안녕하세요 KAIST 전기및전자공학과 윤준보교수님 연구실 석사과정 최소영입니다. Si 조각 기판에 SiC 10~20nm 증착하고자 합니다. CVD 방법으로 증착 가능한 것으로 알고 있는데 어떤 장비로 신청 해야하는지, 언제 신청해야 하는지 상담받고 싶습니다. 감사합니다.
