기술 소개
핵심 공정·분석 플랫폼
01
차세대 전력반도체 일괄 제조 공정 지원
전력반도체 소자 제작을 위한 증착·포토·에칭·패키징, 이온주입 및 열처리 등 일괄 공정 지원
• 공정 단계
- Well 형성
- Junction 형성
- Activation 공정
- Gate 공정
- Contact 공정
02
SiC 전력반도체 제작을 위한 증착·패터닝·고온 열처리 및 산화 공정 지원
전력반도체 소자 제작을 위한 증착·포토·에칭·패키징, 이온주입 및 열처리 등 일괄 공정 지원
• 공정 단계
- Well 형성
- Implanter 공정
- Activation 공정
- Oxide NO Anneal 공정
- Metal Silicide 공정
03
우주급 내방사선 전력반도체 일괄 제조 공정 지원
우주급 수준의 고신뢰성 방사선 내성 Power MOSFET 제작 공정 지원
• 공정 단계
- Activation 공정
- Implanter 공정
- Drive-in 공정
- Contact 공정
- Metal 공정
04
Si 기반 3세대급 전력반도체 일괄 제조 공정 지원
전력 공급 스위치 기능 고성능화를 위한 Si 기반 3세대급 전력반도체 제조 공정 지원
• 공정 단계
- Activation 공정
- Implanter 공정
- Drive-in 공정
- Contact 공정
- Metal 공정
05
PSS 공정을 이용한 LED Substrate 일괄 제조 공정 지원
LED 광효율 향상을 위한 PSS 공정 기반 패터닝·식각 공정 지원
• 공정 단계
- Well 형성
- Junction 형성
- Activation 공정
- Gate 공정
- Contact 공정
06
MEMS·바이오센서 일괄 제조 공정 지원
MEMS·바이오센서 제작을 위한 디자인·설계·증착·패터닝·식각 등 일괄 공정 지원
• 공정 단계
- Low Stress Thinfilm 증착
- Front 거울 형성
- Back 지지막 형성
- Front 반사막 형성
- 회전형 그레이팅
07
나노와이어 기반 바이오센서 소자 제조 공정 지원
나노와이어 기반 바이오센서 제작을 위한 식각·패터닝·증착 공정 지원
• 공정 단계
- Well 형성
- Junction 형성
- Activation 공정
- Gate 공정
- Contact 공정
08
측정분석·특성평가 지원
3D Correlative Workflow 기반 장비·소재 성능 평가
• 분석 항목
- FIB 시편 제작
- AFM/SEM/EDS 표면·구조 분석
- APT 3D 미량원소 분석
- TEM/EELS 원자 스케일 분석
- XRD/RAMAN 결정 구조 분석
