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포토리소그래피 공정 비용 분의

작성자윤여름
등록일2023-01-04 13:25:39
조회수815

안녕하세요 삼성전자 생산기술연구소 윤여름 입니다.

SiO2 substrate에 가로 70nm, 세로 380nm, 높이 900nm를 가지는 TiO2 사각 기둥 패턴을 450nm 간격으로 10mm x 10mm 면적에 제작하고 싶습니다.

NINT 엔지니어 서비스 기준, 재료비를 포함하여 아래 두 항목 대한 대략적인 가격을 알 수 있을까요?

1. 포토마스크 제작 비용 (재료비 포함)

2. 패턴 제작 비용 (재료비 포함)

 

※ 사양

- substrate : SiO2

- 패턴 물질 : TiO2

- 패턴 크기 : 가로 70nm, 세로 380nm, 높이 900nm

- 패턴 간격 : x450nm, y450nm

- 면적 : 10mm x 10mm