안녕하세요
lgdisplay 백주혁입니다.
3 Dimensional Atom Probe(APT) 분석기 이용하고 싶은데요
샘플은 TFT소자의 active layer를 보고 싶은데 FIB신청을 따로하고
다시 APT장비 신청을 하는지 아니면 APT장비 이용신청을 하면 FIB일정을 따로 잡아주시는
알고 싶습니다.
저희가 APT장비 이용은 처음이라 sample 가공은 어떻게 해야 하는지도 알고 싶습니다.
그리고 기판이 glass인데 문제는 안되는지도 알고 싶습니다.
감사합니다.