안녕하세요 KAIST 전자과 윤준보교수님 연구실 최소영입니다. AlN sputtering으로 150도씨 안에서 저온 증착 하고자 합니다. 기판이 PET 기판이기 때문인데, 혹시 가능한 장비가 있을까요? 감사합니다.
