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포스텍 나노융합기술원
장비

thinning 공정관련 문의

작성자김성지
등록일2016-04-04 10:59:06
조회수4618

안녕하세요,

저희가 현재 보유중인 SOI wafer가 Si/SiO2: 100nm/400nm인데요,

thinning 공정을 통해 top Si을 20nm/400nm, variation은 5%~10% 타겟으로 만들고 싶은데,

가능한지 문의 드립니다.

빠른 답변 부탁드립니다.

감사합니다.

연락처: shengzhi86@postech.ac.kr