정보지원
포스텍 나노융합기술원
일반

[답변] Ru Sputter

작성자이원범
등록일2015-06-30 08:54:21
조회수5086

안녕하십니까

나노 융합 기술원 이원범입니다.

요청하신 Ru target은 기술원에서 보유하고 있지 않습니다.

도움을 드리지못해 죄송합니다.



-----------------------------------------------------------------------------
↓ 원문 : 장승욱 님께서 2015-06-29 13:23에 작성하신 글입니다. ↓
-----------------------------------------------------------------------------



안녕하세요. 포스텍 화학공학과 김동표 교수님 연구실의 장승욱이라고 합니다.

Ru을 sputter로 deposition 해보고 싶은데 혹시 Ru target이 있으신지 문의드립니다.