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furnace 고온열처리 관련

작성자김경민
등록일2014-05-23 17:02:24
조회수5821

안녕하십니까

위덕대학교 에너지공학부 석사과정으로 있는 김경민이라고 합니다

열처리공정 스케쥴 신청 전에,... 미리 여쭤봐야 될 것 같아 문의 드립니다

질소분위기에서 cutting 된 반도체 웨이퍼(3*3 또는 5*5) 를

600도, 700도, 800도까지의 30분씩 열처리공정만 하면 되는데

혹 cutting 된 wafer 열처리가 가능한지요?