안녕하세요, 한양대학교 박사과정학생 이길복입니다.

다름이아니라 metal line을 50nm 폭, 1um 주기를 갖도록 1cm by 1cm 크기를

e-beam으로 그리면 어느정도 비용이 드는지 확인하고 싶어서 연락드렸습니다. 1by 1일경우 line이 약 10000개 정도가 되는것 같습니다.

1. P-type PR로 라인을 그리고

 2. metal deposition 하고

 3. PR lift off를 해서 line pattern을 형성하고자 합니다.

E-beam lithography 장비에 quartz loading이 가능한지도 알고 싶습니다.