포스텍 황현상 교수님 연구실 유종명 학생입니다.

Flat wafer 위에 sputter로 증착한 샘플을 SIMS로 depth profile 분석해보고 싶습니다. 처음 사용해봐서 그런데 어떻게 예약하는지 궁금합니다.

또, 나노센터에서 EELS 분석도 가능하다고 들었는데, 장비 LIST에서는 안 보이는 것 같습니다. 이 장비를 사용하면 ion state의 물질도 있는지 분석할 수 있다던데, EELS 분석이 가능하다면 담당자와 상담하고 싶습니다.

감사합니다!~