CNT Synthesis System 장비일지

 기자재관리번호 : B0000055-092002-A0014
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2010-01-13 09시 20시 CNT 표준화과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 412,500원
2 2010-01-19 09시 18시 CNT 표준화과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 337,500원
3 2010-01-21 09시 19시 CNT 표준화과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 375,000원
4 2010-01-25 09시 19시 CNT 표준화과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 375,000원
5 2010-01-29 09시 16시 CNT 표준화과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 262,500원
6 2010-02-18 09시 19시 CNT 표준화 합성 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 375,000원
7 2010-02-22 09시 19시 CNT 합성 (표준화) 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 120,000원
8 2010-02-24 09시 19시 표준화용 CNT 합성 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 120,000원
9 2010-04-05 09시 17시 표준화 과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 560,000원
10 2010-04-07 09시 17시 과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 560,000원
11 2010-04-08 13시 17시 MWCNT 과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 80,000원
12 2010-04-12 13시 16시 MWCNT과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 157,500원
13 2010-04-13 14시 18시 과제 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 48,000원
14 2010-05-12 10시 16시 CNT 합성 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 88,500원
15 2011-09-11 13시 18시 8인치 patterned wafer CNT 대량 합성 제이케이이엔씨 김종규 700,000원
16 2011-09-17 09시 19시 CP (transformer- coupled plasma) type ll gases are controlled by MFC (mass flow controller) 2H2, CH4, CO, Ar, H2, O2, NH3, He : 8 Gases ype : Thermal CVD, combined with plasma source lasma type : Transformer-coupled plasma, 13.56MHz avelength range : 190 ~ 2700nm (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 700,000원
17 2011-09-28 09시 16시 CNT 대량 합성 (주)좋은램프 최근철 1,400,000원
18 2013-11-04 9시 18시 Form 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 144,000원
19 2013-11-06 9시 18시 form 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 144,000원
20 2013-11-11 9시 17시 form 열처리 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 128,000원
21 2013-11-13 9시 18시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 144,000원
22 2013-11-19 9시 18시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 144,000원
23 2013-11-21 9시 18시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 144,000원
24 2013-11-25 10시 19시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 144,000원
25 2013-11-27 9시 17시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 128,000원
26 2013-12-02 9시 19시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 160,000원
27 2013-12-05 9시 18시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 144,000원
28 2013-12-11 9시 17시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 128,000원
29 2013-12-12 9시 17시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 128,000원
30 2013-12-13 9시 18시 SCI과제 관련 graphite capping 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 504,000원
31 2013-12-16 9시 17시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 128,000원
32 2013-12-18 9시 17시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 128,000원
33 2013-12-23 9시 17시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 128,000원
34 2013-12-24 9시 17시 열처리 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 128,000원
35 2014-01-02 9시 18시 Graphite capping 실험 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 504,000원
36 2014-03-18 10시 13시 H2 annealing 포항공과대학교 ITCE 정새벽 126,000원
37 2014-04-02 6시 12시 H2 annealing 포항공과대학교 ITCE 정새벽 168,000원
38 2014-04-08 10시 18시 C-cap 증착 Test 를 위한 thickness Split 진행
Deposition Time : 3/5/10min 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 448,000원
39 2014-04-09 8시 14시 h2 annealing 포항공과대학교 ITCE 정새벽 168,000원
40 2014-04-14 10시 12시 Graphene growth 포항공과대학교 정보전자융합공학부 mshaygan 84,000원
41 2014-04-16 8시 14시 H2 annealing 포항공과대학교 ITCE 정새벽 168,000원
42 2014-04-17 12시 14시 graphene synthesis 포항공과대학교 정보전자융합공학부 mshaygan 84,000원
43 2014-04-21 16시 18시 graphene growth 포항공과대학교 정보전자융합공학부 mshaygan 84,000원
44 2014-04-24 16시 18시 Graphene growth 포항공과대학교 정보전자융합공학부 mshaygan 84,000원
45 2014-04-28 10시 12시 Graphene growth 포항공과대학교 정보전자융합공학부 mshaygan 84,000원
46 2014-05-22 9시 11시 3min 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 112,000원
47 2014-07-16 16시 18시 Graphene Growth 포항공과대학교 정보전자융합공학부 mshaygan 84,000원
48 2014-07-18 9시 12시 Graphene Growth 포항공과대학교 정보전자융합공학부 mshaygan 126,000원
49 2014-07-21 17시 20시 Graphene Growth 포항공과대학교 정보전자융합공학부 mshaygan 126,000원
50 2014-07-24 17시 21시 Graphene Growth 포항공과대학교 정보전자융합공학부 mshaygan 168,000원
51 2014-09-19 14시 17시 0-2-1. Graphene cap deposition 20min 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 318,000원
52 2014-09-22 13시 16시 1-2-2 Carbon Cap Deposit
5min 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 168,000원
53 2014-09-22 9시 12시 1-2-1 Carbon Cap Deposit
20min 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 208,000원
54 2014-11-06 13시 15시 1-2-2 Deposition Graphene 10min 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 112,000원
55 2014-11-06 9시 12시 1-2-1 Deposition Graphene 3Min 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 168,000원
56 2014-12-12 12시 14시 4-6-2 Gaphene cvd 합성 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 224,000원
57 2014-12-29 9시 17시 SiC capping layer Test
Capping layer Ashing 처리 set-up 위한 sample 제작		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 448,000원
58 2015-01-09 7시 12시 H2 annealing
475℃, H2 atmosphere annealing
Without plasma 		포항공과대학교 ITCE 정새벽 70,000원
59 2015-01-20 14시 17시 C-Cap 제거 Test를 위한 sample 제작 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 168,000원
60 2015-05-04 9시 19시 Anneal 2Hr 진행
2Hr 씩 5회 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 560,000원
61 2015-05-05 9시 19시 Anneal 2Hr 진행
2Hr 씩 5회 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 560,000원
62 2015-05-06 9시 19시 Anneal 2Hr 진행
2Hr 씩 5회 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 560,000원
63 2015-05-07 9시 19시 Anneal 2Hr 진행
2Hr 씩 5회 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 560,000원
64 2015-05-08 9시 13시 Anneal 2Hr 진행
2Hr 씩 2회 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 224,000원
65 2015-09-23 17시 18시 1-5-1 CNT 660도 3분
1-5-2 CNT 700도 3분		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 112,000원
66 2016-07-07 16시 17시 PI 온도 test 포항공과대학교 전자전기공학과 김강민 24,000원
67 2016-07-07 9시 12시 Metal Anneal
300,400,500도		 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 168,000원
68 2021-04-15 17시 19시 Graphene on cu foil 포항공과대학교 기계공학과 안주환 0원
69 2021-06-17 17시 24시 Cu foil long term annealing 포항공과대학교 기계공학과 안주환 0원
70 2021-06-28 14시 14시 Cu foil annealing 포항공과대학교 기계공학과 안주환 0원
71 2021-11-01 13시 15시 Annealing Cu foil 포항공과대학교 기계공학과 안주환 0원
72 2021-12-02 16시 19시 x 포항공과대학교 기계공학과 이장호 0원
73 2021-12-07 17시 21시 x 포항공과대학교 기계공학과 이장호 0원
74 2021-12-14 11시 12시 PMMA removal Annealing 포항공과대학교 기계공학과 안주환 0원