안녕하세요. 나노융합기술원 강민재입니다.

저희 나노융합기술원 장비에 관심을 가져주셔서 감사합니다.

나노기술원에는 Nitride를 증착할 수 있는 장비가 3대(OLED_PECVD, PECVD, LPCVD)가 있습니다.

이 중에서 PECVD 장비를 사용하실 수 있을것 같습니다.

장비는 8인치 size이며, 8인치 웨이퍼 안에 들어가는 사이즈면 가능합니다.

장비담당자는 기종 선임연구원(279-0232, kijong@postech.ac.kr)입니다.

감사합니다.

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↓ 원문 : 박성호 님께서 2015-08-31 13:37에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하십니까.