안녕하세요,
나노융합기술원 입니다.
SiC 증착은 MOCVD로 가능하며, 저희 기술원에서는 MOCVD장비를 보유하고 있지 않습니다.
도움이 못되어 드려 죄송합니다.
감사합니다.
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↓ 원문 : 최소영 님께서 2014-09-29 21:55에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요 KAIST 전기및전자공학과 윤준보교수님 연구실 석사과정 최소영입니다.
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↓ 원문 : 최소영 님께서 2014-09-29 21:55에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요 KAIST 전기및전자공학과 윤준보교수님 연구실 석사과정 최소영입니다.
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↓ 원문 : 최소영 님께서 2014-09-29 21:55에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요 KAIST 전기및전자공학과 윤준보교수님 연구실 석사과정 최소영입니다.
Si 조각 기판에 SiC 10~20nm 증착하고자 합니다.
CVD 방법으로 증착 가능한 것으로 알고 있는데 어떤 장비로 신청 해야하는지, 언제 신청해야 하는지 상담받고 싶습니다.
감사합니다.
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