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미래교육
포스텍 나노융합기술원

교육 역량

교육 시설 교육생 기숙사 장비 · 전문 인력 XR 기반 연계 기술
Equipment
Equipment
Personnel
Technical
Experts

04 광범위하고 고도화된 장비 인프라와 산업형 교육 시스템

소자 공정 R&D, 반도체 양산 공정 및 측정분석을 아우르는 120여 종의 최첨단 장비 인프라를 보유하고 있습니다. 공정 · 측정분석 분야의 최신 장비를 새롭게 도입하여 고도화된 역량을 지속적으로 강화하고 있습니다. 또한 실제 반도체 산업의 양산 환경을 동일하게 구현하여 나노 · 반도체 분야의 전문 인재로 성장할 수 있는 최적의 교육 환경을 제공합니다.

주요 장비 목록

반도체와 나노기술 실습에 적합한 첨단 장비와 인프라를 기반으로, 이론과 실습이 유기적으로 연계된 실무 중심 교육을 제공합니다.
I-Line Stepper
I-Line Stepper
(NSR 2205 i10C)
365nm 파장의 자외선을 통해 미세한 회로 패턴 형성을 위한 노광 공정 실습
Dry-Etcher_ICP
Dry-Etcher_ICP
(NE-7800)
고밀도 플라즈마를 사용해 미세 패턴의 식각 공정 실습
Furnace Oxidation
Furnace Oxidation
(VULCAN-V81RD)
1,100℃ 고온에서 고품질의 산화막 형성 공정 실습
PE-CVD
PE-CVD
(TELIA200)
저온에서의 SiO₂ 박막 증착 공정 실습
산업화 지원 Line
산업화 지원 Line
반도체 양산 환경 조성
High Resolution FE-SEM
High Resolution FE-SEM
(JSM 7800F PRIME with Dual EDS)
나노 구조 이미지 분석 실습
Focused Ion Beam
Focused Ion Beam
(Helios G3 CX)
탐침형(APT)·박막형(TEM) 시료 제작 실습
3D Atom Probe Tomography
Atomic Force Microscope
(Jupiter XR)
표면 및 특성 분석 실습
HR-[S]TEM
High Resolution Powder-XRD
(SmartLab 9kW)
결정 구조 분석 실습

05 교육 전문성과 운영 노하우를 갖춘 교육 인프라

석·박사급 전문가 풀과 축적된 운영 노하우를 보유한 전문 인력으로 구성된 강력한 교육 인프라를 보유하고 있습니다. 풍부한 경험과 전문 인력의 협력을 통해 최고의 교육 경험을 제공합니다.
  • 포스텍 교수진, 삼성전자·SK하이닉스 출신 반도체 전문가, 석·박사급 강의자와 장비 엔지니어 등 20명 이상 참여
  • 13년 이상 인력양성사업 수행 경험을 보유한 사업 책임자와 4명 이상의 전담 인력을 통해 체계적인 교육 운영과 내실 있는 관리