안녕하세요 포항공대 기계공학과 대학원생 박준홍이라고 합니다. chrome mask를 입힌 wafer에 DRIE 공정을 부탁드리고자 합니다. 장비 사용이 아니라 어떤 절차를 통해야 하는지 알고 싶습니다. 답변 부탁드립니다. 감사합니다.
