스핀코터가 모두 고장이네요
NEMS Base System(Spin coater -Ⅰ)은 레시피가 이상한 데이터로 가득차서 수정이 안되는 상태이고
NEMS Base System(Spin Coater -Ⅱ)는 Vacuum pump가 작동은 하는데 wafer를 잡지는 못하는 상태입니다.
빠른 조치 부탁드리겠습니다.
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