안녕하세요 저는 연세대학교 기계공학과 주철민 교수님 연구실 조진우입니다.

다름이 아니라 반도체 소자 제작 관련하여 문의드리고 싶은 사항이 있어서 메일드렸습니다. 현재 저희가 광학계 심도 향상을 위해 포토리소그래피 공정을 통한 이진 위상 필터(BPF)를 제작하고자 합니다. (필터라는 명칭은 렌즈로 구성되는 광학계에 삽입되어 필터의 역할을 하기 때문에 붙여졌다고 보시면 좋을 것 같습니다. 연구 목적 및 내용은 첨부파일에 함께 첨부되어 있습니다.)

제작하고자 하는 제품에 대해 간단히 설명드리면, N-BK7 소재의 substrate를 사용하고 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 원형 필터를 제작하고 싶습니다. 필터 제작에 필요한 photomask는 최적화 연구를 통해 결정되는 패턴을 통해 알려드리도록 하겠습니다.

전체 필터의 지름은 30mm 정도로 예상되며 포토리소그래피 공정과 건식 혹은 습식 식각 공정에 따라 제작된 필터는 높이 500nm(0.5µm)의 고리 형상을 갖도록 제작하고 싶습니다. 제품 제작 관련 세부 내용을 따로 정리하여 메일에 함께 첨부하여 보내드립니다. 추가적으로 기존 연구소를 통해 제작하였던 실물 필터의 공정조건과 서비스 의뢰를 통해 사용했던 장비 목록을 하나의 파일로 정리하여 보내드립니다.

이러한 공정이 가능한지 궁금하여 메일 드렸습니다.

감사합니다.

조진우드림