안녕하세요,
나노융합기술원 입니다.
전자메일로 답변 드렸습니다.
감사합니다.
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↓ 원문 : 염상섭 님께서 2016-01-06 06:27에 작성하신 글입니다. ↓
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TaN 박막 공정이 있으신지요? Reactive sputtering 혹은 CVD 모두 가능 하리라고 봅니다. 기판은 6 inch alumina 기판입니다. 전자우편으로 답면을 보내주시면 더욱 감사하겠습니다.
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