안녕하세요,
나노융합기술원 입니다.
AFM 과 3D Profiler 모두 측정 가능한 장비이지만 측정할 영역이 차이가 있습니다.
말씀하신 것처럼 AFM 은 정밀 측정(nano)에 적합한 장비이고, 마이크로 사이즈는 3D Profiler 로 측정합니다.
문의한 샘플이 마이크로 단위의 측정이라면 3D profiler 로 측정이 가능할 것으로 생각됩니다.
하지만, 측정 영역(측정해야 할 부분의 면적), 샘플 높이, 투명도 등의 고려할 부분이 있으므로
더 궁금하신 사항은 아래의 연락처로 문의하여 주시기 바랍니다.
(주로 클린룸에 있으므로, 전화연결이 잘 안됩니다. 메일로 문의를 주시면 더 좋을 것 같습니다.)
- 김수곤 선임연구원 전화번호: 054)279-0227
이메일: sukoni@postech.ac.kr
↓ 원문 : 김주한 님께서 2015-08-27 11:20에 작성하신 글입니다. ↓
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AFM은 마이크로 단위에서는 잘 측정이 안된다는 말을 들어서 그런데,
마이크로 단위의 구조(5~10마이크로)의 Roughness를 측정할 수 있는 장비가 있는지 궁금합니다.