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일반

[답변] Si3N4 단면 LPCVD 공정 문의드립니다.

작성자관리자
등록일2014-03-07 11:29:29
조회수5858
본 건에 대하여 협의 후 연락 드리겠습니다.

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↓ 원문 : 김정환 님께서 2014-03-05 17:53에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요, 한양대학교 안진호 교수님 연구실에 김정환입니다.
 
4inch Si wafer 25장을 단면 Si3N4 LPCVD를 의뢰드리려고 합니다.
 
총 수량은 4inch Si wafer 25장이며,
포항나노기술집적센터에만 grid 형식의 LPCVD가 있기에,
Si wafer backside 단면만 Si3N4 LPCVD를 의뢰드리고 싶습니다.
 
총 견적과 소요시간을 알려주시면 감사하겠습니다.
 
연락처는 010 - 8596 - 3843 입니다.
연락주시면 감사하겠습니다.
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