공정기술그룹 그룹장 강성민입니다.
Quartz Wafer는Stepper에서 Loading 이 되지 않습니다.
Quartz wafer를 사용하시려면 Lift-off 방식이 아닌, Etching 방법으로 하여야
합니다.
Qz wafer에 Metal이
증착되어 있으면 Stepper사용이 가능합니다.
Etching은 Dry
etching과 Wet Etching을 사용하실 수 있으며, Wet Etching은 Ti, Al, Cr만 가능합니다.
Dry Etching은TiN, Al, Ti가 가능합니다.
Stepper 이용시 최소 선폭은 1um입니다.
장비 스펙은 0.5um이며, Si의 경우 0.3um까지도 가능하지만 Qz wafer는 1um이하 개런티는 어렵습니다.
확인하시고 다시 연락부탁 드립니다.
감사합니다.
강성민 (054-279-0228)
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↓ 원문 : 김병수 님께서 2013-07-25 17:37에 작성하신 글입니다. ↓
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빠른시일에 답변 드리겠습니다.
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↓ 원문 : 이길복 님께서 2013-07-22 12:53에 작성하신 글입니다. ↓
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현재 패터닝 공정으로 metal line pattern을 형성하려고 합니다.
자세한 공정은 ppt에 첨부하였으며 i-line 으로 진행 생각중에 있습니다.
공정 비용, 공정에 사용될 장비, 공정에 소요되는 시간 등이 궁금합니다.
이 길 복 드림