안녕하세요,
저희가 현재 보유중인 SOI wafer가 Si/SiO2: 100nm/400nm인데요,
thinning 공정을 통해 top Si을 20nm/400nm, variation은 5%~10% 타겟으로 만들고 싶은데,
가능한지 문의 드립니다.
빠른 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
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안녕하세요,
저희가 현재 보유중인 SOI wafer가 Si/SiO2: 100nm/400nm인데요,
thinning 공정을 통해 top Si을 20nm/400nm, variation은 5%~10% 타겟으로 만들고 싶은데,
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