아래분이 말씀하신거 처럼 스핀코터I은 레서피가 수정이 안되고요, 스핀코터II는 베큠 버튼을 누르면 베큠펌프를 통해서 웨이퍼 척에서 베큠은 잡히는데, 레서피옆에 "V"가뜨지가 않아 "Start" 버튼을 눌러도 실행이 되지않습니다. 조치 부탁드립니다.
