현재 패터닝 공정으로 metal line pattern을 형성하려고 합니다. 자세한 공정은 ppt에 첨부하였으며 i-line 으로 진행 생각중에 있습니다. 공정 비용, 공정에 사용될 장비, 공정에 소요되는 시간 등이 궁금합니다. 이 길 복 드림 첨부파일 첨부파일 #1 Metal line 형성 실험 계획.ppt (436,224 bytes)