안녕하세요 포항나노융합기술원 차현구 입니다.
문의 주신 답변드리면 현제 저희 장비의 깊이방향으로 스펙상 resolution 은 1 nm 이구요 실제론 10 nm 정도 확인이 가능하며
일반적으로 100nm 정도 sample을 측정하고 있습니다.
가로방향은 resolution 은 100 nm 이고 X, Y 축이 500 nm 이상 측정이 가능합니다.
감사합니다.
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↓ 원문 : 강주원 님께서 2015-05-12 17:51에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요
alpha step을 사용하여 표면의 높낮이를 측정할 시에 기기의 정밀도가 어느정도인지 궁금합니다.
flat 한 표면의 경우 수백 옹스트롬 정도의 값으로 표면 높낮이가 측정되었는데, 어느 정도의 값까지 신뢰할 수 있는지 궁금합니다.