로그인 회원가입
정보지원
포스텍 나노융합기술원
목록으로 돌아가기
장비

XeF2 gas

작성자박혁
등록일2017-05-22 14:44:34
조회수3887

안녕하세요, 전자과 대학원생 박혁입니다.

 

XeF2 gas(no plasma)를 사용해서 금속 etching공정 하고 싶은데 가능한가요?

 목차