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E-beam Lithography 의뢰 문의

작성자박준한
등록일2016-12-16 16:21:10
조회수4364

안녕하세요 부산대학교 박준한입니다.

 

파일첨부한 모양과 같이, 226nm 주기에 폭 8um, 깊이 400nm인 Bragg grating이 2.5mm 만큼 있는 패턴을 제작의뢰 하고 싶습니다.

 

또, 그림에 나타나있듯이, 이러한 패턴이 5mm간격을 두고 하나 더 있는 형태로 제작의뢰를 하고자 합니다.

 

기판은 8um의 폭의 Rib 구조가 제작되어있는 Si Wafer입니다.

 

이러한 형태의 패턴이 제작이 가능한지, 가능하다면 견적이 얼마가나올지 알고싶습니다.

 

감사합니다.

 

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