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Ru Sputter

작성자장승욱
등록일2015-06-29 13:23:02
조회수5083
안녕하세요. 포스텍 화학공학과 김동표 교수님 연구실의 장승욱이라고 합니다.
Ru을 sputter로 deposition 해보고 싶은데 혹시 Ru target이 있으신지 문의드립니다.
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