안녕하세요, 삼성전자 종합기술원의 노승우 연구원 입니다.1. PZT 혹은 AlN 박막을 가지는 MEMS 구조를 제작이 가능한지요? 2. 설계와 시뮬레이션 단계에서부터 협력이 가능한지 궁금합니다.