안녕하세요,
나노융합기술원 입니다.
PET 기판은 70도 이상에서 버티기 어려운 것으로 알고 있습니다.
150도씨안에서 증착은 당연 불가합니다.
Sputer장비 관련하여 더 자세한 사항은 아래로 문의하여 주시기 바랍니다.
- 이원범 선임연구원 전화번호 054)279-0226
감사합니다.
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↓ 원문 : 최소영 님께서 2014-09-29 22:19에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요 KAIST 전자과 윤준보교수님 연구실 최소영입니다.
AlN sputtering으로 150도씨 안에서 저온 증착 하고자 합니다.
기판이 PET 기판이기 때문인데, 혹시 가능한 장비가 있을까요?
감사합니다.