안녕 하세요
공정기술팀 포토담당 김동현 입니다.
스핀코터 1은 현재 장비가 레씨피 수정이 정상적이었다가 불규칙적으로 에러가 발생 되는 상황입니다.
업체 수리를 보낼 예정이며 빠른시일내에 수리가 되도록 하겠습니다.
스핀코터2는 조치 완료 됐습니다.
이상 감사합니다.
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↓ 원문 : 최인호 님께서 2015-08-20 20:33에 작성하신 글입니다. ↓
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아래분이 말씀하신거 처럼
스핀코터I은 레서피가 수정이 안되고요,
스핀코터II는 베큠 버튼을 누르면 베큠펌프를 통해서 웨이퍼 척에서 베큠은 잡히는데, 레서피옆에 \"V\"가뜨지가 않아 \"Start\" 버튼을 눌러도
실행이 되지않습니다.
조치 부탁드립니다.
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