안녕하세요. 공정기술팀장입니다.

저희 E-Beam Litho 담당자가 연락한 것으로 알고 있습니다.

추가 문의사항 있으시면 연락주시면 됩니다. (054-279-0228)

감사합니다.

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↓ 원문 : 박준한 님께서 2016-12-16 16:21에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요 부산대학교 박준한입니다.

파일첨부한 모양과 같이, 226nm 주기에 폭 8um, 깊이 400nm인 Bragg grating이 2.5mm 만큼 있는 패턴을 제작의뢰 하고 싶습니다.

또, 그림에 나타나있듯이, 이러한 패턴이 5mm간격을 두고 하나 더 있는 형태로 제작의뢰를 하고자 합니다.

기판은 8um의 폭의 Rib 구조가 제작되어있는 Si Wafer입니다.

이러한 형태의 패턴이 제작이 가능한지, 가능하다면 견적이 얼마가나올지 알고싶습니다.

감사합니다.