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포스텍 나노융합기술원
일반

Si3N4 단면 LPCVD 공정 문의드립니다.

작성자김정환
등록일2014-03-05 17:53:42
조회수5985
안녕하세요, 한양대학교 안진호 교수님 연구실에 김정환입니다.
 
4inch Si wafer 25장을 단면 Si3N4 LPCVD를 의뢰드리려고 합니다.
 
총 수량은 4inch Si wafer 25장이며,
포항나노기술집적센터에만 grid 형식의 LPCVD가 있기에,
Si wafer backside 단면만 Si3N4 LPCVD를 의뢰드리고 싶습니다.
 
총 견적과 소요시간을 알려주시면 감사하겠습니다.
 
연락처는 010 - 8596 - 3843 입니다.
연락주시면 감사하겠습니다.