안녕하세요. 나노융합기술원 강민재입니다.

저희팹도 반도체 및 MEMS 공정 및 양산을 진행하고 있습니다.

054-279-0228로 전화주시면 답변드리겠습니다.

감사합니다.

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↓ 원문 : 이성실 님께서 2016-11-23 10:45에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요,

삼성전자 반도체연구소 이성실책임이라고 합니다.

12inch wafer에 chemical을 treat하여 pattern과의 반응성 확인을 하고자 합니다.

사내에서 평가하기에는 가능성은 낮으나, 오염이슈 등이 있어

사외 연구소 fab을 활용하고자합니다.

평가하고자 하는 시료가 12inch wafer이기 때문에, 사외 연구소 fab에는 사용가능한 chamber가 없을 것으로 판단,

fab내에서 chamber시설 없이 test하고자 하는데요,

chemical이 비휘발성이고, toxicity가 없기때문에 chamber없이 평가 가능성확인을 부탁드리고자 합니다.

평가를 하게된다면,

Fab 내 간단한 table에서 (wafer를 놓을 수 있는 공간이면 됩니다.) 직접 준비해 온 chemical로 반응성 평가를 하는 형태가 될것 같습니다.

Fab 내 비커, 파이펫등의 chemical을 담거나 옮길 수 있는 기본 화학도구가 있다면 대여하여 사용했으면 하고,

없다면 이부분또한 저희가 직접 준비하여 fab에 입실하는 형태로 진행하고자 합니다.

fab사용시간은 1~2시간 정도 입니다.

12inch(300mm) wafer 평가/분석이 가능하다면 optic miciroscope/confocal microscope등을 사용할 수 있으면 좋겠습니다.

특별한 장비 사용없이 상기와 같이 FAB을 이용가능한지, 가능하다면 사용료 책정은 어떻게 되는지 문의드립니다.

긍정적 검토 부탁드립니다.

이성실 드림