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장비·기술
포스텍 나노융합기술원

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공정 장비 측정분석 장비
  • 고분해능 전계방출형 주사전자현미경( High Resolution FE-SEM-Ⅳ (JSM-IT710HR))

    고분해능 전계방출형 주사전자현미경( High Resolution FE-SEM-Ⅳ (JSM-IT710HR))

    장비명 High Resolution FE-SEM-Ⅳ (JSM-IT710HR)

    모델명 JSM-IT710HR

    제조사 JEOL

    용도 나노재료의 표면 및 형태관찰/성분분석 EDS

  • 국소 레이져 전계형 원자단층현미경(3D Atom Probe Tomography (LEAP4000X HR))

    국소 레이져 전계형 원자단층현미경(3D Atom Probe Tomography (LEAP4000X HR))

    장비명 3D Atom Probe Tomography (LEAP4000X HR)

    모델명 LEAP4000X HR

    제조사 CAMECA

    용도 3차원원자성분위치측정 철강, 반도체, LED, 나노소재 위치정보 및 성분분석

  • 비접촉 3D 형상측정기(3D Conforcal Scanning Microscope (3DCSM))

    비접촉 3D 형상측정기(3D Conforcal Scanning Microscope (3DCSM))

    장비명 3D Conforcal Scanning Microscope (3DCSM)

    모델명 OPTELICS HYMRID C3

    제조사 Lasertec

    용도 비접촉 3D 형상측정

  • 원자탐침현미경(Atomic Force Microscope-Ⅰ(D 3100) / AFM-Ⅰ)

    원자탐침현미경(Atomic Force Microscope-Ⅰ(D 3100) / AFM-Ⅰ)

    장비명 Atomic Force Microscope-Ⅰ(D 3100) / AFM-Ⅰ

    모델명 VEECO Dimension 3100 + Nanoscope V (Version 7.0)

    제조사 VEECO

    용도 Atomic Force Microscope / 표면분석/ MFM/ EFM/ AFM/

  • 원자탐침현미경(Atomic Force Microscope-Ⅱ(Jupiter XR) / AFM-Ⅱ)

    원자탐침현미경(Atomic Force Microscope-Ⅱ(Jupiter XR) / AFM-Ⅱ)

    장비명 Atomic Force Microscope-Ⅱ(Jupiter XR) / AFM-Ⅱ

    모델명 Jupiter XR

    제조사 Oxford Instruments

    용도 Atomic Force Microscope/표면분석/Tapping mode/Contact mode/KPFM/AMFM

  • 집속이온빔/전자후방산란 회절(Focused Ion Beam -Ⅰ(Helios 600 with TKD) / FIB -Ⅰ)

    집속이온빔/전자후방산란 회절(Focused Ion Beam -Ⅰ(Helios 600 with TKD) / FIB -Ⅰ)

    장비명 Focused Ion Beam -Ⅰ(Helios 600 with TKD) / FIB -Ⅰ

    모델명 Helios 600, EBSD Quantax CrystAlign 400

    제조사 FEI, Bruker

    용도 3차원 가공 및 TEM 시료제작, 단면 관찰, 미세 집합조직 해석

  • 집속이온빔 Ⅱ(Focused Ion Beam -Ⅱ(Helios 650 with EBSD) / FIB -Ⅱ)

    집속이온빔 Ⅱ(Focused Ion Beam -Ⅱ(Helios 650 with EBSD) / FIB -Ⅱ)

    장비명 Focused Ion Beam -Ⅱ(Helios 650 with EBSD) / FIB -Ⅱ

    모델명 Helios, Hikari

    제조사 FEI, EDAX

    용도 3차원 가공 및 구조, 성분의 입체적 분석, EBSD 분석

  • 집속이온빔 Ⅲ(Focused Ion Beam -Ⅲ(Helios G3 CX) / FIB-Ⅲ)

    집속이온빔 Ⅲ(Focused Ion Beam -Ⅲ(Helios G3 CX) / FIB-Ⅲ)

    장비명 Focused Ion Beam -Ⅲ(Helios G3 CX) / FIB-Ⅲ

    모델명 Helios NanoLab G3 CX

    제조사 FEI

    용도 나노 정밀도 이온빔을 이용한 3차원 마이크로단위 시료 제작 및 가공

  • 집속이온빔 Ⅳ(Focused Ion Beam -Ⅳ(SMI 3050) / FIB-Ⅳ)

    집속이온빔 Ⅳ(Focused Ion Beam -Ⅳ(SMI 3050) / FIB-Ⅳ)

    장비명 Focused Ion Beam -Ⅳ(SMI 3050) / FIB-Ⅳ

    모델명 SII SMI3050SE

    제조사 SII

    용도 3차원 가공 및 TEM 시료제작, 단면 관찰

  • 고분해능 전계방출 주사전자현미경(High Resolution FE-SEM-I (JSM 7401F))

    고분해능 전계방출 주사전자현미경(High Resolution FE-SEM-I (JSM 7401F))

    장비명 High Resolution FE-SEM-I (JSM 7401F)

    모델명 JEOL JSM-7401F

    제조사 JEOL

    용도 나노재료의 표명 및 형태관찰/ 성분분석 SEI/ BEI/EDS

  • 전계 방출형 주사전자현미경(High Resolution FE-SEM-Ⅱ (JSM 7800F PRIME with Dual EDS))

    전계 방출형 주사전자현미경(High Resolution FE-SEM-Ⅱ (JSM 7800F PRIME with Dual EDS))

    장비명 High Resolution FE-SEM-Ⅱ (JSM 7800F PRIME with Dual EDS)

    모델명 JSM-7800F Prime

    제조사 JEOL Ltd.

    용도 나노재료의 표면 관찰(LED,UED,BED) 및 성분분석(EDS) , 단면 두께 관찰

  • 전계 방출 형태 주사 전자 현미경(High Resolution FE-SEM-Ⅲ (HITACHI S-4800))

    전계 방출 형태 주사 전자 현미경(High Resolution FE-SEM-Ⅲ (HITACHI S-4800))

    장비명 High Resolution FE-SEM-Ⅲ (HITACHI S-4800)

    모델명 S-4800

    제조사 HITACHI

    용도 나노재료의 표면 및 형태관찰/ 성분분석 SEI/ EDS

  • 고출력∙고분해능 분말용 X-선 회절분석기(High Resolution Powder-XRD)

    고출력∙고분해능 분말용 X-선 회절분석기(High Resolution Powder-XRD)

    장비명 High Resolution Powder-XRD

    모델명 SmartLab 9kW

    제조사 Rigaku Corporation

    용도 분말의 상 조성, 결정질 크기, 결정방향, 구조 등 물리적 특성 분석

  • 구면수차보정 투과전자현미경(HR-(S)TEM -2200FS with Image Cs-corrector)

    구면수차보정 투과전자현미경(HR-(S)TEM -2200FS with Image Cs-corrector)

    장비명 HR-(S)TEM -2200FS with Image Cs-corrector

    모델명 JEM-2200FS(with Image Spherical Aberration Corrector)

    제조사 JEOL

    용도 투과빔에 의한 나노구조/성분 분석 /시험분석(나노입자지름 측정) (TEM/BF/DF/SAED/STEM/BF/HAADF/EDS/EF-TEM(EELS Mapping))

  • 구면수차보정 투과전자현미경(HR-[S]TEM-Ⅰ(2100F with Probe Cs-Corrector))

    구면수차보정 투과전자현미경(HR-[S]TEM-Ⅰ(2100F with Probe Cs-Corrector))

    장비명 HR-[S]TEM-Ⅰ(2100F with Probe Cs-Corrector)

    모델명 JEOL JEM-2100F (with Cs Corrector on STEM)

    제조사 JEOL

    용도 투과전자빔에 의한 나노단위의 구조분석 및 원소분석

  • 라만 분광법(Raman Spectroscopy(Alpha 300 R))

    라만 분광법(Raman Spectroscopy(Alpha 300 R))

    장비명 Raman Spectroscopy(Alpha 300 R)

    모델명 Alpha 300 R

    제조사 Oxford Instruments

    용도 Raman Spectroscopy

  • 2차이온질량분석기(Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS))

    2차이온질량분석기(Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS))

    장비명 Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

    모델명 IMS 6F

    제조사 CAMECA

    용도 미량원소 정량분석

  • 가시/자외선/근적외선 분광광도계(UV/Vis/nIR Spectrometer)

    가시/자외선/근적외선 분광광도계(UV/Vis/nIR Spectrometer)

    장비명 UV/Vis/nIR Spectrometer

    모델명 V-670

    제조사 SEMES / JASCO

    용도 투과율 측정(UV/Vis/NiR 측정)

  • 물리분석장비 Test (관리자 테스트)(물리분석장비 Test (관리자 테스트))

    물리분석장비 Test (관리자 테스트)(물리분석장비 Test (관리자 테스트))

    장비명 물리분석장비 Test (관리자 테스트)

    모델명 NINT

    제조사 NINT

    용도 NINT

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