로그인 회원가입
정보지원
포스텍 나노융합기술원
목록으로 돌아가기
일반

[답변] 3 Dimensional Atom Probe (APT) 사용건

작성자김병수
등록일2013-09-03 09:28:54
조회수6052
바로 연락 드리겠습니다.

-----------------------------------------------------------------------------
↓ 원문 : 백주혁 님께서 2013-08-13 13:35에 작성하신 글입니다. ↓
-----------------------------------------------------------------------------



안녕하세요
lgdisplay 백주혁입니다.
3 Dimensional Atom Probe(APT) 분석기 이용하고 싶은데요
샘플은 TFT소자의 active layer를 보고 싶은데 FIB신청을 따로하고
다시 APT장비 신청을 하는지 아니면 APT장비 이용신청을 하면 FIB일정을 따로 잡아주시는
알고 싶습니다.
저희가 APT장비 이용은 처음이라 sample 가공은 어떻게 해야 하는지도 알고 싶습니다.
그리고 기판이 glass인데 문제는 안되는지도 알고 싶습니다.
감사합니다.
 목차