alpha step을 사용하여 표면의 높낮이를 측정할 시에 기기의 정밀도가 어느정도인지 궁금합니다.

flat 한 표면의 경우 수백 옹스트롬 정도의 값으로 표면 높낮이가 측정되었는데, 어느 정도의 값까지 신뢰할 수 있는지 궁금합니다.