안녕하세요. 공정기술팀장입니다.

XeF2 장비는 기술원에서 보유하고 있지 않습니다.

예전에 포항TP에 장비가 있었으나 매각된 것으로 알고 있습니다.

근처에는 DGIST에 장비를 보유하고 있는 것으로 알고 있습니다.

DGIST에 문의해 보시기 바랍니다.

감사합니다.

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↓ 원문 : 박혁 님께서 2017-05-22 14:44에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요, 전자과 대학원생 박혁입니다.

XeF2 gas(no plasma)를 사용해서 금속 etching공정 하고 싶은데 가능한가요?