PR Asher_NEMS 장비일지 |
기자재관리번호 : - |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2010-02-02 17시 | 18시 | PR remove | 포항공과대학교 | 화학과 | 이윤희 | 15,000원 |
| 2 | 2010-02-03 16시 | 17시 | PR remove | 포항공과대학교 | 화학과 | 이윤희 | 15,000원 |
| 3 | 2010-02-11 14시 | 15시 | PR remove, Cleaning | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 36,000원 |
| 4 | 2010-02-17 13시 | 14시 | Cleaning | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 18,000원 |
| 5 | 2010-02-18 16시 | 18시 | Cleaning | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 72,000원 |
| 6 | 2010-03-17 10시 | 11시 | Cleaning | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 31,500원 |
| 7 | 2010-03-19 13시 | 15시 | Cleaning | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 63,000원 |
| 8 | 2010-04-07 14시 | 15시 | PR remove | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 45,000원 |
| 9 | 2010-04-21 15시 | 17시 | PR remove | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 90,000원 |
| 10 | 2010-05-28 16시 | 18시 | PR remove | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 90,000원 |
| 11 | 2010-06-09 15시 | 17시 | PR remove | 포항나노기술집적센터 | 연구개발부 | 전영권 | 160,000원 |
| 12 | 2010-06-14 10시 | 12시 | PR remove | 포항나노기술집적센터 | 연구개발부 | 전영권 | 200,000원 |
| 13 | 2010-06-16 14시 | 17시 | PR remove | 포항나노기술집적센터 | 연구개발부 | 전영권 | 200,000원 |
| 14 | 2010-06-22 13시 | 14시 | PR remove | 포항나노기술집적센터 | 연구개발부 | 전영권 | 80,000원 |
| 15 | 2010-07-16 09시 | 13시 | PR Remove | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 216,000원 |
| 16 | 2010-07-16 16시 | 18시 | PR Remove | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 189,000원 |
| 17 | 2010-07-30 09시 | 14시 | PR remove, Cleaning | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 405,000원 |
| 18 | 2010-08-02 15시 | 17시 | PPFC | 부산대학교 밀양캠퍼스 | 나노과학기술대학 | 김대호 | 81,000원 |
| 19 | 2010-08-12 14시 | 18시 | PR remove | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 540,000원 |
| 20 | 2010-08-13 10시 | 12시 | PPFC | 부산대학교 | mems실험실 | 이상민 | 54,000원 |
| 21 | 2010-08-27 14시 | 18시 | PR remove | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 486,000원 |
| 22 | 2010-09-08 10시 | 18시 | Plasma Ashing | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 1,170,000원 |
| 23 | 2010-09-09 13시 | 17시 | Plasma Ashing | 대구경북과학기술원 | 나노바이오부 | 장환수 | 585,000원 |
| 24 | 2010-10-25 10시 | 12시 | Wafer Cleaning | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 200,000원 |
| 25 | 2010-12-03 18시 | 19시 | PR ashing | 전북대학교 | 전자공학부 | 김기현 | 15,000원 |
| 26 | 2010-12-06 13시 | 18시 | PR ashing | (주)디엠에스 | 김성해 | 480,000원 | |
| 27 | 2010-12-07 11시 | 12시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김성호 | 24,000원 |
| 28 | 2010-12-07 13시 | 18시 | PR ashing | (주)디엠에스 | 김성해 | 800,000원 | |
| 29 | 2010-12-07 19시 | 20시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김성호 | 15,000원 |
| 30 | 2010-12-14 17시 | 18시 | PR remove | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김태희 | 40,000원 |
| 31 | 2010-12-15 09시 | 12시 | PR remove | 포항공과대학교 | 화학과 | 이윤희 | 240,000원 |
| 32 | 2010-12-16 09시 | 12시 | PR remove | 포항공과대학교 | 화학과 | 이윤희 | 240,000원 |
| 33 | 2010-12-23 15시 | 18시 | PR remove | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 150,000원 |
| 34 | 2010-12-24 09시 | 10시 | PR strip (S1012-01) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 112,500원 |
| 35 | 2010-12-28 13시 | 14시 | PR remove | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 37,500원 |
| 36 | 2010-12-29 11시 | 13시 | PR strip (S1012-01) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 150,000원 |
| 37 | 2010-12-29 19시 | 21시 | PR strip (S1012-01) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 150,000원 |
| 38 | 2010-12-30 13시 | 16시 | 1-3 PR strip (S1012-01) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 150,000원 |
| 39 | 2011-01-05 13시 | 15시 | 2-3-1 PR strip (S1012-02) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 225,000원 |
| 40 | 2011-01-07 11시 | 13시 | 3-3-1 PR strip (S1012-02) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 225,000원 |
| 41 | 2011-01-11 12시 | 15시 | 4-3-1 PR ashing (S1012-02) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 375,000원 |
| 42 | 2011-02-01 11시 | 13시 | AlGaN etch Test_PR remove | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 225,000원 |
| 43 | 2011-02-16 13시 | 16시 | Au_Al Lift-off | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 유제원 | 192,000원 |
| 44 | 2011-03-04 13시 | 14시 | S03-04 Piece Isolation_PR ashing | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 75,000원 |
| 45 | 2011-03-04 14시 | 15시 | 6-3-1 PR Strip (S03-0131) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 37,500원 |
| 46 | 2011-03-10 10시 | 11시 | 7-3-1 PR strip 5min 2회(S03-0131) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 75,000원 |
| 47 | 2011-03-10 15시 | 17시 | 8-3-1 PR Strip_25min (S03-0131) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 187,500원 |
| 48 | 2011-03-14 09시 | 11시 | PR ashing_mask | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김호진 | 200,000원 |
| 49 | 2011-03-25 13시 | 16시 | Pattern Develop 잔류 Resist 제거 | 지엠티 | 박은화 | 1,050,000원 | |
| 50 | 2011-04-18 15시 | 16시 | PR Ashing | LG디스플레이 | 김민철 | 120,000원 | |
| 51 | 2011-04-21 09시 | 10시 | S05-02_01 PR Ashing (6-3-1) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 75,000원 |
| 52 | 2011-04-26 13시 | 16시 | 8인치 patterned wafer PR 제거 | 크린콜비지니스 | 신명환 | 750,000원 | |
| 53 | 2011-05-26 13시 | 15시 | O2 Plasma 처리 | 대구경북과학기술원 | 중앙기기센터 | 이봉호 | 200,000원 |
| 54 | 2011-05-30 09시 | 13시 | Plasma 표면처리 | 대구경북과학기술원 | 중앙기기센터 | 이봉호 | 700,000원 |
| 55 | 2011-06-10 12시 | 13시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 조동환 | 24,000원 |
| 56 | 2011-06-22 14시 | 15시 | 9-4 PR Strip (S09-0512) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 75,000원 |
| 57 | 2011-07-07 18시 | 19시 | 7-3-1 PR Strip_ashing_02_03 (S11-0526) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 75,000원 |
| 58 | 2011-07-08 11시 | 12시 | 8-3-1 PR Strip_ashing_01 (S11-0526) | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 37,500원 |
| 59 | 2011-07-15 10시 | 11시 | S12-03 SD Metal Etch_PR Strip 각 2회 | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 150,000원 |
| 60 | 2011-07-19 14시 | 15시 | S12-03 FP cont Etch/PR Ashing | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 75,000원 |
| 61 | 2011-07-26 15시 | 17시 | O2 Plsma_5min_10min_15min_20min | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 김남효 | 160,000원 |
| 62 | 2011-08-03 14시 | 15시 | O2 Plasma | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 김남효 | 40,000원 |
| 63 | 2011-08-24 10시 | 11시 | PR ashing | 한국전기연구원 | 전력반도체연구센터 | 나문경 | 45,000원 |
| 64 | 2011-09-01 13시 | 14시 | PR Strip | 한국전기연구원 | 전력반도체연구센터 | 나문경 | 45,000원 |
| 65 | 2011-10-10 16시 | 17시 | ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김태희 | 24,000원 |
| 66 | 2011-10-11 15시 | 16시 | ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김태희 | 24,000원 |
| 67 | 2011-10-11 17시 | 18시 | ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김태희 | 24,000원 |
| 68 | 2011-10-25 09시 | 11시 | Ti/Al wet etching | 재료연구소 | 융합공정연구본부 | 나종주 | 216,000원 |
| 69 | 2011-11-08 17시 | 18시 | 실리콘 웨이퍼 표면 분석 및 에칭 Depth 확인 | 삼성종합기술원 | 반도체 랩 | 하종봉 | 75,000원 |
| 70 | 2011-12-21 11시 | 12시 | ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김태희 | 24,000원 |
| 71 | 2011-12-21 15시 | 16시 | ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김태희 | 24,000원 |
| 72 | 2012-01-31 17시 | 18시 | Si Etch : 20 um 후 Plasma 처리 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 40,000원 |
| 73 | 2012-03-06 16시 | 17시 | PR 제거 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이호준 | 24,000원 |
| 74 | 2012-03-08 16시 | 18시 | PR Ashing | 성균관대학교 | 김성규 | 200,000원 | |
| 75 | 2012-03-13 11시 | 13시 | O2 Plasma Treatment | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 정윤영 | 24,000원 |
| 76 | 2012-04-18 15시 | 16시 | O2 Plasma 처리 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | Wentao Xu | 40,000원 |
| 77 | 2012-04-27 11시 | 12시 | Ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이호준 | 24,000원 |
| 78 | 2012-05-02 16시 | 17시 | PR 제거 | 전북대학교 | 전자공학부 | 김기현 | 24,000원 |
| 79 | 2012-05-07 14시 | 15시 | PR Ashing | 전북대학교 | 전자공학부 | 김기현 | 24,000원 |
| 80 | 2012-06-11 16시 | 17시 | 300 nm PMMA 제거 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 정윤영 | 24,000원 |
| 81 | 2012-07-04 11시 | 12시 | PR Ashing | 포항공과대학교 | 전자과 | 백상원 | 24,000원 |
| 82 | 2012-09-24 17시 | 18시 | 1-3-1 PR ashing (G02) | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 100,000원 |
| 83 | 2012-09-25 16시 | 17시 | 2-3-1 2nd ET_Ashing (G02) | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 100,000원 |
| 84 | 2012-09-26 16시 | 17시 | 3-3-1 3rd Etch_ashing (G02) | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 100,000원 |
| 85 | 2012-09-27 18시 | 19시 | 4-3-1 4th Etch_ashing | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 100,000원 |
| 86 | 2012-10-11 13시 | 14시 | 플라즈마 처리 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 50,000원 |
| 87 | 2012-10-16 09시 | 10시 | 1-3-1 PR Ashing | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 150,000원 |
| 88 | 2012-10-16 17시 | 18시 | 2-3-1 PR ashing | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 150,000원 |
| 89 | 2012-10-17 14시 | 15시 | 3-3-1 PR ashing | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 150,000원 |
| 90 | 2012-10-22 15시 | 16시 | 4-3-1 PR ashing | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 150,000원 |
| 91 | 2012-11-13 17시 | 18시 | PR Remove | 전북대학교 | 전자공학부 | 김기현 | 24,000원 |
| 92 | 2013-05-03 13시 | 15시 | PR 제거 (2시간 사용) (JNT / 이호준 / 010-2547-9641) | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김지원 | 24,000원 |
| 93 | 2013-06-07 15시 | 17시 | PES 표면처리 및 Ni 표면 산화 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 송지민 | 35,000원 |
| 94 | 2013-08-01 13시 | 14시 | o2 plasma | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 이은호 | 24,000원 |
| 95 | 2013-08-15 13시 | 14시 | o2 plasma | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 이은호 | 24,000원 |
| 96 | 2013-10-07 14시 | 15시 | Nanowire형성을 위하여 EBL패턴이후 식각공정을 수행하였습니다. 본 공정에서는 식각공정 이후에 잔여 PR을 제거하기 위하여 Oxygen Plasma를 이용하고자 합니다. | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 임태욱 | 21,000원 |
| 97 | 2013-10-17 11시 | 12시 | PS-b-P4VP 제거 후 Au만 표면에 남기기 위함 (기존 조건으로 진행: 조각 Sample 4ea, 1회 진행) |
포항공과대학교 | 화학공학과 | 박준호 | 35,000원 |
| 98 | 2013-11-07 11시 | 12시 | PS-b-P4VP 제거 후 Au만 보기 위함 | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 박준호 | 35,000원 |
| 99 | 2013-11-07 9시 | 10시 | PR ashing (JNT / 이호준 / 010-2547-9641) | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김지원 | 21,000원 |
| 100 | 2013-11-28 13시 | 15시 | 고분자 제거후 내부 Au 보기 위함 | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 박준호 | 35,000원 |
| 101 | 2013-12-19 16시 | 17시 | 잔류 PR 플라즈마로 제거하기 위함 | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 박준호 | 35,000원 |
| 102 | 2014-01-03 16시 | 17시 | O2 plasma treatment | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 박준호 | 35,000원 |
| 103 | 2014-01-17 17시 | 18시 | micelle 제거 후 nanoparticle 남기기 위함 | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 박준호 | 35,000원 |
| 104 | 2014-02-07 16시 | 17시 | Micelle 제거 | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 박준호 | 35,000원 |
| 105 | 2014-03-04 13시 | 14시 | PR Ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이호준 | 14,000원 |
| 106 | 2014-04-02 16시 | 17시 | SI 기판 표면을 친수성으로 만들기 위함 : O2 Plasma Treatment |
포항공과대학교 | 신소재공학과 | 최현서 | 21,000원 |
| 107 | 2014-04-09 14시 | 15시 | P/R 제거 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이기철 | 24,000원 |
| 108 | 2014-04-28 10시 | 11시 | O2 plasma 처리를 통한 PR(SU8) adhesion 향상 | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 임태욱 | 21,000원 |
| 109 | 2014-04-29 10시 | 11시 | SU8 2050 PR adhesion 향상을 위한 plasma 처리 | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 임태욱 | 14,000원 |
| 110 | 2014-05-02 14시 | 15시 | SU8 2050 patterning 시 adhesion 향상을 위한 plasma 처리 | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 임태욱 | 14,000원 |
| 111 | 2014-06-05 17시 | 18시 | 1-1-8 Photo Test_PR remove ========================== O2 Plasma, 200도, 3min |
SSADT | 경영지원 | 지이권 | 300,000원 |
| 112 | 2014-06-12 14시 | 17시 | Passivation PR 제거 : Target 6.0um | pohang university of sci&tech | mechanical engineering department | Xiong Bin | 21,000원 |
| 113 | 2014-06-17 9시 | 10시 | 1st contact Photo (Align/expose) | 30,000원 | |||
| 114 | 2014-08-27 15시 | 17시 | 1-3-3 PR Remove ========================= 1800W, O2:N2=2500:250sccm |
(주)유우일렉트로닉스 | 부설연구소 | 김형원 | 600,000원 |
| 115 | 2014-09-22 14시 | 15시 | Ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 14,000원 |
| 116 | 2014-09-23 14시 | 15시 | O2 plasma로 Aluminium 표면에 Oxide 형성. | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 권지민 | 63,000원 |
| 117 | 2014-09-24 10시 | 11시 | SU8 2010 코팅 정 o2 plasma 처리 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 118 | 2014-10-02 16시 | 17시 | 산화알루미늄형성 | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 권지민 | 28,000원 |
| 119 | 2014-10-10 15시 | 16시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 14,000원 |
| 120 | 2014-10-13 15시 | 16시 | 산화알루미늄 | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 권지민 | 14,000원 |
| 121 | 2014-10-17 17시 | 18시 | o2 plasma 처리 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 122 | 2014-10-17 21시 | 22시 | 산화알루미늄 | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 권지민 | 14,000원 |
| 123 | 2014-10-23 15시 | 17시 | 산화알루미늄 표면 생성 평가 | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 권지민 | 70,000원 |
| 124 | 2014-10-24 18시 | 19시 | sio2 o2 plasma 처리 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 125 | 2014-11-10 22시 | 23시 | PR 패터닝 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 14,000원 |
| 126 | 2014-11-19 22시 | 23시 | Su8 2050 coating | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 127 | 2014-12-02 13시 | 14시 | BioFET_PR Ashing | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 임태욱 | 151,000원 |
| 128 | 2014-12-17 17시 | 18시 | 박판 경량 HS 제작용 PR 제거 공정 (과제번호:2.0006799.07) | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 155,000원 |
| 129 | 2015-01-22 14시 | 15시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 14,000원 |
| 130 | 2015-03-31 10시 | 11시 | PVDF-TrFE polymer etching | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 현승 | 24,000원 |
| 131 | 2015-04-20 15시 | 17시 | O2 Plasma Treatment (상온) : 조각 4ea --> 2회 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이기환 | 48,000원 |
| 132 | 2015-05-11 14시 | 15시 | 상온 Graphene Etching 600sec | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이기환 | 24,000원 |
| 133 | 2015-07-23 15시 | 16시 | O2 plasma | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 134 | 2015-07-28 16시 | 17시 | 공정 진행 후 잔류 PR 제거 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 윤관호 | 24,000원 |
| 135 | 2015-07-31 15시 | 16시 | sample 위 PR Residue 제거 | 한국과학기술연구원 | 센서시스템연구센터 | 김재헌 | 27,000원 |
| 136 | 2015-08-03 13시 | 14시 | O2 plasma 이용 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 137 | 2015-08-31 14시 | 15시 | o2 plasma cleaning | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 138 | 2015-08-31 15시 | 16시 | Plasma treatment glass 위에 Poly-l-lysine 폴리머가 코팅되어 있는 상태입니다. |
포항공과대학교 | IBB | 남효영 | 21,000원 |
| 139 | 2015-10-02 10시 | 11시 | O2 plasma | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 140 | 2015-10-16 11시 | 12시 | O2 Plasma 이용 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 141 | 2015-11-11 15시 | 16시 | O2 plasma | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 142 | 2015-12-15 12시 | 13시 | 잔류 PR 제거 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 윤관호 | 16,000원 |
| 143 | 2016-02-23 16시 | 17시 | 표면 클리닝 | 전북대학교 | 전자공학부 | 김기현 | 14,000원 |
| 144 | 2016-02-24 10시 | 11시 | 폴리이미드 제거 |
전북대학교 | 전자공학부 | 김기현 | 28,000원 |
| 145 | 2016-05-24 15시 | 17시 | Cap Process_Etch(16/05) | (주)유우일렉트로닉스 | 부설연구소 | 김형원 | 400,000원 |
| 146 | 2016-07-27 18시 | 19시 | O2 Plasma | 포항공과대학교 | 전자전기공학부 | 서지훈 | 48,000원 |
| 147 | 2016-07-28 15시 | 16시 | 원통형 PET 물질 안쪽면을 까맣게 태우려 함 | 포항공과대학교 | 전자전기공학부 | 서지훈 | 24,000원 |
| 148 | 2016-08-16 13시 | 15시 | 상온 Ashing 300" | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김강민 | 24,000원 |
| 149 | 2016-09-06 10시 | 11시 | N.PR patterning이후 Lift off | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 조용준 | 42,000원 |
| 150 | 2016-10-26 15시 | 17시 | O2 gas plasma | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 양성진 | 14,000원 |
| 151 | 2016-10-27 14시 | 15시 | Pt membrane | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 양성진 | 42,000원 |
| 152 | 2016-11-01 17시 | 18시 | PU-Pt | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 양성진 | 28,000원 |
| 153 | 2016-11-07 16시 | 17시 | ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 14,000원 |
| 154 | 2016-11-10 10시 | 13시 | 나노융합 전문인력양성 교육_Etch | 계명대학교 | 화학공학과 | 서숭혁 | 900,000원 |
| 155 | 2016-11-22 20시 | 21시 | PU membrane | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 양성진 | 14,000원 |
| 156 | 2016-12-14 12시 | 13시 | ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이호준 | 14,000원 |
| 157 | 2016-12-20 15시 | 16시 | 상온 300sec | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김강민 | 24,000원 |
| 158 | 2017-03-31 13시 | 14시 | O2 Plasma , 상온, 300sec, 500mw, 500mT Graphene etching | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김강민 | 24,000원 |
| 159 | 2017-04-06 9시 | 13시 | Slide Glass(235ea)_Cleaning(IPA) | 포항공과대학교 | 화학과 | 박수현 | 1,000,000원 |
| 160 | 2017-04-17 13시 | 14시 | graphene etching 상온 300초 500mT 500mW | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김강민 | 25,500원 |
| 161 | 2017-05-10 17시 | 18시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 162 | 2017-05-25 15시 | 16시 | ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 65,000원 |
| 163 | 2017-05-30 13시 | 14시 | graphene etching | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김강민 | 25,500원 |
| 164 | 2017-06-16 17시 | 18시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 165 | 2017-06-29 14시 | 15시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 166 | 2017-08-18 10시 | 11시 | graphene etching | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김강민 | 25,500원 |
| 167 | 2017-08-25 16시 | 17시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 168 | 2017-09-01 16시 | 17시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 169 | 2017-10-12 10시 | 11시 | PI 10 um 가 올라가 있습니다. PI 표면을 에칭하여 roughness를 키우고자 합니다. 4인치 웨이퍼 1장과 3 cm x 3 cm 조각 샘플 입니다. 이전 공정 조건을 받았는데, plasma power 1kW, Pressure 450 mT, Temperature 70 °C 였습니다. 몇초나 가해주어야 할지는 아직 찾고있는데, 내일 오전 찾아뵙고 말씀드리겠습니다. dry etcher 사용 방법 배우고자 합니다. 오전 10시에 뵙고싶습니다. |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 박혁 | 25,500원 |
| 170 | 2017-10-25 14시 | 15시 | O2 Plasma , 상온, 300sec, 500mw, 500mT Graphene etching | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김강민 | 76,500원 |
| 171 | 2017-11-02 9시 | 18시 | 전문인력양성사업 교육_Etch | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 이현규 | 600,000원 |
| 172 | 2017-11-03 9시 | 18시 | 나노 SC 인력양성 교육_Etch | 포항공과대학교 | 교육사업부 | 백성기 | 500,000원 |
| 173 | 2017-11-24 16시 | 17시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 174 | 2017-11-27 14시 | 15시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 175 | 2017-12-20 10시 | 11시 | asher recipe number와 operating 방법 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 22,500원 |
| 176 | 2018-01-05 16시 | 17시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 177 | 2018-01-09 9시 | 18시 | 전문인력양성교육_소자공정_Etch | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 이현규 | 500,000원 |
| 178 | 2018-01-23 10시 | 18시 | WISET 사업 교육_Etch | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 이현규 | 600,000원 |
| 179 | 2018-01-29 22시 | 23시 | PR ahser | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 180 | 2018-01-30 16시 | 17시 | asher | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 181 | 2018-02-01 16시 | 17시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 182 | 2018-02-05 15시 | 16시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 183 | 2018-02-12 19시 | 20시 | asher | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 184 | 2018-03-02 16시 | 17시 | PR ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이준영 | 15,000원 |
| 185 | 2018-03-14 17시 | 18시 | surface treatment | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 186 | 2018-04-04 13시 | 14시 | asher | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 187 | 2018-04-09 15시 | 16시 | asher | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 188 | 2018-04-10 12시 | 13시 | asher | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 189 | 2018-05-02 16시 | 17시 | etching | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 190 | 2018-05-04 11시 | 12시 | PRasher | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 191 | 2018-05-18 11시 | 12시 | ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 192 | 2018-06-12 16시 | 17시 | plasma 처리 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 조연모 | 25,500원 |
| 193 | 2018-07-05 20시 | 21시 | PR ahser | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 194 | 2018-10-31 16시 | 17시 | PR asher | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 195 | 2018-11-02 14시 | 15시 | polyimide ahser | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 196 | 2018-11-02 16시 | 17시 | polyimide | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 197 | 2018-11-07 13시 | 14시 | polyimide ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 윤길상 | 15,000원 |
| 198 | 2018-11-20 14시 | 15시 | Negative PR/graphene/SiO2/Si wafer | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 박슬기 | 25,500원 |
| 199 | 2018-11-28 16시 | 17시 | Graphene on SiO2 wafer | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 박슬기 | 25,500원 |
| 200 | 2019-01-29 10시 | 12시 | 표면기판처리를 진행하려고 합니다. 02 plasma이고 250w 15분 정도 진행하고자 합니다. Si wafer 2cm 2 cm 3개와 ITO 2cm 2cm 3개 총 6개 진행. |
포항공과대학교 | 화학공학과 | 이재용 | 153,000원 |
| 201 | 2019-02-28 10시 | 11시 | 교육필요합니다. | 포스텍 | 물리학과 | 신원철 | 22,500원 |
| 202 | 2019-03-06 10시 | 11시 | PMMA ~300 nm | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 박성민 | 32,000원 |
| 203 | 2019-03-08 16시 | 17시 | graphene on parylene/Si wafer | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 박슬기 | 27,000원 |
| 204 | 2019-04-10 14시 | 15시 | asher | 포스텍 | 물리학과 | 신원철 | 54,000원 |
| 205 | 2019-04-19 14시 | 15시 | PR 제거하고자 합니다. Au로 된 Align marker가 있습니다. |
포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 36,000원 |
| 206 | 2019-04-22 15시 | 16시 | pR strip | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 24,000원 |
| 207 | 2019-04-30 11시 | 12시 | 장비 직접 사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 208 | 2019-05-08 20시 | 21시 | 장비 직접 사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 209 | 2019-05-30 14시 | 15시 | PR remove | 아인스글로볼(주) | 기획 | 아인스글로벌 | 240,000원 |
| 210 | 2019-07-03 11시 | 12시 | 4회 각 2매 총 8매 | 연세대학교 의료원 | 방사선종양학과 | 권나혜 | 320,000원 |
| 211 | 2019-07-09 20시 | 21시 | 장비 직접 사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 212 | 2019-07-16 21시 | 22시 | 직접사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 213 | 2019-07-18 10시 | 11시 | 금박막위에 코팅된 고분자를 제거하고자합니다. | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 이재용 | 72,000원 |
| 214 | 2019-07-18 13시 | 14시 | Al 100nm가 올라간 glass wafer O2 환경에서 Plasma power 최대로 1분정도 가하고 싶습니다. 01050098015로 전화주시면 감사하겠습니다. |
포항공과대학교 | 전자과 | 서태원 | 32,000원 |
| 215 | 2019-07-29 20시 | 21시 | pr asher | 포스텍 | 물리학과 | 신원철 | 27,000원 |
| 216 | 2019-07-29 22시 | 23시 | 장비 직접 사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 217 | 2019-07-30 14시 | 15시 | 장비 직접 사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 218 | 2019-07-30 20시 | 21시 | pr asher | 포스텍 | 물리학과 | 신원철 | 27,000원 |
| 219 | 2019-08-02 14시 | 15시 | pr asher | 포스텍 | 물리학과 | 신원철 | 27,000원 |
| 220 | 2019-08-21 11시 | 12시 | Ag pad/ SU8-2002 PR | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 40,000원 |
| 221 | 2019-08-21 16시 | 17시 | Ag | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 40,000원 |
| 222 | 2019-08-22 17시 | 18시 | bare si | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 30,000원 |
| 223 | 2019-08-22 21시 | 22시 | 직접사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 224 | 2019-08-28 10시 | 11시 | . | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 30,000원 |
| 225 | 2019-08-29 11시 | 12시 | . | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 30,000원 |
| 226 | 2019-09-02 11시 | 12시 | bare | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 30,000원 |
| 227 | 2019-09-06 13시 | 14시 | bare sio2 | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 30,000원 |
| 228 | 2019-09-09 21시 | 22시 | 장비 직접 사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 229 | 2019-09-10 21시 | 22시 | 장비 직접 사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 230 | 2019-09-17 11시 | 12시 | . | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 30,000원 |
| 231 | 2019-09-18 11시 | 12시 | . | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 30,000원 |
| 232 | 2019-09-24 23시 | 24시 | 직접사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 233 | 2019-09-26 11시 | 12시 | . | (주)아이엠헬스케어 | 바이오센서팀 | 유재우 | 30,000원 |
| 234 | 2019-10-07 12시 | 13시 | ahser | 포스텍 | 물리학과 | 신원철 | 27,000원 |
| 235 | 2019-10-11 23시 | 24시 | 장비직접사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 236 | 2019-10-14 22시 | 23시 | 장비 직접 사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 237 | 2019-10-17 21시 | 22시 | 장비 직접 사용 | 포항공과대학교 | 물리학과 | 김형빈 | 27,000원 |
| 238 | 2019-10-30 10시 | 11시 | O2 plasma | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 김성지 | 25,500원 |
| 239 | 2019-10-30 17시 | 18시 | 장비 사용 신청합니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 76,500원 |
| 240 | 2019-11-27 10시 | 11시 | . | 포항공과대학교 | 전자전기공학부 | 신성환 | 24,000원 |
| 241 | 2019-11-27 10시 | 11시 | PR 제거 | (주)엔디디 | 기업부설연구소 | 이승헌 | 240,000원 |
| 242 | 2019-12-04 10시 | 11시 | .나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 김성지 | 0원 |
| 243 | 2019-12-06 10시 | 11시 | 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원 사업 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 김성지 | 0원 |
| 244 | 2019-12-11 10시 | 11시 | PR Ashing | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 박혁 | 24,000원 |
| 245 | 2019-12-18 10시 | 11시 | PR strip | (주)엔디디 | 기업부설연구소 | 이승헌 | 240,000원 |
| 246 | 2020-03-26 15시 | 16시 | PR strip 10ea | (주)엔디디 | 기업부설연구소 | 이승헌 | 300,000원 |
| 247 | 2020-03-27 14시 | 15시 | PR strip | (주)엔디디 | 기업부설연구소 | 이승헌 | 300,000원 |
| 248 | 2020-03-31 13시 | 14시 | Ashing | 알앤에스랩 | 센서팀 | 알앤에스랩 | 30,000원 |
| 249 | 2020-06-16 10시 | 12시 | PR Remove | (주)엔디디 | 기업부설연구소 | 이승헌 | 300,000원 |
| 250 | 2020-06-17 13시 | 14시 | PR Remove | (주)엔디디 | 기업부설연구소 | 이승헌 | 300,000원 |
| 251 | 2020-11-18 16시 | 17시 | [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업], 전자과 전길수 (010.5287.9314) | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 40,000원 |
| 252 | 2022-07-20 14시 | 15시 | O2 Plasma | 삼성디스플레이 | 선행제품연구팀 | 김태균 | 32,000원 |
| 253 | 2022-08-08 10시 | 11시 | SDC_T01+03 O2 Plasma (Descum) | 삼성디스플레이 | 선행제품연구팀 | 김태균 | 320,000원 |
| 254 | 2022-08-12 11시 | 12시 | SDC_T04 O2 Plasma | 삼성디스플레이 | 선행제품연구팀 | 김태균 | 320,000원 |
| 255 | 2022-10-10 11시 | 12시 | 1.0 Descum | 삼성디스플레이 | 선행제품연구팀 | 김태균 | 128,000원 |
| 256 | 2022-11-07 10시 | 11시 | 0.0 O2 Plasma | 삼성디스플레이 | 선행제품연구팀 | 김태균 | 160,000원 |
| 257 | 2022-12-05 17시 | 18시 | O2 Plasma | 삼성디스플레이 | 선행제품연구팀 | 김태균 | 160,000원 |
| 258 | 2023-02-14 15시 | 16시 | Descum | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 32,000원 |