering Arka Chatterjee 36,000원
313 2022-08-05 10시 12시 세정 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 51,000원
314 2022-08-10 14시 16시 세정 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 51,000원
315 2022-08-16 14시 17시 Acetone, IPA, D.I wafer, TMAH
beaker 6개
2\" wafer zig 2개
ultrasonic
woven wafer
n2/air blow
요청드립니다.
영남대학교 전자공학과 손보성 90,000원
316 2022-08-17 16시 18시 . 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김민재 51,000원
317 2022-08-29 14시 15시 세정 영남대학교 전자공학과 손보성 30,000원
318 2022-10-12 9시 10시 0-1-1 Pre cleaning 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 136,000원
319 2022-10-14 15시 17시 TMAH 2.38% 포항공과대학교 물리학과 김준엽 54,000원
320 2022-11-08 10시 11시 MEMS Room Spin Dryer 1매 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 27,000원
321 2022-11-28 14시 16시 2022년 나노융합 고도화사업
5-3-2 Hard Mask Cr Wet Etch
(주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 160,000원
322 2022-12-02 11시 12시 Spin Dryer 1회 사용 하겠습니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 27,000원
323 2022-12-02 16시 18시 세정 포항공과대학교 물리학과 김준엽 27,000원
324 2022-12-05 9시 10시 Spin Dryer 2회 사용하겠습니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 54,000원
325 2022-12-06 14시 15시 Spin dryer 1회 진행 하겠습니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 27,000원
326 2022-12-06 8시 9시 스핀 드라이어 2회 사용 하겠습니니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 54,000원
327 2022-12-07 10시 11시 spin dryer 2회 진행 입니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 54,000원
328 2022-12-07 14시 15시 Spin dryer 1회 진행입니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 27,000원
329 2023-02-21 18시 19시 . 포항공과대학교 기계공학과 정수빈 27,000원
330 2023-02-22 13시 14시 10-6-1 Ni wet etch
N-퍼실리티 우선사용
포항공과대학교 선행기술팀 박범성 80,000원
331 2023-03-03 13시 14시 0-1-2 Pre cleaning 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 135,000원
332 2023-03-03 13시 14시 1-6-2 PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
333 2023-03-06 10시 11시 1-1-3 PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
334 2023-03-07 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
335 2023-03-07 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
336 2023-03-07 15시 16시 W/S_Organic 삼성전자 생산기술연구소 구자명 150,000원
337 2023-03-09 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
338 2023-03-09 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
339 2023-03-09 16시 17시 12-3-3 PR Remove 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
340 2023-03-13 09시 10시 Organic Cleaning
(TP7000, 15min)
삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 120,000원
341 2023-03-15 15시 16시 1-2-2 Mesa PR Remove (TP7000) 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 135,000원
342 2023-03-16 09시 10시 Organic Cleaning
(TP7000, 15sec)
삼성디스플레이 uLED Lab 이원호 120,000원
343 2023-03-20 15시 16시 2-3-3 PR strip
2022년 나노융합기반 고도화사업
(주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 0원
344 2023-03-22 15시 16시 TP7000 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 135,000원
345 2023-03-23 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
346 2023-03-23 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
347 2023-03-23 14시 15시 3-3-4 PR Strip
22년 나노고도화사업
(주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 0원
348 2023-03-24 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
349 2023-03-25 21시 22시 최선호/010-5102-9680 포항공과대학교 기계공학과 박수청 27,000원
350 2023-03-27 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
351 2023-03-27 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
352 2023-03-28 16시 17시 12-3-3 PR Remove 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
353 2023-03-28 22시 23시 최선호/010-5102-9680 포항공과대학교 기계공학과 박수청 27,000원
354 2023-03-30 11시 12시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
355 2023-03-30 13시 14시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
356 2023-03-30 14시 15시 4-3-3 PR Strip
2022년 나노융합기반 고도화사업
(주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 0원
357 2023-03-30 17시 18시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 233,500원
358 2023-03-30 17시 18시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 6,500원
359 2023-03-30 20시 21시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
360 2023-03-31 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
361 2023-03-31 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
362 2023-04-03 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
363 2023-04-03 15시 16시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
364 2023-04-04 11시 12시 1-2-2 GaN Etch Di Cleaning + Spin Dry LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 40,000원
365 2023-04-04 11시 12시 1-1-4 SiO2 Di Cleaning + Spin Dry LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 40,000원
366 2023-04-05 11시 12시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
367 2023-04-06 16시 17시 5-3-4 PR Strip
2022년 나노융합기반 고도화사업
(주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 150,000원
368 2023-04-10 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
369 2023-04-10 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
370 2023-04-10 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
371 2023-04-11 10시 11시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
372 2023-04-11 11시 12시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
373 2023-04-11 9시 10시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
374 2023-04-12 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
375 2023-04-12 11시 12시 TP7000 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 135,000원
376 2023-04-13 10시 11시 1-2-3 PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
377 2023-04-17 11시 12시 2-2-3 PR Remove 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 120,000원
378 2023-04-19 10시 11시 1-2-3 PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 300,000원
379 2023-04-19 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
380 2023-04-19 19시 21시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
381 2023-04-19 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
382 2023-04-20 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
383 2023-04-20 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
384 2023-04-20 9시 10시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
385 2023-04-21 10시 11시 1-3-2 DI Cleaning LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 40,000원
386 2023-04-24 10시 11시 1-3-2 DI Cleaning LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 40,000원
387 2023-04-24 9시 10시 아세톤 PR Remove 포항공과대학교 전자전기공학과 조성민 36,000원
388 2023-05-04 10시 11시 PR Remove 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 36,000원
389 2023-05-24 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
390 2023-05-24 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
391 2023-05-25 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
392 2023-05-25 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
393 2023-05-30 13시 14시 TP7000 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 135,000원
394 2023-05-30 14시 15시 Metal Cleaning 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 90,000원
395 2023-05-30 9시 10시 1-1-2 PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
396 2023-05-31 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
397 2023-05-31 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
398 2023-06-02 10시 11시 1-1-2 PR Remove (TP7000) LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
399 2023-06-08 17시 18시 2-3-3 Metal PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
400 2023-06-09 10시 11시 13-3-2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
401 2023-06-09 11시 12시 13-3-5 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
402 2023-06-12 10시 11시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
403 2023-06-12 11시 12시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 240,000원
404 2023-06-13 14시 15시 TiN Dry Etch PR Remove 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 135,000원
405 2023-06-14 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 120,000원
406 2023-06-16 13시 15시 2-3-3 Metal PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 300,000원
407 2023-06-21 11시 12시 1-3-3 TP7000 포항공과대학교 대학원 전자전기공학부 이찬빈 120,000원
408 2023-06-21 13시 14시 1-3-3 TP7000 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 120,000원
409 2023-06-21 14시 15시 1-3-3 TP7000 포항공과대학교 대학원 전자전기공학부 이찬빈 120,000원
410 2023-06-22 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 120,000원
411 2023-06-23 10시 11시 2-3-3 TP7000 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 120,000원
412 2023-07-04 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove (FC60) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
413 2023-07-04 15시 16시 4-3-5 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
414 2023-07-05 9시 10시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
415 2023-07-06 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
416 2023-07-06 15시 16시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
417 2023-07-07 14시 17시 최선호/010-5102-9680 포항공과대학교 기계공학과 박수청 81,000원
418 2023-07-07 17시 18시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
419 2023-07-11 11시 12시 2-3-3 Metal PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 300,000원
420 2023-07-11 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
421 2023-07-11 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
422 2023-07-12 15시 16시 4-3-3 TP7000 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 120,000원
423 2023-07-12 17시 18시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
424 2023-07-17 16시 17시 1-3-1 PR Strip 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 160,000원
425 2023-07-17 9시 10시 W/S_Organic 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
426 2023-07-18 13시 16시 최선호/010-5102-9680 포항공과대학교 기계공학과 박수청 81,000원
427 2023-07-20 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
428 2023-07-20 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
429 2023-07-21 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
430 2023-07-21 14시 15시 TP7000 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김준 120,000원
431 2023-07-21 14시 15시 G/S PR Remove 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 120,000원
432 2023-07-24 20시 22시 2-3-3 Metal PR remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
433 2023-07-28 14시 15시 4-3-5 TP7000 코닝정밀소재주식회사 연구소 석성호 150,000원
434 2023-07-28 15시 16시 5-3-1 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
435 2023-07-28 16시 17시 5-3-3 MC PR Remove (Tp7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
436 2023-08-01 16시 17시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
437 2023-08-01 17시 18시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
438 2023-08-02 16시 17시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
439 2023-08-02 17시 18시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
440 2023-08-02 9시 10시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
441 2023-08-03 10시 11시 1-1-2 PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
442 2023-08-03 14시 15시 tp7000 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 600,000원
443 2023-08-03 9시 10시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
444 2023-08-07 16시 17시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
445 2023-08-07 17시 18시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
446 2023-08-08 16시 17시 W/S_Organic 삼성디스플레이 Micro LED Lab. (Micro Display 팀) 정준석 120,000원
447 2023-08-09 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
448 2023-08-09 13시 14시 1-3-3 PR Remove (TP7000) LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
449 2023-08-09 17시 19시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
450 2023-08-09 20시 22시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
451 2023-08-10 10시 11시 6-3-4 M0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
452 2023-08-10 14시 15시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
453 2023-08-11 9시 10시 2-2-3 PR Remove (TP7000) LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
454 2023-08-14 16시 17시 tp7000 삼성디스플레이 Micro LED Lab. (Micro Display 팀) 정준석 360,000원
455 2023-08-17 10시 11시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
456 2023-08-17 11시 12시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
457 2023-08-18 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
458 2023-08-18 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
459 2023-08-21 20시 21시 7-3-2 V0 PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
460 2023-08-22 15시 20시 - PR 현상 중앙대학교 에너지시스템공학부 김동억 150,000원
461 2023-08-22 20시 21시 7-3-5 V0 PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
462 2023-08-23 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
463 2023-08-23 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
464 2023-08-24 13시 14시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
465 2023-08-24 14시 15시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
466 2023-08-28 10시 11시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
467 2023-08-28 13시 14시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
468 2023-08-28 9시 10시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
469 2023-08-30 16시 17시 8-3-2 M1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
470 2023-08-30 17시 18시 8-4-2 M1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
471 2023-09-08 10시 11시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
472 2023-09-08 16시 17시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
473 2023-09-08 17시 18시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
474 2023-09-08 9시 10시 5-3-1 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
475 2023-09-11 10시 11시 1-1-1 Organic cleaning 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 120,000원
476 2023-09-11 11시 12시 4-1-2 Gate PR Remove (TP7000) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 135,000원
477 2023-09-11 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
478 2023-09-12 15시 16시 1-2-3 Metal PR Remove 선행 1매 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
479 2023-09-12 20시 21시 1-2-3 Metal PR Remove 선행 1매 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
480 2023-09-12 21시 22시 2-3-2 Metal PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
481 2023-09-15 13시 14시 SDC_C02 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 960,000원
482 2023-09-20 16시 17시 4-3-4 PR Remove (TP7000) 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 240,000원
483 2023-09-21 19시 21시 7-3-2V0 PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
484 2023-09-22 15시 16시 7-3-5 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
485 2023-09-22 16시 17시 3-1-2 PR Remove (TP7000) 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 240,000원
486 2023-09-26 15시 16시 8-3-2 M1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
487 2023-09-26 16시 17시 8-3-4 M1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
488 2023-09-27 14시 15시 1-3-3 ESTOP PR Remove 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 120,000원
489 2023-10-05 16시 17시 12-3-4 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
490 2023-10-05 17시 18시 1-0-1 pre cleaning 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 120,000원
491 2023-10-06 10시 11시 12-3-4 V1 PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
492 2023-10-12 11시 12시 3-1-2 Hard Mask PR Remove 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 240,000원
493 2023-10-12 14시 15시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
494 2023-10-12 15시 16시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
495 2023-10-12 19시 20시 7-2-4 Common ITO PR Remove 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 120,000원
496 2023-10-13 18시 19시 8-2-4 PR Remove 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 120,000원
497 2023-10-17 13시 14시 1-3-2 PR remove (TP7000) LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
498 2023-10-17 14시 15시 1-2-3 PR remove (TP7000) LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
499 2023-10-18 11시 12시 7-2-4 PR Remove (TP7000) 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 240,000원
500 2023-10-19 16시 17시 8-2-3 PR strip (TP7000) 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 120,000원
501 2023-10-19 17시 18시 3-2-3 Acetone cleaning
2023 나노융합기반고도화 사업
(주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 150,000원
502 2023-10-24 14시 15시 4-3-2 PC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
503 2023-10-24 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
504 2023-10-25 11시 12시 3-1-2 Hard Mask PR Strip 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
505 2023-10-25 13시 14시 3-1-2 Hard Mask PR Remove 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
506 2023-10-25 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
507 2023-10-25 15시 17시 4-3-5 Etch Stop Etch 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
508 2023-10-25 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
509 2023-10-25 16시 17시 4-3-5 Etch Stop Etch 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
510 2023-10-25 16시 17시 4-3-4 Etch Stop PR Strip 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
511 2023-10-25 17시 18시 2-6-2 RCSS PR Remove (TP7000)
2023년 나노융합고도화사업
주식회사 에이프로세미콘 기술연구소 조영우 150,000원
512 2023-10-25 17시 18시 5-2-3 ALD Open Etch PR strip 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
513 2023-10-25 17시 18시 5-3-3 ALD open PR Remove 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
514 2023-10-25 9시 11시 3-1-3 Mesa H/M Etch 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
515 2023-10-26 11시 12시 Solvent strip 한국전자통신연구원 ICT창의연구소 유성욱 150,000원
516 2023-10-26 13시 14시 5-2-3 ALD Open Etch 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
517 2023-10-27 16시 17시 13-3-2 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
518 2023-10-27 17시 18시 13-3-5 M2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
519 2023-11-01 13시 14시 2-6-2 RCSS PR Remove (TP7000)
2023년 나노융합고도화사업
주식회사 에이프로세미콘 기술연구소 조영우 150,000원
520 2023-11-01 14시 15시 7-2-4 common ITO 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 240,000원
521 2023-11-01 16시 17시 6-3-3 RCSS PR Reomve 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 135,000원
522 2023-11-01 20시 21시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000)
10/26일 진행 건
삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
523 2023-11-01 21시 22시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000)
M448 10/26일 진행 건
삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
524 2023-11-02 13시 14시 1-3-3 SiO2 Etch LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
525 2023-11-03 10시 11시 1-3-2 Mesa 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 270,000원
526 2023-11-06 10시 11시 3-4-2 Metal etch 주식회사 에이프로세미콘 기술연구소 조영우 150,000원
527 2023-11-06 13시 14시 3-4-4 Metal etch 주식회사 에이프로세미콘 기술연구소 조영우 150,000원
528 2023-11-06 13시 14시 0-0-1 acetone+IPA 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 288,000원
529 2023-11-06 14시 15시 8-2-3 S_D PR remove 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 135,000원
530 2023-11-06 16시 17시 11-2-4 Gate cont 삼성전자 DS 김태훈 0원
531 2023-11-06 17시 18시 11-2-4 Gate cont 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
532 2023-11-07 13시 14시 13-3-2 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
533 2023-11-07 14시 15시 13-3-4 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
534 2023-11-13 13시 14시 13-3-2 Key open (PR Remove) 삼성전자 DS 김태훈 0원
535 2023-11-13 14시 15시 13-3-2 Key open (PR Remove) 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
536 2023-11-15 11시 12시 10-4-5 PR Remove 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
537 2023-11-15 15시 16시 1-3-3 PR Remove LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
538 2023-11-20 10시 11시 13-2-9 power metal PR remove 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
539 2023-11-20 10시 11시 13-3-2 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
540 2023-11-20 11시 12시 13-3-5 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
541 2023-11-20 16시 17시 13-2-9 power metal PR remove 삼성전자 DS 김태훈 0원
542 2023-11-22 13시 14시 13-3-5 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
543 2023-11-22 13시 14시 13-3-2 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
544 2023-11-23 10시 11시 11-2-4 Gate cont 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
545 2023-11-23 10시 11시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
546 2023-11-23 14시 15시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
547 2023-11-24 15시 16시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
548 2023-11-28 13시 14시 13-2-3 power metal 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
549 2023-11-28 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
550 2023-11-28 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
551 2023-11-29 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
552 2023-11-29 16시 17시 9.0 PR remove 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 240,000원
553 2023-11-30 11시 12시 power metal PR remove 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
554 2023-11-30 13시 14시 13-3-2 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
555 2023-11-30 14시 15시 13-3-5 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
556 2023-11-30 15시 16시 4-3-8 power metal 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 120,000원
557 2023-11-30 17시 18시 power metal PR remove 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 135,000원
558 2023-12-01 11시 12시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
559 2023-12-01 13시 14시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
560 2023-12-04 16시 17시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
561 2023-12-05 13시 14시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
562 2023-12-05 14시 15시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
563 2023-12-06 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
564 2023-12-14 13시 14시 4-3-3 Metal etch 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
565 2023-12-14 9시 10시 13-2-3 power metal 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 120,000원
566 2023-12-19 10시 11시 0-1-3 TP7000 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
567 2023-12-20 9시 18시 \\\'2023년 나노융합기반 고도화 사업\\\' (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 3,000,000원
568 2023-12-21 13시 14시 2-2-3 metal etch LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 300,000원
569 2023-12-22 11시 12시 1-3-1 AKEY 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 360,000원
570 2023-12-22 15시 16시 1-3-3 AKEY 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 360,000원
571 2023-12-29 14시 15시 1-8 MO etch (주)엔디디 연구소 최영환 0원
572 2024-01-02 14시 15시 2-3-1 RX PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
573 2024-01-02 15시 16시 2-3-3 RX PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
574 2024-01-04 15시 16시 wf05 TP7000 삼성전자 DS 김태훈 0원
575 2024-01-05 14시 16시 5-3-2 MC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 360,000원
576 2024-01-05 9시 10시 TP7000 삼성전자 DS 김태훈 0원
577 2024-01-08 13시 14시 5-3-3 MC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
578 2024-01-10 16시 17시 3-4-2 PR Remove (TP7000) LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
579 2024-01-17 13시 14시 4-3-2 PG (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
580 2024-01-18 15시 16시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000)
2023년 나노융합기반 고도화사업
(주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
581 2024-01-18 16시 17시 7-3-2 V0 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
582 2024-01-19 10시 11시 7-3-5 V0 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 360,000원
583 2024-01-24 15시 16시 7-3-2 OC (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
584 2024-01-26 17시 18시 SOI웨이퍼 위에 LOR 10A과 YPP1700을 스핀코팅한 샘플을 develope 하려고 합니다. 포항공과대학교 물리학과 김준엽 27,000원
585 2024-01-29 10시 11시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
586 2024-01-29 11시 12시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
587 2024-01-29 14시 15시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 120,000원
588 2024-01-29 15시 16시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 120,000원
589 2024-01-29 16시 17시 LOR 10A , YPP 1700 더블레이어에 패터닝한 뒤 TMAH 를 이용하여 디벨롭하려고 합니다. 포항공과대학교 물리학과 김준엽 27,000원
590 2024-02-01 10시 11시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
591 2024-02-01 13시 14시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
592 2024-02-01 16시 17시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
593 2024-02-05 10시 11시 0-1-1 0 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 240,000원
594 2024-02-06 10시 11시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
595 2024-02-06 13시 14시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
596 2024-02-07 10시 11시 13-3-2 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
597 2024-02-07 13시 14시 13-3-5 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
598 2024-02-07 15시 16시 4-0-1 cleaning LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
599 2024-02-07 16시 17시 1-2-2 MESA 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
600 2024-02-08 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
601 2024-02-13 10시 11시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
602 2024-02-13 13시 14시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
603 2024-02-13 20시 22시 4-4-3 PC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
604 2024-02-13 9시 10시 2-1-2 Mesa 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 240,000원
605 2024-02-14 9시 10시 1-2-1 cleaning 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
606 2024-02-15 10시 11시 2-3-2 mesa 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 480,000원
607 2024-02-19 13시 14시 8-3-2 M1 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 360,000원
608 2024-02-19 15시 16시 8-4-2 M1 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 360,000원
609 2024-02-20 14시 15시 TP7000 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 135,000원
610 2024-02-21 13시 14시 12-3-4 V1 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
611 2024-02-21 16시 17시 8-3-2 OM Metal PR Remove (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
612 2024-02-22 14시 15시 6인치 SOI 웨이퍼에 증착된 PZT 박막 Lift off를 위한 Acetone 및 초음파 세척기를 사용하려고 합니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 27,000원
613 2024-02-27 12시 14시 PZT sputtering 후 Lift off를 위한 Acetone 및 초음파 클리너를 사용하려고 합니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 27,000원
614 2024-02-27 23시 24시 Pzt sputtering 후 lift off를 위한 acetone 시용 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 27,000원
615 2024-02-28 10시 11시 6-3-2 metal etch LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
616 2024-03-04 15시 16시 PR Remove 에스케이스페셜티(주) 연구개발실 이지훈 150,000원
617 2024-03-06 11시 12시 13-3-2 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
618 2024-03-06 14시 15시 TP7000 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 150,000원
619 2024-03-06 15시 16시 13-3-5 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
620 2024-03-13 15시 16시 4-3-2 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
621 2024-03-13 16시 17시 4-3-4 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
622 2024-03-14 10시 11시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
623 2024-03-14 11시 12시 2-1-2 mesa 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 255,000원
624 2024-03-14 16시 17시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
625 2024-03-15 11시 12시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
626 2024-03-15 15시 16시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
627 2024-03-20 14시 15시 2-1-2 mesa 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 127,500원
628 2024-03-22 16시 17시 2-5-3 GATE 포항공과대학교 신소재공학과 김성준 120,000원
629 2024-03-29 13시 14시 2-2-3 TP7000 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 120,000원
630 2024-04-08 10시 11시 1-3-1 AKEY 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
631 2024-04-08 18시 19시 1-3-3 AKEY 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
632 2024-04-11 11시 12시 1-3-3 PR strip (주)엔디디 연구소 최영환 100,000원
633 2024-04-11 14시 15시 2-3-3 ITZO_ etch (주)엔디디 연구소 최영환 100,000원
634 2024-04-11 15시 16시 3-3-2 SD_Etch (주)엔디디 연구소 최영환 100,000원
635 2024-04-11 15시 16시 4-4-2 Gate Depo (주)엔디디 연구소 최영환 100,000원
636 2024-04-12 14시 15시 4-1-2 TP7000 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
637 2024-04-15 16시 17시 4-2-4 Gate 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
638 2024-04-16 10시 11시 2-3-2 RX 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
639 2024-04-16 14시 15시 2-3-3 RX 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
640 2024-04-16 16시 17시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
641 2024-04-16 17시 18시 6-3-4 RCSS PR Remove 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
642 2024-04-16 20시 21시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
643 2024-04-17 10시 11시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
644 2024-04-17 14시 15시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
645 2024-04-17 19시 20시 4-3-4 PC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
646 2024-04-18 10시 11시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
647 2024-04-22 15시 16시 8-2-3 S_D 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
648 2024-04-22 17시 18시 3-2-4 M1 PR Strip 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
649 2024-04-24 16시 17시 14-1-9 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
650 2024-04-26 11시 12시 15-3-2 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
651 2024-04-26 13시 14시 15-3-3 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
652 2024-04-26 15시 16시 2-2-5 TP7000
2023년 나노융합기반 고도화사업
(주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 150,000원
653 2024-04-30 15시 16시 2-2-3 PR Remove
2023 나노융합기반 고도화사업
(주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 0원
654 2024-05-03 15시 16시 1-2-1 TP7000 1차 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
655 2024-05-03 16시 17시 1-2-3 TP7000 2차 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
656 2024-05-07 14시 15시 0-2-1 아세톤 IPA 세정 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 96,000원
657 2024-05-08 13시 14시 TP-7000 사용
- 4매
주식회사 보다 연구개발 김형원 83,000원
658 2024-05-13 11시 12시 13-1-9 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 300,000원
659 2024-05-13 11시 12시 13-1-9 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 300,000원
660 2024-05-17 10시 11시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
661 2024-05-17 15시 16시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
662 2024-05-20 10시 11시 4-4-3 PC PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
663 2024-05-20 13시 14시 2-3-2 PR Remove (TP7000) 마이크로어낼리시스(주) 마이크로어낼리시스 (주) 안재훈 150,000원
664 2024-05-20 16시 17시 17-3-4 Passivation 삼성전자 DS 김태훈 0원
665 2024-05-21 10시 11시 1-3-1 KEY 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
666 2024-05-21 9시 10시 2-3-2 FrontSide, Metal depo 포항공과대학교 전자전기공학과 류용우 120,000원
667 2024-05-24 15시 16시 PR Remove 나노콘 연구소 주종호 135,000원
668 2024-05-28 11시 12시 1-3-2 1st PR Remove 나노콘 연구소 주종호 135,000원
669 2024-05-28 15시 16시 2-3-2 ISO 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 240,000원
670 2024-05-31 16시 17시 12-2-4 Gate Cont 삼성전자 DS 김태훈 0원
671 2024-05-31 16시 17시 12-2-4 Gate Cont 삼성전자 DS 김태훈 0원
672 2024-05-31 20시 21시 3-3 tp7000 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
673 2024-06-03 14시 15시 3-4-3 PG 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
674 2024-06-03 17시 18시 14-1-9 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
675 2024-06-03 17시 18시 14-1-9 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
676 2024-06-04 21시 22시 15-3-3 Power Metal PR Strip 삼성전자 DS 김태훈 0원
677 2024-06-05 10시 11시 15-3-3 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
678 2024-06-10 20시 21시 11-2-4 Gate Cont 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
679 2024-06-11 14시 15시 12-3-2 KEY Open 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
680 2024-06-12 14시 15시 4-3-2 OC 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
681 2024-06-12 16시 17시 13-2-3 Power Metal 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
682 2024-06-14 16시 17시 5-3-2 OM 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
683 2024-06-17 17시 18시 13-2-3 Power Metal 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
684 2024-06-18 14시 15시 6-3-2 GFT 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
685 2024-06-21 9시 11시 2-3-4 TP7000
ICT 제품화 지원사업
마이크로어낼리시스(주) 마이크로어낼리시스 (주) 안재훈 150,000원
686 2024-06-27 10시 11시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
687 2024-06-27 15시 16시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
688 2024-06-27 17시 18시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
689 2024-06-27 9시 10시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
690 2024-06-28 10시 11시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
691 2024-06-28 13시 14시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
692 2024-06-28 13시 14시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
693 2024-06-28 13시 14시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
694 2024-06-28 15시 16시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
695 2024-06-28 20시 21시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
696 2024-06-28 20시 21시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
697 2024-07-01 11시 12시 5-1-3 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 450,000원
698 2024-07-01 16시 17시 15-1-1 photo 전 cln 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
699 2024-07-05 14시 15시 0-1-3 0 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
700 2024-07-10 19시 20시 1-3-1 AKEY PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
701 2024-07-11 9시 10시 1-3-3 AKEY 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
702 2024-07-15 15시 16시 13-3-3 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
703 2024-07-15 18시 19시 13-3-3 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
704 2024-07-15 19시 20시 13-3-4 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
705 2024-07-15 20시 21시 13-3-4 M2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
706 2024-07-18 11시 12시 14-3-2 V2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
707 2024-07-18 14시 15시 14-3-5 V2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
708 2024-07-19 14시 15시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
709 2024-07-19 16시 17시 4-3-2 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
710 2024-07-23 14시 15시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
711 2024-07-23 14시 15시 4-3-4 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
712 2024-07-24 10시 11시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
713 2024-07-24 14시 15시 2-3-1 RX 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
714 2024-07-24 18시 19시 2-3-3 RX 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
715 2024-07-24 9시 10시 4-4-3 PC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
716 2024-07-25 11시 12시 15-3-2 M3 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
717 2024-07-25 14시 15시 15-4-2 M3 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
718 2024-07-30 20시 21시 1-2-2 PR 제거 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 192,000원
719 2024-08-01 10시 11시 1-0-0 Acetone 5min 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 128,000원
720 2024-08-01 11시 12시 1-0-1 IPA 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 128,000원
721 2024-08-02 15시 16시 2-2-4 Metal Depo 포항공과대학교 물리학과 유민우 20,000원
722 2024-08-02 8시 9시 1-2-4 Metal Depo 포항공과대학교 물리학과 유민우 20,000원
723 2024-08-06 11시 12시 11-2-3 Gate Cont 삼성전자 DS 김태훈 80,000원
724 2024-08-07 11시 12시 13-1-9 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 150,000원
725 2024-08-07 9시 10시 12-2-3 Gate Cont 삼성전자 DS 김태훈 0원
726 2024-08-08 10시 11시 0-1-3 0 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
727 2024-08-08 14시 15시 14-1-9 삼성전자 DS 김태훈 0원
728 2024-08-09 15시 16시 15-3-3 Power Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
729 2024-08-12 10시 11시 1-3-1 AKEY 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
730 2024-08-12 14시 15시 1-3-3 AKEY 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
731 2024-08-12 15시 16시 0-0-1 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 96,000원
732 2024-08-12 20시 21시 5-3-1 MC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
733 2024-08-13 10시 11시 5-3-3 MC 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
734 2024-08-16 14시 15시 2-3-1 RX PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
735 2024-08-16 15시 16시 2-3-3 RX PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
736 2024-08-21 11시 12시 6-3-3 M0 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
737 2024-08-21 14시 15시 6-3-4 M0 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
738 2024-08-21 20시 21시 2-2-5 PR STRIP (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 150,000원
739 2024-08-23 15시 17시 5-3-2 MC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
740 2024-08-23 18시 20시 5-3-5 MC PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
741 2024-08-26 15시 17시 EGR2433
2-3-2 cleaning
(주)유우일렉트로닉스 (주)유우일렉트로닉스 박일몽 100,500원
742 2024-08-26 15시 16시 6-3-3 M0 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
743 2024-08-26 19시 20시 6-3-4 PR Strip (TP7000 1/2) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
744 2024-08-26 20시 21시 6-3-4 PR Strip (TP7000 2/2) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
745 2024-08-27 11시 12시 7-3-2 V0 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
746 2024-08-27 12시 13시 15-2 Metal Etch PR Strip-1 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
747 2024-08-27 14시 15시 7-3-5 V0 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
748 2024-08-27 14시 15시 15-2 Metal Etch PR Strip-2 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
749 2024-08-27 16시 17시 14-1-9 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
750 2024-08-27 17시 18시 14-1-9 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
751 2024-08-27 19시 21시 7-3-2 V0 PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
752 2024-08-28 14시 15시 8-3-2 M1 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
753 2024-08-28 19시 20시 9-3 M1 PR Remove
(Max 5ea, 6매 - 2회)
삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
754 2024-08-28 21시 22시 Lift off 공간 대여 포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 김기영 22,000원
755 2024-08-28 9시 10시 7-3-5 V0 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
756 2024-08-29 11시 13시 1-3 TP7000 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
757 2024-08-29 15시 17시 1-6 TP7000 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
758 2024-08-29 15시 16시 9-3-2 PO PR Remove 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
759 2024-08-29 19시 20시 15-1 Al Etch PR Remove 삼성전자 DS 김태훈 0원
760 2024-08-29 21시 22시 15-1 Al Etch PR Remove tp7000 삼성전자 DS 김태훈 0원
761 2024-08-30 11시 12시 1-4-2 V2 PR Remove (TP7000) wf06 2회차 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
762 2024-08-30 13시 14시 1-4-3 V2 PR Remove (TP7000) wf06 3회차 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
763 2024-08-30 14시 15시 1-4-4 V2 PR Remove (TP7000) wf06 4회차 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
764 2024-08-30 15시 16시 1-4-5 V2 PR Remove (TP7000) wf06 5회차 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
765 2024-08-30 20시 22시 12-2 V1 PR Strip
TP7000, 5매/회, 6매 - 2회
삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
766 2024-08-30 9시 10시 1-4-1 V2 PR Remove (TP7000) wf06 1회차 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
767 2024-09-02 10시 11시 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 135,000원
768 2024-09-02 15시 16시 1-4-3 V2 PR Remove (TP7000) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
769 2024-09-03 10시 11시 8-3-2 M1 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
770 2024-09-03 13시 14시 8-4-2 M1 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
771 2024-09-03 15시 16시 3-2-3 M Deposition 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 128,000원
772 2024-09-04 14시 15시 14-1-9 KEY Open 삼성전자 DS 김태훈 0원
773 2024-09-05 19시 20시 12-3-4 V1 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 270,000원
774 2024-09-10 8시 9시 0-1-2 0 (주)포플스 - 조성우 240,000원
775 2024-09-11 20시 21시 1-3-4 TP7000 (주)포플스 - 조성우 150,000원
776 2024-09-13 11시 12시 1-2-2 M Deposition PR remove 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 120,000원
777 2024-09-26 16시 17시 11-2-4 Gate Cont 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
778 2024-09-27 11시 12시 2-6-3 Metal PR Remove 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 352,000원
779 2024-09-30 19시 20시 12-3-2 Key Open (PR Remove) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
780 2024-10-02 19시 20시 13-2-3 Power Metal PR Remove 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원
781 2024-10-15 15시 16시 17-3-4 Passivation 삼성전자 DS 김태훈 0원
782 2024-10-16 10시 11시 11-2-4 M1 Metal 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 75,000원
783 2024-10-31 19시 20시 4-1-2 GATE PR Remove 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
784 2024-11-01 15시 16시 4-2-4 GATE 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
785 2024-11-05 13시 14시 장비 기본 + 장비 조작 교육 요청 (주)아이제스트 연구소 최병국 190,000원
786 2024-11-08 11시 12시 6-3-4 RCSS 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
787 2024-11-13 11시 12시 8-2-3 S_D PR Remove 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
788 2024-11-15 8시 9시 1-1-1 TP7000 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 150,000원
789 2024-11-19 15시 16시 10-2-3 Gate Cont 현대모비스 전력반도체팀 강민기 375,000원
790 2024-11-21 17시 18시 11-3-2 PR Remove 현대모비스 전력반도체팀 강민기 375,000원
791 2024-11-25 15시 16시 11-5-7 Power Metal 현대모비스 전력반도체팀 강민기 375,000원
792 2024-11-26 17시 18시 1-2-4 PR Remove 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 120,000원