NINT 나노융합기술원

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XR Training

최첨단 나노 인프라 기반 XR 연계 기술 교육

반도체 소재ㆍ부품ㆍ장비 국가연구시설인 나노융합기술원의 슈퍼 클린룸과 첨단 반도체 장비를 100% XR 기반 디지털 트윈 환경으로 구현하여 반도체 공정 콘텐츠를 활용한 실습교육을 운영합니다.

프로그램 소개

01 SiC MOSFET 제작 교육

SiC 기판에 Planar 구조의 MOSFET 소자를 제작하고 전력 소자의 구조와 공정 과정을 학습하는 프로그램
교육 내용
SiC Planer MOSFET 공정 단계 및 장비 운용법
02 CMOS 제작 교육

Si 기판에 NMOS와 PMOS를 함께 제작하여 CMOS 구조를 완성하고 Twin-well 형성과 소자 격리 등 통합 공정 흐름을 학습하는 프로그램
교육 내용
CMOS 공정 단계 및 장비 운용법
03 MOSCAP 제작 교육

Si 기판에 게이트 산화막 형성과 금속 증착 공정을 통해 MOS Capacitor를 제작하고 MOS구조 형성 과정과 기본 동작 원리를 학습하는 프로그램
교육 내용
MOSCAP 공정 단계 및 장비 운용법
04 MOSFET 제작 교육

Si 기판에 소스 • 드레인 • 게이트를 형성하여 단일 MOSFET을 제작하고 기초 트랜지스터의 표준 공정 흐름을 학습하는 프로그램
교육 내용
MOSFET 공정 단계 및 장비 운용법
05 PN Diode 제작 교육

Si 기판에 이온 주입 • 확산 • 전극 형성 공정을 통해 PN 다이오드를 제작하고 반도체 접합 형성 과정을 학습하는 프로그램
교육 내용
PN Diode 공정 단계 및 장비 운용법
06 AR 장비 유지보수 교육 예정

AR(증강현실) 기술을 활용해 반도체 장비의 구조와 동작 원리를 시각적으로 이해하고 초기 셋업부터 부품 교체·고장 진단까지 단계별 유지보수 절차를 실습하는 프로그램
교육 내용
눈앞에서 펼쳐지는 실제 장비, 증강현실로 배우는 스마트 유지보수 교육

장비 구조 이해 → 초기 Set-up → 부품 교체 절차 → 고장 진단 및 조치 → 안전 점검
07 FIB(Focused lon Beam) 운용 교육

집속 이온 빔을 활용한 시료의 미세 가공 및 단면 제작 과정을 확습하는 프로그램
교육 내용
FIB_APT 시료 가공 및 분석 장비 운용

FIB_TEM 시료 가공 및 분석 장비 운용
08 FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscopy) 운용 교육

주사전자현미경을 통해 시료 표면 미세구조의 관찰 원리를 학습하는 프로그램
교육 내용
SEM 시료 준비 및 분석 장비 운용
09 APT(Atom Probe Tomography) 운용 교육

원자 단위 3D 분석 원리와 작동 방법을 학습하는 프로그램
교육 내용
APT 시료 준비 및 분석 장비 운용
10 TEM(Transmission Electrin Microscopy) 운용 교육

전자 투과를 통한 내부 구조 분석과 회절 패턴 해석을 학습하는 프로그램
교육 내용
TEM 시료 준비 및 분석 장비 운용
11 AFM(Atomic Force Microscopy) 운용 교육

탐침을 이용한 표면 형상 측정과 원자력 제어 원리를 학습하는 프로그램
교육 내용
AFM 시료 준비 및 분석 장비 운용
12 RAMAN(Raman Spectroscopy) 운용 교육

빛의 산란을 이용한 분자 구조 분석 원리를 학습하는 프로그램
교육 내용
RAMAN 시료 준비 및 분석과 장비 운용
$XRD (X-ray Diffraction) 운용 교육$
13 XRD(X-ray Diffraction) 운용 교육

X선 회절을 통한 결정 구조 분석 원리를 학습하는 프로그램
교육 내용
XRD 시료 준비 및 분석 장비 운용