안녕하세요,
나노융합기술원 입니다.
DRIE 공정 담당자 정보를 안내드립니다.
자세한 내용을 안내 받으시기 바랍니다.
담당자: 김수곤 선임연구원
연락처: 279-0227 /E-mail: sukoni@postech.ac.kr
감사합니다.
-----------------------------------------------------------------------------
↓ 원문 : 박준홍 님께서 2015-11-03 15:35에 작성하신 글입니다. ↓
-----------------------------------------------------------------------------
안녕하세요 포항공대 기계공학과 대학원생 박준홍이라고 합니다.
chrome mask를 입힌 wafer에 DRIE 공정을 부탁드리고자 합니다. 장비 사용이 아니라 어떤 절차를 통해야 하는지 알고 싶습니다.
답변 부탁드립니다. 감사합니다.
- 이전글 [답변] TaN 박막 공정 문의
- 다음글 DRIE 공정 절차 문의