2cm X 1cm 인 실리콘웨이퍼 안에 2mmx2mm사이즈의 실리콘이 매달려 있는 형태이고 그 안에 pt로 마이크로 히터가 형성되어 있어서 thermal conductivity를 측정할 수 있는 칩입니다. 

제작이 가능할지요? 그리고 4~5인치 웨이퍼 한장의 제작비용이 어느정도 될까요?

필요 공정은 대략 litho-pt dep-develop-litho-oxide dep-develop-Si etching 이 될 것 같습니다.

실리콘을 저렇게 완전히 깍아내는것이 가능한지와 대략적인 견적이 궁금합니다.

감사합니다.